?H0 #{!s 光栅的
衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。
VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。
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B:a&)Lwp0 PE|_V 光栅详细说明 QW|,_u5j
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@ bPQhn#(g tV9nC •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。
%w=*4!NWb •可以在堆栈中指定光栅
参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。
0tC+? GG5wiN*2S 光栅阶次分析器设置 !BP/# 8U*}D~%! •定义光栅
结构后,可以配置光栅阶次分析器。
votv rZ= •可以指定各种输出选项。
G 2+A`\] •可以在
光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。
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)7+ 常规设置 -{>JF
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"e0$/WQ6J [: •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。
CbVU z< •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。
e]'ui<` 200/ 单个阶次设置 (g`G(K_ r;g[<6`!S
b\Y<1EV^[ 2)Grl;T]s •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。
JZNRMxu •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数
优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。
PF2PMEBx! #;)Oi9{9; 单个阶次设置 oa? bOm Fc M
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}KEyJj3"DA )pJ}
$[6 探测器标签页中的输出 -hiG8%l5
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__fa,kK {? "-88bF~ •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。
0/S|h"-L •这些值在参数运行和参数优化中也可用。
5 >S#ew SMY,bU'a 极坐标图中的输出 LuM:dJ ?n)d: )Ud"
NGcd _dky+ E •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中
角度的关系。
-~\R.<+ •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。
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R> G%*a 极坐标图设置 [nZf4KN ;gLHSHEA
IL;JdIa Z0uo.
H@.N •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。
B9^@d •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。
mSF>~D1_ OC34@YUj[ 阶次汇集输出 @M-i$
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