扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊
干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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TEHe VirtualLab Fusion中的工作流程 ^ @s1Z7 z!ZtzD]cb •设置输入场
t%/&c::(6 /T0F"e)Ci •使用导入的数据自定义表面轮廓
wDal5GJp •定义元件的位置和方向
"c%0P"u |6sp/38#p •正确设置通道以进行非
序列追迹
Q4#m\KK;i9 l*(8i ^ •使用
参数运行检查影响/变化
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2j[=\K] oM>l#><nq VirtualLab Fusion技术 ^1I19q