[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 UX%J?;g  
Z7p!YTA  
XeX`h
_  
tn}MKo  
建模任务 I&;9  
;b!qt-;.<  
(nAL;:$x2  
1P?|.W_^1  
1阶的参数优化 nt8&Mf  
'^M.;Giz  
mM.YZUX  
MI)v@_1d  
结果-容差分析 '}$$0S.DC  
'OvM  
hlmeT9v{  
|enb5b78  
结果-容差分析 8QMib3p  
wKKQAM6P1  
%
`*On~  

?[7KN8$  
在VirtualLab Fusion中查看 |W
r$5
r  
rFaG-R  
sE&1ZJ]7  
     \rd%$hci  
VirtualLab Fusion的工作流程 8Qhj_  
~G 3t
xd  
•构造光栅结构 c(aykIVOo  
]kd:p*U6P  
SEVB.;  
•分析光栅衍射效率 F^81?Fi.  
- 光栅级次分析器[用例] DTG-R>y^  
•使用参数优化优化光栅参数 2T(7V[C%9  
•使用参数运行进行容差分析 ;Y0M]pC  
G.`
},c;A-  
.><-XJ  
~d\^ynQ  
     zwz_K!229  
VirtualLab Fusion技术 i%[+C  
FzNj':D  
.f"1(J8