[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 d<@Mdo<;?g  
L"rcv:QWZa  
nd+?O7~}(  
Y5-kj,CB  
建模任务
Cj&$%sO1  
djT. 1(  
m1.B\~S3  
g]`bnZ7  
1阶的参数优化 (3md:r<-  
B;-2$ 77  
o&^NwgRCF  
l_v*7d  
结果-容差分析 XKq@]=\F  
C=VIT*=  
;IC'Gq  
Isovwd  
结果-容差分析 D{AFL.r{  
'Kis hXOn]  
vSM_]fn  
Q[s2}Z!N;  
在VirtualLab Fusion中查看 *=vlqpG  
.^XHuN&  
Q-R}qy5y  
     jX|=n.#q  
VirtualLab Fusion的工作流程 8Z:Ezg3^  

M^ 5e~y  
•构造光栅结构 ?mOg@) wx  
a{`"68  
+p?hGoF=  
•分析光栅衍射效率 S!7g)  
- 光栅级次分析器[用例] w &vhWq  
•使用参数优化优化光栅参数 O|UxFnB}  
•使用参数运行进行容差分析 GOW"o"S  
d,R6` i  
"2mFC!  
~|R[O^9B  
     p^8JLC  
VirtualLab Fusion技术 ?`A9(#ySM  
z{6YC~  
>Me]m<$E;