扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊
干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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7r:&%?2:g /IcGJ&; 建模任务 _{): w~zi yC
?p,Ci, }e|cszNRd 仿真干涉条纹 ^EN
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%J'/ cmR& d<Lc&wlP VirtualLab Fusion中的工作流程 =x?WZMO .[eC w •设置输入场
S/*\j7cj bGB$a0 •使用导入的数据自定义表面轮廓
XXm7rn •定义元件的位置和方向
C ]B P}MY< ^?]-Q*w3Qs •正确设置通道以进行非
序列追迹
7L:Eg QiA}0q3]0 •使用
参数运行检查影响/变化
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