高NA物镜广泛用于光刻,显微等技术。因此,聚焦
仿真中考虑光的矢量性质至关重要。
VirtualLab可以非常便捷地对此类
镜头进行
光线追迹和场追迹分析。通过场追迹,可以清楚地观察由于矢量效应引起的聚焦
光斑失对称现象。利用
相机探测器和电磁场探测器能够对聚焦区域进行灵活全面的研究,进而加深对矢量效应的理解。
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SQw"mO <g8{LG0 2. 建模任务 2+LvlS)C
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D6FG$SV 6SSrkj }U 3. 概述 t 9.iWIr &#]||T- }-WuHh# 示例
系统包含了高数值
孔径物镜 Pv8AWQQJ 下一步,我们将阐述如何遵循VirtualLab中推荐的工作流程执行示例系统的仿真。
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vRO`hGH +$GP(Uu, 4. 光线追迹仿真 j0e1CSE xSjs+Y;Mu j 2Jew 首先,选择“Ray Tracing System Analyzer”作为仿真引擎。
Fw"x4w 点击“Go!”。
LS1}j WU! 随即获得3D光线追迹结果
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b=Q%Jxz? `XbV*{7 然后,选择“Ray Tracing”作为仿真引擎。 点击“Go!”。
}/.b@`Dh; 随即获得点列图(2D光线追迹结果)。
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Uw>g^[V; 5. 场追迹仿真 qI gb;=V mY]R~: k5GJrK+ 转换到场追迹,并选择“Field Tracing 2nd Generation”作为仿真引擎。
9KZLlEk5O 点击“Go!”。
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Pexg"328 *U4eL- 6. 场追迹结果(相机探测器) gMZ
` /=:X,^"P ("@ih]zYf 上图所示为仅通过叠加Ex和Ey场分量得到的强度分布。
qr7_3 下图所示为通过叠加Ex,Ey和Ez分量得到的强度分布:由于在高NA条件下相对较大Ez分量,导致聚焦光斑明显的失对称性。
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v!?>90a 7. 场追迹结果(电磁场探测器) r;&rc:?A 利用电磁场探测器,我们可以获得多有电磁场分量的结果
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