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k$f2i,7' 摘要 x3U>5F@ %;u"2L0@ B1U!*yzG6 QT!>izgcU 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 NMhpKno F1-C8V2H 建模任务 0J466H_d{ v?,@e5GZ [.Fq
l+ R)SY#*Y 由于组件倾斜引起的干涉条纹 b]xoXC6@ t 1\aTA, iV#A-9 d@a<Eq 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 )'RaMo` 4 [ "3s 9MI9$s2y
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