CSlPrx2\ 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
vBYk"a6SD `@^s}rt +
v%;Nyab6$ AQTV1f_ 设计任务 !XQ)>T^G5
T4h&ly5
f
2 sK\.yS <b_?[%(u 1级参数优化 Ypwn@?xeP
gfQ1p ?
\T {<{<n M"5S 结果-容差分析 A 1B_EX.
jS4fANG
yeIcQ% ="P&!lu 结果-容差分析 !'*1;OQ
[WO>}rGw4
+u;RFY^ ?JMy VirtualLab Fusion一瞥 *Ke\Yb
$PFE>=nM
Eg4_kp0Lq {ZKXT8' VirtualLab Fusion中的工作流程 ZiC~8p_f ='Yg^:n 构建光栅结构
Vr hd\ `Hd~H ?xw0kXK4 •光栅衍射效率分析
o "1X8v F.-:4m(Z •使用参数优化进行光栅参数优化
B~2M/&rM\ •使用参数运行的容差分析
rkn'1M&u ,D2nUk
qqSFy>`P t4<+]]
VirtualLab Fusion技术 {9-n3j}
liPaT