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7L68voC@U 摘要 QfqosoP\D hI249gW9 7S+_eL^ B"sQ\gb%Q 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 cZ>h [XX[ DLMM1
A 建模任务 5`] ;[M9 lU6?p")F1 rfj>/?8!@ T#&tf^; 由于组件倾斜引起的干涉条纹 hbfTv;=z c~j")o )y8 u+5^ 9&(d2 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 Y [8~M8QX Ej|rf Y W !.F\H,(
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