高NA物镜广泛用于光刻,显微等技术。因此,聚焦
仿真中考虑光的矢量性质至关重要。
VirtualLab可以非常便捷地对此类
镜头进行
光线追迹和场追迹分析。通过场追迹,可以清楚地观察由于矢量效应引起的聚焦
光斑失对称现象。利用
相机探测器和电磁场探测器能够对聚焦区域进行灵活全面的研究,进而加深对矢量效应的理解。
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A~nqSe :P2!& W 2. 建模任务 `{>/'o
N]/cBGy
/LWk>[Z; 0<@['W}G 3. 概述 t(roj@!x_o U@yhFj_y c\rP
-"C 示例
系统包含了高数值
孔径物镜 ,ps?@lD 下一步,我们将阐述如何遵循VirtualLab中推荐的工作流程执行示例系统的仿真。
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M"s:*c_6 \Q}Y"oq 4. 光线追迹仿真 J`[jub G?,3Zn0 # =y)Wuo= 首先,选择“Ray Tracing System Analyzer”作为仿真引擎。
Gq[5H(0/c 点击“Go!”。
k.54lNl 随即获得3D光线追迹结果
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hTEb?1CXU T'lycc4~a 然后,选择“Ray Tracing”作为仿真引擎。 点击“Go!”。
%4M,f.[e 随即获得点列图(2D光线追迹结果)。
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> fV"bj. 5. 场追迹仿真 *mj=kJ7(
5o4KV?" 5$:9nPAH 转换到场追迹,并选择“Field Tracing 2nd Generation”作为仿真引擎。
g&w~eWpk 点击“Go!”。
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>X ,m0M:!hK 6. 场追迹结果(相机探测器) y?r`[{L(lA 4/*@cW q4!\^HwQ 上图所示为仅通过叠加Ex和Ey场分量得到的强度分布。
e#}Fm;|d 下图所示为通过叠加Ex,Ey和Ez分量得到的强度分布:由于在高NA条件下相对较大Ez分量,导致聚焦光斑明显的失对称性。
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8#,_%<?UVy 7. 场追迹结果(电磁场探测器) &k_LK 利用电磁场探测器,我们可以获得多有电磁场分量的结果
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