对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
93Yo}6> G36}4
&AMW?vO ]y'/7U+ 建模任务 brkR,(#L3
LiyEF&_u
>+[uV^2[ Ty"OJ 1阶的参数优化 UC,43 z
H?M#7K~[
TU&t 1_6 r@xMb,!H 结果-容差分析 # $:ddOY
>-Qg4%m
,KlTitJl\+ \(a9rZ9 结果-容差分析 web=AQ5I4
M-!eL<
}mjJglK!N "+REv_: 在VirtualLab Fusion中查看 SWjOJjn !A"`jc~x:
^@
GE1 qAsZ,ik VirtualLab Fusion的工作流程 iQczvn)"m 2&E1) ^ •构造光栅结构
&(fB+VNrOH zaX!f~;" G
1{F_ •分析光栅衍射效率
[_jTy;E - 光栅级次分析器[用例]
TxhTK5#f •使用参数优化优化光栅参数
BJ3st •使用参数运行进行容差分析
J9oGwP [=Wn7cr "
}@QL`
ex8mA6g pa&*n=&cL VirtualLab Fusion技术 &0O1tM*v
G?)vqmJ%
YF=@nR$_~j