[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

*<
HA])D,  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 $-
^ ;Jl  
[A jY~  
YQ? "~[mL  
     +"}#4  
设计任务 <TN+-)H6  
EBQ,Ypv  
\B/!}Tn;  
Y@(izC&h  
1级参数优化 \7V[G6'{  
r0^*|+   
>o/+z18x
 
jJ.isr|`  
结果-容差分析 eewlK]  
%*bGW'Cw  
]v2%hX  
cnw?3/J  
结果-容差分析 C[ma!he  
s2=`haYu  
4H9mKR  
zrDcO~w  
VirtualLab Fusion一瞥 \wR;N/tg  
oaac.7.fV  
w;b;rHAZ\  
R1cOUV,y[/  
VirtualLab Fusion中的工作流程 %2@O,uCo@  
Z Jgy!)1n  
构建光栅结构 to9X2^  
}Y~<|vZ  
Q]1s*P  
•光栅衍射效率分析 ZrNBkfe:  
"?AJ(>wP  
•使用参数优化进行光栅参数优化 99GK6}~TGm  
•使用参数运行的容差分析 @
|2sF  
SD_P=?  
Q30TR  
j^5VmG  
VirtualLab Fusion技术 H|%'$oWp  
dBm!`;r4