#h~v(Z} 光栅的
衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。
VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。
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f^D4aEU 6H:'_|G 光栅详细说明 ?D]qw4 J
$P7G,0-
;=oGg%@aP ;d{lvKk •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。
Z`97=:W •可以在堆栈中指定光栅
参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。
]Yd7 _>)=c<HL 光栅阶次分析器设置 eK_Yt~dj [-*8S1 •定义光栅
结构后,可以配置光栅阶次分析器。
OK1f Y`$z •可以指定各种输出选项。
7iM;X2=7} •可以在
光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。
R`F8J}X_ U<Z\jT[
Da WzQe= AYLCdCoK. 常规设置 D-!#TN`Y
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Xy'qgK? 9CW8l0 •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。
RI2Or9. •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。
ZPolE_P7 OcLFVD= 单个阶次设置 #Ies
yNKZ d;c<" +
9b}AZ]$ q7'[II; •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。
TPeBb8v8D •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数
优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。
~RS^Opoa avI 单个阶次设置 ^68BxYUoD\ 6opubI<
Q8sCI An{ GOeYw[Vh
dPfDPb gc6T`O-_; 探测器标签页中的输出 ie+746tFW
w}jH,Ew
/ Dn 1 n86Mp1.e •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。
D;l)&"|r? •这些值在参数运行和参数优化中也可用。
;PrL)! A t#'q>Dn 极坐标图中的输出 wc
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v /A W%k0_Y/5
m#oZu { 9ywPWT[^ •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中
角度的关系。
,UD,)ZPf[ •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。
i%R2#F7I BkTGH.4G% 极坐标图设置 "[LSDE"( 8/|~E
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