[技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

K{EDmC  
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。
CFTw=b@  
JEh(A=Eu>  
zN3b`K. i  
    傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） U]AJWC6  
"zZZ h  
建模任务 A~)#  
J5Ovj,[EZ  
DmtCEKa  
aM7=>  
单次FMM仿真结果 1tIJ'#6
 
@i <vlHpl  
riv8qg  
F?+\J =LT  
参数扫描（1D） mJNw<T4!/  
N3(.7mxo  
[jEZ5]%  
cNl NJ  
参数扫描（2D） ?>/9ae^Bw  
   %EH{p@nM&-  
6m%#cP (6K