扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊
干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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LQRQA[^ U!*M*s VirtualLab Fusion中的工作流程 $m-2HhqZ WGZ9B^A •设置输入场
IS &ZqE(`e GkTiDm? •使用导入的数据自定义表面轮廓
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9CWezI+ zv\kPfGDK •正确设置通道以进行非
序列追迹
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