xqG[~)~ 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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K 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
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u"2I5 [S9K6%w_! 建模任务 -$cmG4
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+U7 单次FMM仿真结果 ~obqG!2m
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ZojIR\F^ =S+wCN 参数扫描(1D) 93("oBd[s(
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hKLCJ#T F;4vPbH+ 参数扫描(2D) Zw5Ni Xj :8=i kwQ VM
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