高NA物镜广泛用于光刻,显微等技术。因此,聚焦
仿真中考虑光的矢量性质至关重要。
VirtualLab可以非常便捷地对此类
镜头进行
光线追迹和场追迹分析。通过场追迹,可以清楚地观察由于矢量效应引起的聚焦
光斑失对称现象。利用
相机探测器和电磁场探测器能够对聚焦区域进行灵活全面的研究,进而加深对矢量效应的理解。
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xOKLc!J Wqy\yS [ 2. 建模任务 nBN+.RB:(
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X-lB1uq^ bi@z<Xm% 3. 概述 l0
Eh? FV 0x/)<z %ZKP d8 示例
系统包含了高数值
孔径物镜 26e. Hu 下一步,我们将阐述如何遵循VirtualLab中推荐的工作流程执行示例系统的仿真。
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MAv-`8@| 4~s{zob 4. 光线追迹仿真 tz6N,4J? \H^A@f ?W27
h 首先,选择“Ray Tracing System Analyzer”作为仿真引擎。
XABB6J] 点击“Go!”。
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,U#z 随即获得3D光线追迹结果
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VB}4#-dG? VR'R7 然后,选择“Ray Tracing”作为仿真引擎。 点击“Go!”。
t.s;dlx[@ 随即获得点列图(2D光线追迹结果)。
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w3<%wN>tE 5. 场追迹仿真 '5usPD o/J2BZ<_< ]ChGi[B~9 转换到场追迹,并选择“Field Tracing 2nd Generation”作为仿真引擎。
_aaQ1A`p 点击“Go!”。
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fPpFAO K/;*.u`: 6. 场追迹结果(相机探测器) 3g{T+c* (O(X k+L ((AsZ$[S 上图所示为仅通过叠加Ex和Ey场分量得到的强度分布。
rGqT[~{t 下图所示为通过叠加Ex,Ey和Ez分量得到的强度分布:由于在高NA条件下相对较大Ez分量,导致聚焦光斑明显的失对称性。
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ES>iM)M 7. 场追迹结果(电磁场探测器) (K74Qg 利用电磁场探测器,我们可以获得多有电磁场分量的结果
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