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m!s Q 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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JBE'B Q@ UL[4sv6\9 VirtualLab Fusion中的工作流程 VzpPopD,QW P58U8MEG 构建光栅结构
^lu)'z%6 hzPx8sO Xr M[8a •光栅衍射效率分析
yQhrPw> m ;ijJ%/ •使用参数优化进行光栅参数优化
"JVzv U] •使用参数运行的容差分析
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