高NA物镜广泛用于光刻,显微等技术。因此,聚焦
仿真中考虑光的矢量性质至关重要。
VirtualLab可以非常便捷地对此类
镜头进行
光线追迹和场追迹分析。通过场追迹,可以清楚地观察由于矢量效应引起的聚焦
光斑失对称现象。利用
相机探测器和电磁场探测器能够对聚焦区域进行灵活全面的研究,进而加深对矢量效应的理解。
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_/F7?^j <L`KzaA 2. 建模任务 R?68*}
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<WJ7 3. 概述 &{ay=Mj )+l\w3^6 M1 :uJkO. 示例
系统包含了高数值
孔径物镜 mZk]l5Lc 下一步,我们将阐述如何遵循VirtualLab中推荐的工作流程执行示例系统的仿真。
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?h.wK h^?\xm| 4. 光线追迹仿真 cimp/n" \!>3SKs(e Q(lo{AFc 首先,选择“Ray Tracing System Analyzer”作为仿真引擎。
YwteZSbp6M 点击“Go!”。
~T9/#-e>BF 随即获得3D光线追迹结果
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'{E@*T/<. s8wmCzB~ 然后,选择“Ray Tracing”作为仿真引擎。 点击“Go!”。
Q?e*4ba 随即获得点列图(2D光线追迹结果)。
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{kp"nl$< 5. 场追迹仿真 |k+8<\ ]4~lYuI4 b@rVo; 转换到场追迹,并选择“Field Tracing 2nd Generation”作为仿真引擎。
M\sN@+ 点击“Go!”。
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O'M 6. 场追迹结果(相机探测器) K&nE_.kbl 6qRx0"qB uv=.2U46 上图所示为仅通过叠加Ex和Ey场分量得到的强度分布。
yOphx07 ( 下图所示为通过叠加Ex,Ey和Ez分量得到的强度分布:由于在高NA条件下相对较大Ez分量,导致聚焦光斑明显的失对称性。
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7. 场追迹结果(电磁场探测器) bvS(@ 利用电磁场探测器,我们可以获得多有电磁场分量的结果
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