扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊
干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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UTuOean ]' BOW`{= 建模任务 4({Wipd +r__>V, fu`|@S 仿真干涉条纹 A4VVy~sd AjO|@6 '\B!1B>T 走进VirtualLab Fusion [Z+E_Lbz %@[ ~s,6<
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VirtualLab Fusion中的工作流程 u]QG^1.qYe >`.$Tyw •设置输入场
o_%gFV[q uF\f>E)/N% •使用导入的数据自定义表面轮廓
YU%U •定义元件的位置和方向
BYsQu.N n%:&N •正确设置通道以进行非
序列追迹
eop7=!`-~~ TY*q[AWG •使用
参数运行检查影响/变化
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