~i21%$ 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
CT1ja.\; kI:}| _ u-tQ9ioKC 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
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fgBM_c&9T %s&ChM?8F 参数扫描(1D) H6&J;yT}
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#'q<v"w cZ<A0 参数扫描(2D) (XXheC ;s~X -CRQp1]