[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

DgODTxiX  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 (X~JTH:e/  
Z Z9D6+R  
89\DS!\x9  
     }N0v_Nas;v  
设计任务 PAS0 D #  
~ ^*;#[<  
]? %*3I  
     |H
,-V;  
     XU|>SOR@z  
光栅特性与参数的严格分析 _m*FHi  
&*#Obv  
不同光栅周期的衍射效率 0[.T`tpN'  
D+"
+m%^>C  
/&+*X)#v  
     u{5+hZ  
考虑光栅周期的选择 1C+d&U  
3gs!ojG  
1<;G oC"  
偏振相关衍射特性 PnZY%+[I  
#j4RX:T*[  
4WP@ F0@n3  
N2.Ym;^  
偏振相关衍射特性 qaG8:  
FK~*X
3'  
4
(&sw<k  
W~j>&PK,?  
偏振相关衍射特性 @:t2mz:^i  
_*++xF1  
5Kl;(0B9  
     9k;%R5(  
基于参数优化的光栅设计 Axw+zO  
T 3<2ds  
具有固定周期的二维参数优化 YI?tmqzt  
ZuT5}XxF  
1!;4I@W(I)  
二维参数优化 - 设计＃1 +LF`ZXe8l  
*g"Xhk  
_ ($U\FW  
     u1`JvfLrL  
二维参数优化 - 设计＃2 > 1=].  
Y%^qt]u.8  
m8Rt>DY  
     |LirjC4  
制造公差分析 - 设计＃2 %7 $X *  
p8MN>pLP%  
Rbcu5.6  
     |eK^Yhy
m  
不同光栅周期的三维参数优化 ]Xg7XY  
]v l?
J  
8aTo TA7JA  
o\X|\nUk  
制造公差分析  {?Cm  
*fI\|%K  
QObHW[:F  
T!-ly7-`  
走进VirtualLab Fusion   Zou;o9Ww  
~)*uJ wW/a  
1ezBnZJg  
     V0xO:7G^  
VirtualLab Fusion 工作流程 *hh iIiog+  
r |2{(+  
_% i!LyG  
     Wm/0Pi  
VirtualLab Fusion技术 >^D5D%"  
<(l`zLf4p