[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

KE$I!$zO  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 }BFX7X  
"`6pF8k  
4,g[g#g<q  
     ~<.%sVwE  
设计任务 k-CW?=  
Ef)v("'w  
@zs.M-F  
     Z;'5A2  
     s~i73Qk/  
光栅特性与参数的严格分析 >f\$~cp  
Rz03he  
不同光栅周期的衍射效率 $j(laD#AR  
.DrGr:UW  
8x~'fzf;Sq  
     $cSmubZK  
考虑光栅周期的选择 Xd 5vNmQn  
Q8h0:Q  
SJ7-lben3  
偏振相关衍射特性 +o3 ZQ9  
As>-9p>v  
tO}Y=kZa{  
z*ly`-!  
偏振相关衍射特性 yg WwUpY  
K^m`3N"  
]39])ul  
/ka "YU  
偏振相关衍射特性 z(dDX%k@  
1sNZl&  
K3;~|U-l  
     E51'TT9  
基于参数优化的光栅设计 J
]ri|a  
N"[r_!  
具有固定周期的二维参数优化 %|(Cb!ySX  
fG"4\A  
q,>-4Cm  
二维参数优化 - 设计＃1 Nm{J=`  
jJ7"9  
o>^@s4t  
     ?mbI6fYv  
二维参数优化 - 设计＃2 p)c"xaTP#F  
rD!UP1Nb  
:G4)edw
e  
     3kJ7aBiR<  
制造公差分析 - 设计＃2 /4>|6l=  
(.~,I+Cz'  
GswV/V+u  
     LL%s$>c65A  
不同光栅周期的三维参数优化 0RF<:9@x2  
K<vb4!9Z9  
5?HoCz]l  
V8947h|&  
制造公差分析 .2f0e[J  
zwgO|Qg;  
[pzo[0G 'v  
czcsXBl[  
走进VirtualLab Fusion   ./_4D}  
5e >qBw8t  
Gj- *D7X5  
     XQStlUw8+  
VirtualLab Fusion 工作流程 yv(\5)XF  
*?R<gWCF  
Clmz}F  
     tD+K4 ^  
VirtualLab Fusion技术 JQ<9~J  
YPmgR]=6