高NA物镜广泛用于光刻,显微等技术。因此,聚焦
仿真中考虑光的矢量性质至关重要。
VirtualLab可以非常便捷地对此类
镜头进行
光线追迹和场追迹分析。通过场追迹,可以清楚地观察由于矢量效应引起的聚焦
光斑失对称现象。利用
相机探测器和电磁场探测器能够对聚焦区域进行灵活全面的研究,进而加深对矢量效应的理解。
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Ez/\bE _H4$$ 2. 建模任务 hy$MV3LP
c#{Ywh
HzD> -f `R=a@DQ 3. 概述 23}BW_m 28T\@zi YQ 8j 示例
系统包含了高数值
孔径物镜 j8[`~pb 下一步,我们将阐述如何遵循VirtualLab中推荐的工作流程执行示例系统的仿真。
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_.d}lK3$2 Gd30Be2gd 4. 光线追迹仿真 U`bC>sCp cg(QjH" "pSH!0Ap\ 首先,选择“Ray Tracing System Analyzer”作为仿真引擎。
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MY; 点击“Go!”。
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随即获得3D光线追迹结果
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\LO_Nu9 r{K\(UT]! 然后,选择“Ray Tracing”作为仿真引擎。 点击“Go!”。
-1jjB1 随即获得点列图(2D光线追迹结果)。
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~In{lQ[QX 5. 场追迹仿真 js:C
mnI LPEjRG, GXOFk7> 转换到场追迹,并选择“Field Tracing 2nd Generation”作为仿真引擎。
P]pmt1a 点击“Go!”。
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gCv"9j<j abM84EU 6. 场追迹结果(相机探测器) BN+V,W )^t!|*1LA xGKfej9 上图所示为仅通过叠加Ex和Ey场分量得到的强度分布。
G_V.H\w 下图所示为通过叠加Ex,Ey和Ez分量得到的强度分布:由于在高NA条件下相对较大Ez分量,导致聚焦光斑明显的失对称性。
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wXc,F D$ 7. 场追迹结果(电磁场探测器) f!5F]qP>- 利用电磁场探测器,我们可以获得多有电磁场分量的结果
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