高NA物镜广泛用于光刻,显微等技术。因此,聚焦
仿真中考虑光的矢量性质至关重要。
VirtualLab可以非常便捷地对此类
镜头进行
光线追迹和场追迹分析。通过场追迹,可以清楚地观察由于矢量效应引起的聚焦
光斑失对称现象。利用
相机探测器和电磁场探测器能够对聚焦区域进行灵活全面的研究,进而加深对矢量效应的理解。
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>xq.bG $bFK2yx?= 2. 建模任务 BenyA:W"
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v\@RwtP gq/Za/!6 3. 概述 { I\og U V*Ruy- h:r?:C>n 示例
系统包含了高数值
孔径物镜 ( }Bb=~ 下一步,我们将阐述如何遵循VirtualLab中推荐的工作流程执行示例系统的仿真。
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w`V6vYd@ fb>$p_s] 4. 光线追迹仿真 6Io}3}3 uLWu. Vx N' R^gL 首先,选择“Ray Tracing System Analyzer”作为仿真引擎。
WvSm!W 点击“Go!”。
$~W5! m 随即获得3D光线追迹结果
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?+^p$'5 Jou*e% 然后,选择“Ray Tracing”作为仿真引擎。 点击“Go!”。
%A=/(%T> 随即获得点列图(2D光线追迹结果)。
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%Uz\P|6PO 5. 场追迹仿真 [H>u'fy:C wlaPE8Gc !$oa6*<1 转换到场追迹,并选择“Field Tracing 2nd Generation”作为仿真引擎。
emK*g<] 点击“Go!”。
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MJ1qU}+] orH6R8P] 6. 场追迹结果(相机探测器) j&'6|s{ %oTBh* K'o , 6X;YY 上图所示为仅通过叠加Ex和Ey场分量得到的强度分布。
}9fch9>Zr 下图所示为通过叠加Ex,Ey和Ez分量得到的强度分布:由于在高NA条件下相对较大Ez分量,导致聚焦光斑明显的失对称性。
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j9hfW' 7. 场追迹结果(电磁场探测器) UGy3B) 利用电磁场探测器,我们可以获得多有电磁场分量的结果
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