对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
=sOo:s Z"I/ NGiU
<JI&
{1 _2vd`k 建模任务 ~9$X3.+
1QJBb \
.>6 Wv0 mE#nU(+Ta 1阶的参数优化 z"F*\xa
g\M5:Qm
99iUOw c qS8B##x+= 结果-容差分析 ~y0R'oi
o`r(`6@
+'03>!V ]y1fM0 结果-容差分析 kB\kpW
eK`PxoTI-I
O%1/r* +3^NaY`Y 在VirtualLab Fusion中查看 Q1tpCT }C(5 -7
h
; kfh. </E>tMW VirtualLab Fusion的工作流程 -)w]a{F );}t&} •构造光栅结构
Nw](". H}b\`N[nr [>w%CY<Fd •分析光栅衍射效率
LP`CS849z2 - 光栅级次分析器[用例]
t<b 3K- •使用参数优化优化光栅参数
#o[\Dwu •使用参数运行进行容差分析
E8/rZ~0O~ &2.+Igo|G # .q#OC
OV5e#AOy) J4yt N3 VirtualLab Fusion技术 ,86K
MTmO>V&O
`mB.pz[