高NA物镜广泛用于光刻,显微等技术。因此,聚焦
仿真中考虑光的矢量性质至关重要。
VirtualLab可以非常便捷地对此类
镜头进行
光线追迹和场追迹分析。通过场追迹,可以清楚地观察由于矢量效应引起的聚焦
光斑失对称现象。利用
相机探测器和电磁场探测器能够对聚焦区域进行灵活全面的研究,进而加深对矢量效应的理解。
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##_Za6/n &V3oW1*W 2. 建模任务 of`]LU:
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-IS9uaT5 O}-7 V5 3. 概述 I3Lsj}69 Sg$\ab $ 0%F.]+6[O4 示例
系统包含了高数值
孔径物镜 713M4CtJ 下一步,我们将阐述如何遵循VirtualLab中推荐的工作流程执行示例系统的仿真。
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gL"}5 3A ehusI-q 4. 光线追迹仿真 f5% & }tZAU\z fB96Q 首先,选择“Ray Tracing System Analyzer”作为仿真引擎。
ws?s 点击“Go!”。
4Jr[8P0/A9 随即获得3D光线追迹结果
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RM1uYFs< grdyiBSVn 然后,选择“Ray Tracing”作为仿真引擎。 点击“Go!”。
uW~,H}E 随即获得点列图(2D光线追迹结果)。
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;cn.s, 5. 场追迹仿真 ls\E%d t)Q@sKT6 AV4HX\`{P0 转换到场追迹,并选择“Field Tracing 2nd Generation”作为仿真引擎。
g<4M!gi 点击“Go!”。
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/7@2Qc2 V8$bPVps 6. 场追迹结果(相机探测器) K=?F3tX^ nj0AO0 7B\(r~f`t 上图所示为仅通过叠加Ex和Ey场分量得到的强度分布。
i;zGw.;Q 下图所示为通过叠加Ex,Ey和Ez分量得到的强度分布:由于在高NA条件下相对较大Ez分量,导致聚焦光斑明显的失对称性。
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K('lH-3wS 7. 场追迹结果(电磁场探测器) +7<>x-+ 利用电磁场探测器,我们可以获得多有电磁场分量的结果
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