对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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9#&W!f*qO| /X^3=-{8 VirtualLab Fusion的工作流程 +an^e' %U5P} •构造光栅结构
J,0pe\5 i&pJg1 1<a@ p} •分析光栅衍射效率
;EJPrDHTk - 光栅级次分析器[用例]
_jTwiuMS- •使用参数优化优化光栅参数
]A]Ft!`6z •使用参数运行进行容差分析
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