高NA物镜广泛用于光刻,显微等技术。因此,聚焦
仿真中考虑光的矢量性质至关重要。
VirtualLab可以非常便捷地对此类
镜头进行
光线追迹和场追迹分析。通过场追迹,可以清楚地观察由于矢量效应引起的聚焦
光斑失对称现象。利用
相机探测器和电磁场探测器能够对聚焦区域进行灵活全面的研究,进而加深对矢量效应的理解。
^Lv)){t ]j0/.pG
=Q*x=}NH L;-V Yo# 2. 建模任务 .Ta (v3om%
VWK%6Ye0
^[6el_mj UM<!bNz` 3. 概述
cH6++r -B&
Nou e}+Zj'5 示例
系统包含了高数值
孔径物镜 Wv||9[Rd 下一步,我们将阐述如何遵循VirtualLab中推荐的工作流程执行示例系统的仿真。
*yv@B!r s:3b. *t<
mKsJ[)#. [2PPa9F 4. 光线追迹仿真 r{KQ3j9O (H8JV1J DTlId~Dyq 首先,选择“Ray Tracing System Analyzer”作为仿真引擎。
p\R&vof* 点击“Go!”。
{y'4&vt<~ 随即获得3D光线追迹结果
L1Jn@ h[mJ=LIrg
OT0IGsJ"' oFGWI#]ts> 然后,选择“Ray Tracing”作为仿真引擎。 点击“Go!”。
^J;rW3#N8 随即获得点列图(2D光线追迹结果)。
5^K\<+{~B
~F8xXW0 5. 场追迹仿真 Zo,066'+[. c:[ZknnCe &M: