高NA物镜广泛用于光刻,显微等技术。因此,聚焦
仿真中考虑光的矢量性质至关重要。
VirtualLab可以非常便捷地对此类
镜头进行
光线追迹和场追迹分析。通过场追迹,可以清楚地观察由于矢量效应引起的聚焦
光斑失对称现象。利用
相机探测器和电磁场探测器能够对聚焦区域进行灵活全面的研究,进而加深对矢量效应的理解。
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pL!,1D! H\H7a.@nkF 2. 建模任务 TspX7<6r
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Z=Cw7E 4_ypFuS ^ 3. 概述 6212*Z_Af
\F-n}Z O2?yI8|Jn 示例
系统包含了高数值
孔径物镜 E_I-.o| 下一步,我们将阐述如何遵循VirtualLab中推荐的工作流程执行示例系统的仿真。
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dNY'uv&Y L)&^Pu 4. 光线追迹仿真 qA\&%n^j] Ook\CK*nKe |&xaV-b9W 首先,选择“Ray Tracing System Analyzer”作为仿真引擎。
kZo#Ny 点击“Go!”。
w=<E) 随即获得3D光线追迹结果
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uD?RL~M bcjh3WP 然后,选择“Ray Tracing”作为仿真引擎。 点击“Go!”。
%rJDpB{ 随即获得点列图(2D光线追迹结果)。
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8_w6% md 5. 场追迹仿真 4H;7GNu f3qR7%X? Y0kcxpK/ 转换到场追迹,并选择“Field Tracing 2nd Generation”作为仿真引擎。
DTuco9yr[ 点击“Go!”。
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W1<*9O JP0aNu 6. 场追迹结果(相机探测器) .a :7|L#a rqiH!R tmoCy0qWz 上图所示为仅通过叠加Ex和Ey场分量得到的强度分布。
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下图所示为通过叠加Ex,Ey和Ez分量得到的强度分布:由于在高NA条件下相对较大Ez分量,导致聚焦光斑明显的失对称性。
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xzOvc<u 7. 场追迹结果(电磁场探测器) Sz<:WY/(x 利用电磁场探测器,我们可以获得多有电磁场分量的结果
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