高NA物镜广泛用于光刻,显微等技术。因此,聚焦
仿真中考虑光的矢量性质至关重要。
VirtualLab可以非常便捷地对此类
镜头进行
光线追迹和场追迹分析。通过场追迹,可以清楚地观察由于矢量效应引起的聚焦
光斑失对称现象。利用
相机探测器和电磁场探测器能够对聚焦区域进行灵活全面的研究,进而加深对矢量效应的理解。
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cC*H.N HfPu~P 2. 建模任务 . 3'U(U
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Nw8> 3. 概述 ri/CLq^D 7'!DK;=TD6 _:\zbn0\ 示例
系统包含了高数值
孔径物镜 $DlO<
下一步,我们将阐述如何遵循VirtualLab中推荐的工作流程执行示例系统的仿真。
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kQ`p\}7_ "-Yj~ 4. 光线追迹仿真 1)#dgsa }60/5HNr | Rj"}SC 首先,选择“Ray Tracing System Analyzer”作为仿真引擎。
I}+9@d 点击“Go!”。
Z,oCkv("n 随即获得3D光线追迹结果
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9S|a!9J &;naaV_2T 然后,选择“Ray Tracing”作为仿真引擎。 点击“Go!”。
CB0p2WS_ 随即获得点列图(2D光线追迹结果)。
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M0$_x~ 5. 场追迹仿真 DB+oCE<.# l<;~sag Pj1 k?7 转换到场追迹,并选择“Field Tracing 2nd Generation”作为仿真引擎。
e^}@X[*'# 点击“Go!”。
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[:zP]l.| W9QVfe#s 6. 场追迹结果(相机探测器) .^6yCs5~` @qSZ= &O5O@3:7] 上图所示为仅通过叠加Ex和Ey场分量得到的强度分布。
U4[GA4DZ 下图所示为通过叠加Ex,Ey和Ez分量得到的强度分布:由于在高NA条件下相对较大Ez分量,导致聚焦光斑明显的失对称性。
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[tR b{JsUd 7. 场追迹结果(电磁场探测器) <.2jQ#So 利用电磁场探测器,我们可以获得多有电磁场分量的结果
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