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    [技术]薄元近似与FMM/RCWA [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-08
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    作为衍射光学领域广泛使用的方法,薄元近似(TEA)在计算薄衍射元件的衍射效率时非常有效。 但在另一方面,当衍射光栅的周期小到可以与波长相比较时,这种近似将会变得不准确。 我们选择了两种常用的透射光栅轮廓(正弦和闪耀),并应用TEA和严格的FMM / RCWA进行分析,用来比较两种方法的结果。 1_vaSEov  
    用于光栅建模的TEA与FMM #;. tVo I  
    TbyQ'MbUv  
    1M&n=s _  
         i9}n\r0=c  
    我们同时使用TEA和FMM(也称为RCWA)来分析两种周期不同的光栅(正弦光栅和闪耀光栅),并比较了两种方法的结果。 zjd]65P  
    闪耀光栅的傅里叶模态分析 2!QS&i  
    ,=KJ7zIK?  
    >@^z?nb  
    >W 2Z]V  
    VirtualLab Fusion中,傅里叶模态方法(FMM)可用于光栅效率的严格分析。
     
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