高NA物镜广泛用于光刻,显微等技术。因此,聚焦
仿真中考虑光的矢量性质至关重要。
VirtualLab可以非常便捷地对此类
镜头进行
光线追迹和场追迹分析。通过场追迹,可以清楚地观察由于矢量效应引起的聚焦
光斑失对称现象。利用
相机探测器和电磁场探测器能够对聚焦区域进行灵活全面的研究,进而加深对矢量效应的理解。
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KK+Mxoj, Fmu R(f= 2. 建模任务 f
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!m;VWGl* Rl~Tw9 3. 概述 okYsjK5 z 4-wvn<* G\ofg 示例
系统包含了高数值
孔径物镜 0ePZxOSjD 下一步,我们将阐述如何遵循VirtualLab中推荐的工作流程执行示例系统的仿真。
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J L3A/^ ~(8A&!#,! 4. 光线追迹仿真 c(jA"K[|b cZYX[.oIB Rq7ks To 首先,选择“Ray Tracing System Analyzer”作为仿真引擎。
+[ F8>9o& 点击“Go!”。
jmIP c3O0 随即获得3D光线追迹结果
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pmS=$z;I V= _8G3 然后,选择“Ray Tracing”作为仿真引擎。 点击“Go!”。
j\a?n4g - 随即获得点列图(2D光线追迹结果)。
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MS b{ve_ 5. 场追迹仿真 *8N~Zmz /[q@=X& )fa 转换到场追迹,并选择“Field Tracing 2nd Generation”作为仿真引擎。
y.nw6.`MR 点击“Go!”。
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82<L07fB \ Q6Ip@? 6. 场追迹结果(相机探测器) wFvilF
V , QQ:o'I! K5KN}sRs" 上图所示为仅通过叠加Ex和Ey场分量得到的强度分布。
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[D 下图所示为通过叠加Ex,Ey和Ez分量得到的强度分布:由于在高NA条件下相对较大Ez分量,导致聚焦光斑明显的失对称性。
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;2iZX=P`n 7. 场追迹结果(电磁场探测器) gO5;hd[l 利用电磁场探测器,我们可以获得多有电磁场分量的结果
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