[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 M '#a.z%  
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     J6I:UML  
建模任务 F1)5"7f  
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概述 @tvz9N  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 re~T,PPM  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 {sfA$ d0  
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光线追迹仿真 GoLK 95"]  
FS)"MDs  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 I`f5)iF?0  
•单击go！ 02_+{vk!  
•获得了3D光线追迹结果。 5%%e$o+  
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光线追迹仿真 ysj5/wtO0  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 AP1&TQ,&  
•单击go！ V3>tW,z  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Bd]k]v+  
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场追迹仿真  k^Q.lb {  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 5a-x$Qb9  
•单击go！ :sQ>oNnz  
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场追迹仿真（相机探测器） o1vK2V  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 $nb.[si\  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 o_1N "o%  
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OXm`n/64+  
场追迹仿真（电磁场探测器） R RE8|%p;B  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 R_O=WmD  

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场追迹仿真（电磁场探测器） -p>~z )  

pI:,Lt1B  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ME$J42  
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