[技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

P<km?\Xp(  
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 =VH, i/@  
<pK
72  
=;i@,{ ~  
    傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） "fL:scq@0  
AJI,>I,}}  
建模任务 oost}%WxN  
h7wm xa;  
C3:4V2<_  
.UU BAyjm  
单次FMM仿真结果 &w- QMjM>  
Yvcd(2  
!/BXMj,=  
=O<Ul~JRK  
参数扫描（1D） !dv  
N;9@-Tb  
?*tb|AL(R  
Z1wN+Y.CA  
参数扫描（2D） "nf.kj:>  
   
%S]H  
@K7#}7,t