扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊
干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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P'-JbPXU pQk=x T 建模任务 ~gSwxGT7d 3Ne9%" TS\9<L9S 仿真干涉条纹 {E;2&d /'R UA q"{Up 走进VirtualLab Fusion ?BWHr(J sKe9at^E]>
L2[Ei|9_ fO[Rf_ VirtualLab Fusion中的工作流程 |h#DL$ #citwMW •设置输入场
*i=?0M4S "z^BKb5 •使用导入的数据自定义表面轮廓
qk_p}l-F1 •定义元件的位置和方向
d9`3EP)n 3~cS}N T •正确设置通道以进行非
序列追迹
,maAw}= 3g?MEM~ •使用
参数运行检查影响/变化
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