.c&&@>m@. 光栅的
衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。
VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。
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YtKT3u:x 光栅详细说明 |d-x2M[
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q,<l3r In d}tmZ*q •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。
6"Lyv •可以在堆栈中指定光栅
参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。
mtkZF{3Jx ~k-' 光栅阶次分析器设置 \!30t1EZ G6qZ>-GiL •定义光栅
结构后,可以配置光栅阶次分析器。
D\+x/r?-I •可以指定各种输出选项。
p`rjWpH •可以在
光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。
R9^vAS4t[O 7w" !"W#
;?@Rq"* ("ix!\1K@ 常规设置 $GU s\
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X@}7 #Vt QIU%!9Y •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。
$[ S 33Q •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。
Pv,PS.,- |f$ws R`& 单个阶次设置 =,q/FY: pfIK9>i
ks("(
nU )m3emMO2 •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。
eY`9J4o ' •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数
优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。
sC[#R.eq $*$4DG1gaR 单个阶次设置 s.rQiD TCzlu#w
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&4t .sQV0jF {
Z:,\FB_U x=a#|]ngG 探测器标签页中的输出 lH`c&LL-=!
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E#Ue9J D4(73 •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。
[.Md_ •这些值在参数运行和参数优化中也可用。
0YL*)=pD, 04=RoYMM 极坐标图中的输出 ## vP(M$ z1,#ma}.
Fw( ws,?ImA •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中
角度的关系。
5uSg]2: •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。
3AR'Zvn R+He6c!?9 极坐标图设置 9Z=hg[`]< PBW_9&