[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 K^9!Qp  
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建模任务 QarA.Ne~  
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概述 :eDwkzlHH  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ]_j{b
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•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 J5I
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光线追迹仿真 Ao 1*a%-.  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 RBiDU}j  
•单击go！ 3%'$AM}+s  
•获得了3D光线追迹结果。 }F**!%4d  
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{R]4N]l>  
光线追迹仿真 2,'m]`;GNr  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 l[.RnM[v  
•单击go！ 03[(dRK>=  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 K5'@$Km  
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场追迹仿真 MHk\y2`/;  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ~8RN  
•单击go！ r@^h,  
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场追迹仿真（相机探测器） g#T8WX{(V  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 P$4G2>D8dg  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 wSBDJvI  
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场追迹仿真（电磁场探测器） ^LX1&yT@  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 D*I%=);B_  
X~G!{TT_x6  
V)oUSHillH  
     wZ5+ H%x  
场追迹仿真（电磁场探测器） #B_ ``XV  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +K])&}Dw  
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