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SECQVA_y` 摘要 hIQ[:f Sz|CreFK16 J,G9m4Z7 4E-A@FR 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 5^K#Tj ;2 8Wx@[! 建模任务 _P<lG[V :6$4K"^1 =)- Q?1q |3:=qpT- 由于组件倾斜引起的干涉条纹 $xtE+EV.p tOg
8L2 P%`R7yk ]cqZ!4?_ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 9G&l qfX: IR
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