[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

E}S)uI,gn  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 <&3qFK*9r  
(;^VdiJ  
;IX3w:Aw  
     g0-hN%=6  
设计任务 y:Ycn+
X.  
KD]8n]c
 
MH{$"^K  
     SOo/~giz|  
     /`yb75  
光栅特性与参数的严格分析 %;0Llxf"  
bg$df 0  
不同光栅周期的衍射效率 }5#<`8  
u
Q4
WM  
CrHH Ob  
     !@E=\Sm8EV  
考虑光栅周期的选择 &f1dCL%z7  
,}%+5yH  
Bor_Kib  
偏振相关衍射特性 W2Y%PD9a  
#7OUqp
 
o ~"?K2@T  
6yZf
V7I  
偏振相关衍射特性 %H\i}}PTe  
qv<[f=X9|  
X^4HYm  
0tVZvXgTu  
偏振相关衍射特性 A@^e4\  
BR5r
K  
9kj71Jp&}  
     v*}r<}j  
基于参数优化的光栅设计 Y2i:ZP  
7
_>No*[  
具有固定周期的二维参数优化 aL@myq.  
|eIEqq.Eb  
wPT
XRq%  
二维参数优化 - 设计＃1 )&[S*g  
-~Kw~RX<(  
ES72yh]  
     1MI/:vy-  
二维参数优化 - 设计＃2 H3T4v1o6  
^]}UyrOn  
"#x<>a)O\  
     @K`2y'#b  
制造公差分析 - 设计＃2 3A2X1V"  
b`N0lH.V  
L2Ynv4llm  
     +ZeHZjd  
不同光栅周期的三维参数优化 'r6s5 WC  
:Rc>=)<7  
8"R;axeD  
_SM5x,Zd  
制造公差分析 +VSJve |  
R%
iyNK,  
YX38*Ml+V  
U-(2;F)  
走进VirtualLab Fusion   ur^)bp<n  
cA
_77#<8  
Y3G$(+i8  
     w[@>k@=  
VirtualLab Fusion 工作流程 :JW!$?s8H  
qCg`"/0  
p$dVGvM(  
     9dl\`zlA*  
VirtualLab Fusion技术 Vrl)[st!;I  
i8A{DMc,U