;V(- ;O 光栅的
衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。
VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。
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[.\uHt ySP1,xq 光栅详细说明 aty"6~
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pG?AwB~@n %H=d_Nm{ •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。
"Y(stRa •可以在堆栈中指定光栅
参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。
:V1ttRW}52 ^VsX9 光栅阶次分析器设置 dQ6:c7hp>D uq<kT [ •定义光栅
结构后,可以配置光栅阶次分析器。
P" +!mSe^~ •可以指定各种输出选项。
/DOV/>@5% •可以在
光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。
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\l^L?69 nn>1OO 常规设置 a12Q/K
KT1/PWa
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woF •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。
V1Yab# •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。
z%xWP&3%" ~WH4D+ 单个阶次设置 3WdYDv]N}L nY(>|!
N{ L'Q0! %LBa;M •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。
H#pl&/+ •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数
优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。
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I{)" )!+M\fT 单个阶次设置 6H+'ezM 9Q{-4yF9k
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