cJ6n@\ 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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XZ@;Tyn0, QAp+LSm 结果-容差分析 HFJna2B`
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X8F@U ^@ C'HW`rh.^ VirtualLab Fusion一瞥
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y*Egt `W bITc9Hqc VirtualLab Fusion中的工作流程 < ag|# k{*IR 构建光栅结构
0KW@j>=jK WaU+ZgDrG hJqLH?Ri •光栅衍射效率分析
GpjyF_L BPp`r_m8w} •使用参数优化进行光栅参数优化
`rt •使用参数运行的容差分析
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E7A psi4] c7$L: VirtualLab Fusion技术 mv7><C
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