hANe$10=H 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
xE*.,:,& bu=RU
| 1a}p 0L d"df* 设计任务 \]3[Xw-$
N]F}Z#h
nUCOHVI7
L08lkq, 1级参数优化 l4U
a/[)A _-
v]}\Ns/ Y<_;8%S 结果-容差分析 AP ]`'C
ju1B._48
F'T.-lEO_d WS%yV|e 结果-容差分析 g|tclBx
Ml'lZ)
F!-%v5.y Z,V<&9a; VirtualLab Fusion一瞥 yI/ FD
N@^:IfJ+=
'($$-P\/ 2q*wYuc VirtualLab Fusion中的工作流程 Vd'=Fe;eB |OuIQhoE 构建光栅结构
lAkg47i /<Z3x
_c pnXwE-c_ •光栅衍射效率分析
jsP+,brO ')Y1cO •使用参数优化进行光栅参数优化
kM(m$Oo. •使用参数运行的容差分析
RYdI$&] 2UxmKp[
:#D~j]pP oVW>PEgB- VirtualLab Fusion技术 ZH~Wn#Wp
7`&6l+S|