>cr_^(UW& 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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8JOht(m z hm!sMlO VirtualLab Fusion中的工作流程 O> ^~SO E `j5y(44 构建光栅结构
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r@B '<W,-i _x|8U'|Ce •光栅衍射效率分析
n; '~"AG) WUK.>eM0 •使用参数优化进行光栅参数优化
96E7hp !: •使用参数运行的容差分析
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