高NA物镜广泛用于光刻,显微等技术。因此,聚焦
仿真中考虑光的矢量性质至关重要。
VirtualLab可以非常便捷地对此类
镜头进行
光线追迹和场追迹分析。通过场追迹,可以清楚地观察由于矢量效应引起的聚焦
光斑失对称现象。利用
相机探测器和电磁场探测器能够对聚焦区域进行灵活全面的研究,进而加深对矢量效应的理解。
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T0SD|' 6[CX[=P30 2. 建模任务 :Ert57@l
ce;9UBkOg2
s+CWyW@ zJV4) 3. 概述 $b8>SSz J7$=f~$ 2T|L##C 示例
系统包含了高数值
孔径物镜 dxU[>m; 下一步,我们将阐述如何遵循VirtualLab中推荐的工作流程执行示例系统的仿真。
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&zm5s*yNt )GR^V=o7,Y 4. 光线追迹仿真 sF|lhLi T"0a&.TLj Kc(_?` 首先,选择“Ray Tracing System Analyzer”作为仿真引擎。
l/1uP 点击“Go!”。
;;U2I5 M7 随即获得3D光线追迹结果
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c8yD-U/- (0k0gq; 然后,选择“Ray Tracing”作为仿真引擎。 点击“Go!”。
bEy%S"\< 随即获得点列图(2D光线追迹结果)。
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,DX%wk, 5. 场追迹仿真 @!F9}n
AP 6qw_ |A&g Gis'IX( 转换到场追迹,并选择“Field Tracing 2nd Generation”作为仿真引擎。
@Xh4ZMyEx 点击“Go!”。
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5Ut0I]h|z 2/bck)p= 6. 场追迹结果(相机探测器) CsE|pXVG n
XQg(! ~L1N1Z)Kk 上图所示为仅通过叠加Ex和Ey场分量得到的强度分布。
9np<r82 下图所示为通过叠加Ex,Ey和Ez分量得到的强度分布:由于在高NA条件下相对较大Ez分量,导致聚焦光斑明显的失对称性。
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/wK7l-S 7. 场追迹结果(电磁场探测器) V*/))n? 利用电磁场探测器,我们可以获得多有电磁场分量的结果
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