R2l[Q){! 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
Qm<
gb+ jo)6
%w]
\^LWCp,C" ]u+MTW; 设计任务 W<v_2iVu P*YK9Hl<
tRteyNA SET-8f BEWro|]cM 光栅特性与参数的严格分析 j&WL*XP&5 lV\lj@ 不同光栅周期的衍射效率 vf<UBa;Xm ;UrK{>B
>B_n/v3P(M ^_68]l= 考虑光栅周期的选择 n+HsQ]z. aVwH
zie=2 偏振相关衍射特性 jq(qo4~; DR@1z9 a
^;r+W-MQ W5.Va. 偏振相关衍射特性 dv, C6t2 e0 u,zg+m
\, 8p1$G Ql &0O27 偏振相关衍射特性 hL!QLiF: Bd5+/G=m
i.y=8GxY 'tm$q/& 基于参数优化的光栅设计 *"cD.)]#2 j)Y[4 ^k^ 具有固定周期的二维参数优化 *tc{vtuu~^
vc8?I."?
6):Xzx, 二维参数优化 - 设计#1 ,gMy@ ? gSSli[
J -V49X# (?3[3w~ 二维参数优化 - 设计#2 FRZs[\I|iT ``u:lL
rwSbqL^eM ,a0pAj 制造公差分析 - 设计#2 3F+Jdr' ufrqsv]=
UXH"si: \?Mf _ 不同光栅周期的
三维参数优化
T5|c$doQ uP@\#/4u
v+=k-;- P`jL]x 制造公差分析 }T.?c9l X " xR[mJ@U
= 96P7#% g5S?nHS} 走进VirtualLab Fusion HjA_g0u
S1J<9xqSQ8
B$vr'U
4woO;Gm VirtualLab Fusion 工作流程 lA^+Flh 1J}8sG2`
`f9gC3Hk 2p!"p`b~ VirtualLab Fusion技术 ~AZWds(,N iqwkARG"