+?[BU<X6u 光栅的
衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。
VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。
|TTS? 6;+jIkkD)
S@xXq{j %WGuy@tL 光栅详细说明 u1Ek y/e-
ufrqsv]=
gsPl _ mI7~c;~ •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。
\?Mf _ •可以在堆栈中指定光栅
参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。
T5|c$doQ uP@\#/4u 光栅阶次分析器设置 S&(^<gwl k1='c7s •定义光栅
结构后,可以配置光栅阶次分析器。
pB p#a •可以指定各种输出选项。
:!Ig- +W •可以在
光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。
h2w}wsb0l l&W;b6L
c|AtBgvf {G3i0r 常规设置 B$vr'U
zl%>`k!>
3s*(uS( FT89*C)oD •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。
yGj.)$1},@ •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。
iY0>lDFm. DC Q^fZ/ 单个阶次设置 SDYv(^ f , ?LaUed'
VDGCWg6z 55Gtp\L •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。
k?6z_vu •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数
优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。
Zy0aJN> @|\R}k%( 单个阶次设置 DmqSQA g{:<