6[]O3Aa 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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(9f 2g_2$)2 VirtualLab Fusion中的工作流程 {~~' (& -!l 2 构建光栅结构
ZD`0(CkXb sWX\/Iyy2p 5s=L5]]r_j •光栅衍射效率分析
9i/VvW `ouCQ]tKz •使用参数优化进行光栅参数优化
5vqh09-FB •使用参数运行的容差分析
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