[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 v^J']p  
.HN4xL  
n%;4Fm
?  
LSR0yCU  
建模任务 /2''EF';  
Es- =0gpK  
     1+"d-`'Z2O  
仿真干涉条纹 n<P&|RTZ  
Q;ZV`D/FA  
     GTi=VSGqF  
走进VirtualLab Fusion f9OY>|a9  
     xU2i&il^!  
Z`f?7/"B  
    
p' 6h9/  
VirtualLab Fusion中的工作流程 ex#-,;T  
[wk1p-hf  
•设置输入场 _R^ZXtypd  
P1z:L
 
•使用导入的数据自定义表面轮廓 IAWs}xIly  
•定义元件的位置和方向 9@?|rje9  
nXk9 IG(  
•正确设置通道以进行非序列追迹 2I3H?Lrx!m  
E@%1HO_  
•使用参数运行检查影响/变化 ecx_&J@D  
bxPJ5oT  
     CfO{KiM(2  
BUdO:fr  
     :`K2?;DC8  
VirtualLab Fusion技术 M1]w0~G