对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
s`Z.H5V>\ ('%Y3z;
gs0jwI
d8 ~%(I9 建模任务 GLub5GrxR
=MJRQV67
AzzHpfv, VJA/d2Oys 1阶的参数优化 F@z%y'5 Z*
*Q2 oc:6
f3vl=EA4| b&,ZmDJh 结果-容差分析 N DI4EA~z
6 ym$8^
hX,RuI #v$wjqK5 结果-容差分析 3XUVUd~
?t}s3P!Q3w
< j B(FM~TVZ 在VirtualLab Fusion中查看 |gk4X%o6 Y$,++wx
2_bEo T6?03cSE VirtualLab Fusion的工作流程 FwKY;^`!d c#?~1@= •构造光栅结构
]p4?nT@] Nv0a]Am 2ER_?y •分析光栅衍射效率
rT-.'aQ2t - 光栅级次分析器[用例]
`X()"Qw •使用参数优化优化光栅参数
j,%i.[8S •使用参数运行进行容差分析
it>Bf; Ma{@b$> jL)Y'
e&A3=a~\s }U9dzU14 VirtualLab Fusion技术 ]4')H;'y
N*PJ m6-
W4#DeT