高NA物镜广泛用于光刻,显微等技术。因此,聚焦
仿真中考虑光的矢量性质至关重要。
VirtualLab可以非常便捷地对此类
镜头进行
光线追迹和场追迹分析。通过场追迹,可以清楚地观察由于矢量效应引起的聚焦
光斑失对称现象。利用
相机探测器和电磁场探测器能够对聚焦区域进行灵活全面的研究,进而加深对矢量效应的理解。
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cN0|! nm* R#i|n<x 2. 建模任务 vZj^&/F$=g
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0* <gGC MzT#1~ 3. 概述 mt3j- Mw :-ZE~bHJ )k01K,%#) 示例
系统包含了高数值
孔径物镜 [?x9NQ{ 下一步,我们将阐述如何遵循VirtualLab中推荐的工作流程执行示例系统的仿真。
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G,M &z>ub0 O&l(`*P 4. 光线追迹仿真 bhe~ekb *cxmQ >C y 首先,选择“Ray Tracing System Analyzer”作为仿真引擎。
zIt-mU 点击“Go!”。
Ou</{l/ 随即获得3D光线追迹结果
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2xOjS1 然后,选择“Ray Tracing”作为仿真引擎。 点击“Go!”。
yi<&'L; 随即获得点列图(2D光线追迹结果)。
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I Gv_s+O-* 5. 场追迹仿真 B!GpD@U H+vONg &B^#?vmO 转换到场追迹,并选择“Field Tracing 2nd Generation”作为仿真引擎。
W)JUMW2| 点击“Go!”。
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l.}= HmKvu"3 6. 场追迹结果(相机探测器) Ze~$by|9f W"S,~y jm&?;~>O 上图所示为仅通过叠加Ex和Ey场分量得到的强度分布。
9\i;zpN\ 下图所示为通过叠加Ex,Ey和Ez分量得到的强度分布:由于在高NA条件下相对较大Ez分量,导致聚焦光斑明显的失对称性。
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(1JZuR<?c 7. 场追迹结果(电磁场探测器) %HSS
x+2oR 利用电磁场探测器,我们可以获得多有电磁场分量的结果
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