对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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kp3%"i&hD Xv<K>i>k 在VirtualLab Fusion中查看 :5[1Iepdn /Ref54
-?p4"[ <O0.q. VirtualLab Fusion的工作流程 UvF5u(o YL&)@h •构造光栅结构
K~6u5 a9s T#GTNk!v ~@$RX:p •分析光栅衍射效率
7 T - 光栅级次分析器[用例]
F R(k==pZ •使用参数优化优化光栅参数
|8?DQhd} •使用参数运行进行容差分析
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