z$kenhFG/ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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zD?K>I = -^ C=]Medl 设计任务 Nq@+'<@p$ ubmrlH\d
56Vb+0J' [o<VVtB.Gk VV9_`myN7 光栅特性与参数的严格分析 wWp(yvz Q(\4]i< S 不同光栅周期的衍射效率 -c}, :G" ,yTjU{<"
uZ=NSbYsA U2%.S&wS,e 考虑光栅周期的选择 "1-}A(X "hdvHUz
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| 偏振相关衍射特性 L*x[?x;)@ MX ;J5(Ae
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(X?/"lC) +d%L\^?F 偏振相关衍射特性 +L5\; LvEnX S
B)QHM+[=F > z^# 基于参数优化的光栅设计 {b@KYR9K {N#KkYH{" 具有固定周期的二维参数优化 A mwa)
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A=j0On 二维参数优化 - 设计#1 |qoKO:B4-[ "hQ_sgz[Z
;q1A*f\:# ":nQgV\9 二维参数优化 - 设计#2 <u=4*:QE mB\C?=_
.%82P( bUY>st' 制造公差分析 - 设计#2 `~W-Xx SnYLdwgl
XB[<;*Iz x+G0J8cW 不同光栅周期的
三维参数优化
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VG>vn`x>a :F?x)"WoQ+ 制造公差分析 ${8?N:>t OK{xuX8u
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