最近接到新柯隆射频离子源的中和器问题的问询比较多,大多数问题和客户一起解决了。
(0}j]p'w 新柯隆中和器因为是自匹配(没有手调的地方),所以一旦发生问题,很多客户都是一头雾水。
7@3sUA_Go 我在这里普及一点我知道的知识,希望大家碰到问题的时候能够给一些帮助。
Why"G1` H?{MRe 很多中和器问题的原因1:阴极的材质
/B[}I}X 新柯隆老款是镍,新款是钽。(中间有掺杂,并非纯的)
6KO(j/Gwp 镍的优点是软,容易修正形状。但是镍在300度以上很容易氧化。
~of,,& 我客户新旧两款中和器上,同样的副厂镍电极,同样的冷却时间。
Pk:zfC?4 老款中和器稳定运行,但是新款
设备的镍电极很快就氧化了。
| k}e&Q_/G (陶瓷杯内部很多渣,产品表面麻点,中和器不稳定)
?Sw /(}|m 估计是新老两款中和器的温度或者散热速度不一样。
!5~k:1= 7>mhK7l 钽的优点是耐氧化,但是一旦加热就会变脆,一旦变形无法修正。
#j.FJFGX 原厂的钽电极一般寿命在1年左右。(根据我客户问我购买的频度推测)
|]tZ hI"3< zi.mq&,]R 问题的原因2:阴极的形状和
工艺 EBwK 7c AqqHD=Yp 新柯隆的原厂钽中和器阴极已经改进了形状,大大减小了变形。
R\y'_S=#a 副厂中和器有先卷成筒然后切割的,也有先切后卷的,先卷后切的不易变形。
bl$j%gI%, (接近改进前的原厂部品,寿命在3~6个月左右)
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OXY^iq 问题的原因3:电气连接
;W6-i2? 中和器是高温部件,螺丝螺母等连接件很容易氧化。
|*fNH(8&H 推荐定时更换镀金螺丝螺母,不要用普通螺丝
HzEGq,. (原因1:普通螺丝易氧化造成电接触不良 原因2:普通螺丝易咬死)
CW;m y!hi"! 问题的原因4:陶瓷
A Iv<f9*.: 国内大多数副厂的陶瓷其实已经够用了,因为阴极电压并不高。
hIo0S8MOj$ 但是也有碰到品质极差的,比如说内部孔隙过多(气体析出造成中和器打火)
#Qsk}Gv 材质不对(不是AL2O3,高温下发生变形)。
BV1u,<T" @ t|3gF$X 问题的原因4:气体
K"^cq~ 气体流量不够或者过多都会造成不稳定。
3Y(9\}E@` 如果中和器有漏气,比如说波纹管漏气,气嘴和底座间隙不好,
X|Dpt2A= 可以试下增加气体流量来补偿。
fp tIc#4 qy&\Xgn;GA 最后说一点:
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\ 但是如果产品要求高的话,还是推荐原厂陶瓷。
2qXo{C3 国内副厂的陶瓷大多数还是热烧结的,内部还是会有孔隙。
8$m1eQ`{ 孔隙造成的中和器打火是麻点的原因之一。
B.RRdK+: 实际上综合考虑使用寿命,原厂件不是最贵的。
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