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U~,~ GU=X 摘要 3c#CEuu L5E|1T t-xw=&!w hkSK; 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 l'_P]@* R\L0 建模任务 +m> %(?=A E(5'vr0 2>E.Q@c ;8Z\bHQ> 由于组件倾斜引起的干涉条纹 F2;k 6M@ 7?@s.Sz|fV 9~6FWBt (s/hK 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 '(JSU 8s,B,s. yv.UNcP?
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