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s[u*~A 摘要 pT<I!,~ ?s9f}> eY'RDQa <*db%{ 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 Mdy4H[Odq rTA#4.*& 建模任务 cIXqnb )C0 y<:</ Ak,T{;rD &bCk`]j: 由于组件倾斜引起的干涉条纹 tjcG^m} _ %ERR^ n@//d.T W,[iRmxn 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 Z"
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