[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 uBfSS\SX|  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 QNm8`1  
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•使用导入的数据自定义表面轮廓 D $3Mg  
•定义元件的位置和方向 8a3h)R  
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