Z@ec}`UO|u 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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#T>pu/EQX_ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
`OZiN;*| -Zg.o$ 建模任务 f DXTedrG/
c?Zi/7
/+<G@+( #|V)>") 单次FMM仿真结果 B90fUK2g
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R-k~\vCW wgQx.8 h> 参数扫描(1D) -23sm~`
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Tj2pEOu OJFWmZ(X 参数扫描(2D) M"Y,kA|+ h5n@SE>G
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