白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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i;0`d0^ hG,gY;&[6 2. 建模任务 ndm19M8Y|
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vII8>x%* 0NSn5Hq 3. 干涉条纹的变化 oPNYCE
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'3o0J\cz F_~-o,\ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 'KGY;8<x] &,Q{l$`X
04;y%~,}U/ H/V%DO 6. VirtualLab Fusion 技术 u,F d[[t xgR* j
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