]opW; |{e 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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sUbz)BS#. C~KWH@ 设计任务 {yHB2=nI P~\a)Szy
V%BJNJ Sj0 ucnuHi ! 2Xr~u7a 光栅特性与参数的严格分析 &e
?"5 i.&Kpw9;m 不同光栅周期的衍射效率 rwL=R, QtnM(m
Ld\LKwo qIDWl{b< 考虑光栅周期的选择 \[[TlB> 8<yV
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.'t (-eT, l |08 制造公差分析 - 设计#2 r{t.c?/ ,|T*|2Gm
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9 不同光栅周期的
三维参数优化
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