[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 wq\G
|/%  
sBjXE>_#)  
hPO>,j^  
4XG]z_+I  
建模任务 #x)}29%e#  
Jt=>-Spj  
UxqWnHH.`  
TmP8q  
1阶的参数优化 i?>Hr|  
Yn<)k_kp  
mK\aI  
h}6_ybmZ  
结果-容差分析 $KQ,}I  
ntHT  
K2|7%  
\y~)jq:d"  
结果-容差分析 'lQ
YJ0  
LknVqZ|k  
#v/ry)2Y=  
oyvtZ/@  
在VirtualLab Fusion中查看 jT^!J+?6K+  
ua#K>sur.  
]
09yy  
     9ECS,r*B  
VirtualLab Fusion的工作流程 ,y.3Fe  
yQ-hnlzn~  
•构造光栅结构 cjT[P"5$  
# #>a&,  
3+ asP&n  
•分析光栅衍射效率 [4gjC  
- 光栅级次分析器[用例] <7RfBR.9  
•使用参数优化优化光栅参数 _LLshV3  
•使用参数运行进行容差分析 uBRw>"c_*8  
Q\WXi  
~d+O/:=K_  
A$m<@
%Sz  
     ha>SZnKD{  
VirtualLab Fusion技术 /Sj_y*x1e  
B1,?{Ur  
*`.LA@bHU