[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 _#6*C%ax  
xHuw ?4  
m=D9V-P  
VJ-To}  
建模任务 iY3TB|tMt  
zkHyx[L  
"V<7X%LIX  
#i-b|J+%  
1阶的参数优化 lN[#+n  
%ERR^  
n@//d.T  
W,[iRmxn  
结果-容差分析 vH>s2\V"  
r<_qU3Eaj  
#}C6}};  
\m~Oaf;$  
结果-容差分析 D<Z]kR(  
W$Z8AZ{E  
ryt`yO  
d+&w7/F  
在VirtualLab Fusion中查看 Kq}-)  
3U[:N &Jb  
~Da-|FKa>  
     kwrM3nq  
VirtualLab Fusion的工作流程 l+<AM%U\ V  
MZdj!(hO  
•构造光栅结构 PS`F  
a- 7RJ.  
rVDOco+w  
•分析光栅衍射效率 +pbP;zu  
- 光栅级次分析器[用例] r/RX|M  
•使用参数优化优化光栅参数 9PJnKzQ4  
•使用参数运行进行容差分析 dIk9C|-.  
co>IJzg  
'LG )78sk  
}}4uLGu)  
     rh6 e  
VirtualLab Fusion技术 4+F@BxpB  
/=:Fw}vt  
dG}*M25