高NA物镜广泛用于光刻,显微等技术。因此,聚焦
仿真中考虑光的矢量性质至关重要。
VirtualLab可以非常便捷地对此类
镜头进行
光线追迹和场追迹分析。通过场追迹,可以清楚地观察由于矢量效应引起的聚焦
光斑失对称现象。利用
相机探测器和电磁场探测器能够对聚焦区域进行灵活全面的研究,进而加深对矢量效应的理解。
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m_) 2. 建模任务 `K^j:fE7n
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ADQ#qA,/ uNn]hl|x 3. 概述 ^cy.iolt 7CKh?> A!&hjV` 示例
系统包含了高数值
孔径物镜 ;%H/^b.c 下一步,我们将阐述如何遵循VirtualLab中推荐的工作流程执行示例系统的仿真。
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LgX"Qk&Ca 3LaqEj 4. 光线追迹仿真 CI };$4W~ .^%!X!r .s)z?31 首先,选择“Ray Tracing System Analyzer”作为仿真引擎。
-:|1>og 点击“Go!”。
GukS=rC9 随即获得3D光线追迹结果
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6fOh * ATb[/=hP<R 然后,选择“Ray Tracing”作为仿真引擎。 点击“Go!”。
(gn)<JJS} 随即获得点列图(2D光线追迹结果)。
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8"\g?/ 5. 场追迹仿真 RI
q9wD}4( ZKv^q%92 %;Dp~T`0 转换到场追迹,并选择“Field Tracing 2nd Generation”作为仿真引擎。
BrQXSN$i 点击“Go!”。
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-m.SN>V Gg3cY{7 6. 场追迹结果(相机探测器) 6] ~g*]T FYe(SV(9 n' \poB? 上图所示为仅通过叠加Ex和Ey场分量得到的强度分布。
nM)q;9-ni 下图所示为通过叠加Ex,Ey和Ez分量得到的强度分布:由于在高NA条件下相对较大Ez分量,导致聚焦光斑明显的失对称性。
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1Ue;hu'q: 7. 场追迹结果(电磁场探测器)
'7!b#if 利用电磁场探测器,我们可以获得多有电磁场分量的结果
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