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{aVRvZH4 摘要 `DFo:w!k gTQc=,3l3 5$?)f&M KSYHG 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 _2a)b(<tF )z_5I (?& 建模任务 3
,f3^A |V&E q>G b[2 #t H[Q3M~_E 由于组件倾斜引起的干涉条纹 *}'3|e4w} xG1(vn83gq iBt<EM]U/ pSl4^$2XR 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 ;L@p|]fu VZ]}9k U1)!X@F{
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