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    [原创]关于射频中和器阴极材质和形状的一点知识 [复制链接]

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    离线ouyuu
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-15
    最近接到新柯隆射频离子源的中和器问题的问询比较多,大多数问题和客户一起解决了。 (0}j]p'w  
    新柯隆中和器因为是自匹配(没有手调的地方),所以一旦发生问题,很多客户都是一头雾水。 7@3sUA_Go  
    我在这里普及一点我知道的知识,希望大家碰到问题的时候能够给一些帮助。 Why"G1`  
    H?{ MRe  
    很多中和器问题的原因1:阴极的材质 /B[}I}X  
    新柯隆老款是镍,新款是钽。(中间有掺杂,并非纯的) 6KO(j/Gwp  
    镍的优点是软,容易修正形状。但是镍在300度以上很容易氧化。 ~of,,&  
    我客户新旧两款中和器上,同样的副厂镍电极,同样的冷却时间。 Pk:zfC?4  
    老款中和器稳定运行,但是新款设备的镍电极很快就氧化了。 | k}e&Q_/G  
    (陶瓷杯内部很多渣,产品表面麻点,中和器不稳定) ?Sw /(}|m  
    估计是新老两款中和器的温度或者散热速度不一样。 !5~k:1=  
    7>mhK7l  
    钽的优点是耐氧化,但是一旦加热就会变脆,一旦变形无法修正。 #j.FJFGX  
    原厂的钽电极一般寿命在1年左右。(根据我客户问我购买的频度推测) |]tZ hI"3<  
    zi.mq&,]R  
    问题的原因2:阴极的形状和工艺 EBwK 7c  
    AqqHD=Yp  
    新柯隆的原厂钽中和器阴极已经改进了形状,大大减小了变形。 R\y'_S=#a  
    副厂中和器有先卷成筒然后切割的,也有先切后卷的,先卷后切的不易变形。 bl$j%gI%,  
    (接近改进前的原厂部品,寿命在3~6个月左右) .<.#aY;N  
    ( OXY^iq  
    问题的原因3:电气连接 ;W6-i2?  
    中和器是高温部件,螺丝螺母等连接件很容易氧化。 |*fNH(8&H  
    推荐定时更换镀金螺丝螺母,不要用普通螺丝 HzEGq,.  
    (原因1:普通螺丝易氧化造成电接触不良 原因2:普通螺丝易咬死) CW;m  
    y!hi"!  
    问题的原因4:陶瓷 AIv<f9*.:  
    国内大多数副厂的陶瓷其实已经够用了,因为阴极电压并不高。 hIo0S8MOj$  
    但是也有碰到品质极差的,比如说内部孔隙过多(气体析出造成中和器打火) #Qsk}Gv  
    材质不对(不是AL2O3,高温下发生变形)。 BV1u,<T"  
    @ t|3gF$X  
    问题的原因4:气体 K"^cq~   
    气体流量不够或者过多都会造成不稳定。 3Y(9\}E@`  
    如果中和器有漏气,比如说波纹管漏气,气嘴和底座间隙不好, X|Dpt2A=  
    可以试下增加气体流量来补偿。 fp tIc#4  
    qy&\Xgn;GA  
    最后说一点: z{/LX \  
    但是如果产品要求高的话,还是推荐原厂陶瓷。 2qXo{C3  
    国内副厂的陶瓷大多数还是热烧结的,内部还是会有孔隙。 8$m1eQ`{  
    孔隙造成的中和器打火是麻点的原因之一。 B.RRdK+:  
    实际上综合考虑使用寿命,原厂件不是最贵的。
    [ 此帖被ouyuu在2022-11-16 21:17重新编辑 ]
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    cyqdesign 光币 +20 - 2022-11-15
     
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    离线xzaxd
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-11-16
    谢谢大佬分享!
    离线xzaxd
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    只看该作者 2楼 发表于: 2022-11-23
    想问问版主说的最后一点,中和器打火造成的麻点现象通常是是单个的麻点还是一团的麻点呢?
    离线ouyuu
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    只看该作者 3楼 发表于: 2022-11-25
    回 xzaxd 的帖子
    xzaxd:想问问版主说的最后一点,中和器打火造成的麻点现象通常是是单个的麻点还是一团的麻点呢? (2022-11-23 17:54)  (8+.#1!*  
    \3,$YlG  
    是均匀分散的麻点,其实是中和器内部氧化物粉末。 YN$ndqOP  
    中和器是产生电子的地方,这些粉末带上电子,所以才会跑这么高。
    离线谭健
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    只看该作者 4楼 发表于: 2022-11-25
    谢谢大佬分享!
    离线xzaxd
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    只看该作者 5楼 发表于: 2022-11-29
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:是均匀分散的麻点,其实是中和器内部氧化物粉末。 P"h,[{Y*>  
    中和器是产生电子的地方,这些粉末带上电子,所以才会跑这么高。 (2022-11-25 21:42)  qx#ghcU  
    ,i$(yx?  
    好的,谢谢!
    离线shenhan0701
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    只看该作者 6楼 发表于: 2022-12-09
    学习了
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    只看该作者 7楼 发表于: 2023-02-11
    果然是大佬
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    只看该作者 8楼 发表于: 2023-04-14
    陶瓷是否有使用寿命呢?一直使用是否会导致空隙的变大?