[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 X*8y"~X|vq  
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建模任务 tMIYVHGy  
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概述 K7+yU3  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 xt{'Be&Ya+  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 'y8{,R4C  
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光线追迹仿真 RpHlq  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 @ D+ft
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•单击go！ `BPTcL<W  
•获得了3D光线追迹结果。 I5$P9UE+^9  
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光线追迹仿真 KhCP9(A=Qo  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 E h%61/  
•单击go！ IP~!E_e}\  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 "n-'?W!  
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场追迹仿真 #x%'U}sF  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 LSo!_tY  
•单击go！ ::L2zVq5V  
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场追迹仿真（相机探测器） ^ k^y|\UtZ  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 BG{f)2F\  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 !,J# r  
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场追迹仿真（电磁场探测器） xS1
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 =bC +1 C  

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场追迹仿真（电磁场探测器） )n/%P4l  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 gU9{~-9}  
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