白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
'_0 M|8
3HTJ
kYlg4 .~M n P1GW6Pu 2. 建模任务 |` "?
J{tVa(.
$P nLG]X 9B=1Yr[ 3. 干涉条纹的变化 C
) ?uE'
#wjH4DT
^N- 'xy PS@ *qTin 4. 走进VirtualLab Fusion qfrNi1\9-
X;VQEDMPU
k':s =IXW NXI[q'y 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 !Lkm? (_ ;LQ9#M?
6 P*O&1hv 9i%9
6. VirtualLab Fusion 技术 'N6 S}w7 Q7GY3X*kA
z"UPyW1?