KCG-&p$v@s 光栅的
衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。
VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。
s UX%{|T_ V 4Y w"J .0$$H"t :n36}VG| 光栅详细说明 J}IHQZS
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S0+nQM% ?Y4$ •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。
RM2<%$ •可以在堆栈中指定光栅
参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。
{L 7O{:J IN2FO/Y@ 光栅阶次分析器设置 afEhC0j {MK.jw9/ •定义光栅
结构后,可以配置光栅阶次分析器。
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Ey>7I •可以指定各种输出选项。
fv?vO2nj •可以在
光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。
;Js-27_0 k!Y7Rc{" 0&!,+ "0al"? 常规设置 Z>GqLq\`ed
fN4d^0&
&HdzbKO= <4!SQgL •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。
Cnp\2Fu/ •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。
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# ^^MVd@,i 单个阶次设置 <1~5l~ MH;5gC@
` \%fl`+` RLkP)+t •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。
uZ}=x3B •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数
优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。
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