[技术]用于光学测量的菲索干涉仪 [复制链接]

斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备，它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹，我们构建了一个菲索干涉仪，并利用它测试了不同的光学表面，例如圆柱形和球形。 可以看出，产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 (sS[F-2R7  
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VirtualLab Fusion 技术 l3-KswU  
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