[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 rCPIz<  
?X|)0o  
Kv@P Uzu  
w%])  
建模任务 n41#  
Q
!l(2nva  
     2.v{W-D[  
仿真干涉条纹 &|Gg46P7  
"'v+*H 3  
     :s *  
走进VirtualLab Fusion Z<X=00,wg  
     =8]`-(  
=Y2 Rht  
     U"G
xXrl  
VirtualLab Fusion中的工作流程 u"0{) ,  
"@G[:(BoB<  
•设置输入场 Ch"wp/[  
u> {aF{  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 _[6sr7H!  
•定义元件的位置和方向 kkl'D!z2g  
&wQ;J)13  
•正确设置通道以进行非序列追迹 fu!T4{2  
rUKg<]&@  
•使用参数运行检查影响/变化 }b1G21Dc!  
HYdM1s6vo  
     V(`
]hH0;T  
l#[Z$+!09  
     ys`-QlkB  
VirtualLab Fusion技术 p-s\D_