高NA物镜广泛用于光刻,显微等技术。因此,聚焦
仿真中考虑光的矢量性质至关重要。
VirtualLab可以非常便捷地对此类
镜头进行
光线追迹和场追迹分析。通过场追迹,可以清楚地观察由于矢量效应引起的聚焦
光斑失对称现象。利用
相机探测器和电磁场探测器能够对聚焦区域进行灵活全面的研究,进而加深对矢量效应的理解。
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]bIt@GB }/20%fP 2. 建模任务 : (cb2j(C
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3. 概述 C5Xof|#p| ;v_ls)_,- 1YFeVMc 示例
系统包含了高数值
孔径物镜 s}wO7Df=+ 下一步,我们将阐述如何遵循VirtualLab中推荐的工作流程执行示例系统的仿真。
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TZ'aNcGg /J;;|X#P 4. 光线追迹仿真 @:
Z#E[N H !}ilN 1> )!i!3 首先,选择“Ray Tracing System Analyzer”作为仿真引擎。
Jz0K}^Dj[ 点击“Go!”。
0C]4~F x~ 随即获得3D光线追迹结果
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然后,选择“Ray Tracing”作为仿真引擎。 点击“Go!”。
@l{I[pp 随即获得点列图(2D光线追迹结果)。
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WHP;Neb6 5. 场追迹仿真 AuAT]` y1iX!m~) *<r%aeG$em 转换到场追迹,并选择“Field Tracing 2nd Generation”作为仿真引擎。
usy,V"{ 点击“Go!”。
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