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CD^_>sya =?57*=]0M 内容简介 ?/{
qRz'C< Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ;P _`4w3 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 r}QW!^F 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 _qmBPUx 讯技科技股份有限公司 Xig+[2zS
tGD$cBE /v;g v[ 目录 iYv6B6o/99 Preface 1 RN3w{^Ll 内容简介 2 |zvxKIW;wd 目录 i R6)p4#|i 1 引言 1 .dp~%!"Sn, 2 光学薄膜基础 2 PF!Q2t5c3 2.1 一般规则 2 OR( )D~:n 2.2 正交入射规则 3 $Kb-mFR 2.3 斜入射规则 6 (XRj##G{ 2.4 精确计算 7 (1(3:)@S6 2.5 相干性 8 d+ih]? 2.6 参考文献 10 6yTL7@V|B 3 Essential Macleod的快速预览 10 t3Q;1#Zf 4 Essential Macleod的特点 32 2X)E3V/*
4.1 容量和局限性 33 &6MGPh7T 4.2 程序在哪里? 33 K~@-*8% 4.3 数据文件 35 ez86+ 4.4 设计规则 35 J*,Ed51&7 4.5 材料数据库和资料库 37 ,h5.Si> 4.5.1材料损失 38 60teD>Eh, 4.5.1材料数据库和导入材料 39 N(}7M~m> 4.5.2 材料库 41 BaiC;&(
4.5.3导出材料数据 43 uiE9#G 4.6 常用单位 43 ozkN&0 4.7 插值和外推法 46 +tkd($// 4.8 材料数据的平滑 50 JeUFCWm 4.9 更多光学常数模型 54 D/{Tl 4.10 文档的一般编辑规则 55 $|6Le;
K 4.11 撤销和重做 56 [CRy>hfV 4.12 设计文档 57 w>H!H6Q 4.10.1 公式 58
4m#i4 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 tmK@Veb*a' 4.10.3 沉积密度 59 MJV&%E6{:{ 4.10.4 平行和楔形介质 60 :'I mz 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 k%:]PQjYT 4.10.4 性能 61 YcRjbF,|6 4.10.5 保存设计和性能 64 zi[bpa17W 4.10.6 默认设计 64 Ej 'a
G 4.11 图表 64 ):LJ {.0R 4.11.1 合并曲线图 67 BIbcm,YQ 4.11.2 自适应绘制 68 s4MP!n?gB 4.11.3 动态绘图 68 %~^R Iwm 4.11.4 3D绘图 69 p5)A"p8"9, 4.12 导入和导出 73 vCbqZdy? 4.12.1 剪贴板 73 0NpxqeIDY 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 f>ED 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 gA2\c5F< 4.13 背景 77 TDtk'=; 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 bU2)pD!N 4.15 生成Rugate 84 0>Ki([3 4.16 参考文献 91 t
~U&a9&Z 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ,O3"r; 5.1 Jobs 92 L V33vy 5.2 创建一个新Job(工作) 93 >\}2("bv 5.3 输入材料 94 RJF1~9 5.4 设计数据文件夹 95 faD(,H 5.5 默认设计 95 `x6 i5mp 6 细化和合成 97 X_Y$-I$qd 6.1 优化介绍 97 &ks>.l\ 6.2 细化 (Refinement) 98 @%ChPjN 6.3 合成 (Synthesis) 100 ?h
K+h .{ 6.4 目标和评价函数 101 b*dRNu 6.4.1 目标输入 102 VC>KW{&J0 6.4.2 目标 103 N[aK#o, 6.4.3 特殊的评价函数 104 C"IPCJYn 6.5 层锁定和连接 104 G*ym[ 6.6 细化技术 104 i7e{REBXb 6.6.1 单纯形 105 %tUJ >qYU 6.6.1.1 单纯形参数 106 Sr2c'T" 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ,W*<e- 6.6.2.1 Optimac参数 108 s(Kf%ZoE 6.6.3 模拟退火算法 109 Eto0>YyZ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 A3'i
- 6.6.4 共轭梯度 111 lP9a*>=a 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 S5m1~fz 6.6.5 拟牛顿法 112 kwGj7' 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 YDjQ&EH 6.6.6 针合成 113 I+`~6 6.6.6.1 针合成参数 114 vx!nC}f"k` 6.6.7 差分进化 114 t4h05 i 6.6.8非局部细化 115 I|Z5*iXqCm 6.6.8.1非局部细化参数 115 qx0J}6+NlU 6.7 我应该使用哪种技术? 116 NYR^y\u 6.7.1 细化 116 nV:.-JR 6.7.2 合成 117 z<^HohT 6.8 参考文献 117 {v;Y}o-p 7 导纳图及其他工具 118 r^*,eF 7.1 简介 118 hbE;zY%hP 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 TrkoLJmB 7.2.1 四分之一波长规则 119 .%WbXs 7.2.2 导纳图 120 {r'#(\ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 =\:YNP/ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ;K$E;ZhPN 7.5 斜入射导纳图 141 Q$kSK+ q! 7.6 对称周期 141 N^mY/`2 7.7 参考文献 142 y3;G<9K2c] 8 典型的镀膜实例 143 Q*mPU=< 8.1 单层抗反射薄膜 145 & r\z9! 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 c?<FMb3] 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 4~G9._ 8.4 W-膜层 148 [(#ncR8B 8.5 V-膜层 149 J,{sRb% 8.6 V-膜层高折射基底 150 .]v8W51Y 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 !R)v2Mk| 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 )JuD ! 8.9 四层抗反射薄膜 153 4!/{CGP 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 TmzEZ<} &7 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 [Y'Xop6G 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 }p8a'3@Z 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 KS(s<ip| 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 DJrA@hm/Y 8.15十五层宽带抗反射膜 159 \:-; { 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ]d% hU 8.17 1/4波长堆栈 162 17<\Q(YQ= 8.18 陷波滤波器 163 J
tYnBg?[E 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 "V?U^L>SF 8.20 褶皱 165 xQaN\):^8 8.21 消偏振分光器1 169 nBGk %NM 8 8.22 消偏振分光器2 171 {:{NK% 8.23 消偏振立体分光器 172 g%9I+(?t 8.24 消偏振截止滤光片 173 -f Zm_FE 8.25 立体偏振分束器1 174 ,Y9lp)w 8.26 立方偏振分束器2 177 7*@qd& 8.27 相位延迟器 178 sEhdkN}6 8.28 红外截止器 179 g w}t.3} 8.29 21层长波带通滤波器 180 1[X+6viE 8.30 49层长波带通滤波器 181 3(AgUq 8.31 55层短波带通滤波器 182 "MK:y[+* 8.32 47 红外截止器 183 LG&~#x 8.33 宽带通滤波器 184 eCk}B$ 2 8.34 诱导透射滤波器 186 |3"'>*
J 8.35 诱导透射滤波器2 188 ZIpL4y
=_ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 e-{k;V7b 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 L
F Z 8.35 增益平坦滤波器 193 &IOChQ`8P 8.38 啁啾反射镜 1 196 sl/# 1B 8.39 啁啾反射镜2 198 \7gLk: 8.40 啁啾反射镜3 199 UKk~)Of 8.41 带保护层的铝膜层 200 0[9A* 8.42 增加铝反射率膜 201 f4`=yj* 8.43 参考文献 202 ~{U~9v^v( 9 多层膜 204 MH!'g7iK8 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 \t^q@}~0Wz 9.2 内部透过率 204 lh8`.sWk4V 9.3 内部透射率数据 205 oD~VK,. 9.4 实例 206 gt'0B-;W 9.5 实例2 210 x*bM C&Ea 9.6 圆锥和带宽计算 212 F!'b_gmz 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 kF6X?mqgD 10 光学薄膜的颜色 216 3x'BMAA+ 10.1 导言 216 oACuI|b 10.2 色彩 216 K.b-8NIUW 10.3 主波长和纯度 220 2x3&o|J 10.4 色相和纯度 221 SvDVxK 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 <E$5LP;: 10.6 色差 226 LuR.; TiW 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 VJZ
10.8 颜色渲染指数 234 e)7[weGN 10.9 色差计算 235 R}>Gk 10.10 参考文献 236 K^s!0[6 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ?sp 11.1 短脉冲 238 !t~S.`vF 11.2 群速度 239 3EF|1B/5 11.3 群速度色散 241 &[qLl 11.4 啁啾(chirped) 245 .CrahV1G 11.5 光学薄膜—相变 245 Uhb6{'+ 11.6 群延迟和延迟色散 246 $&k zix 11.7 色度色散 246 im4V6 f;% 11.8 色散补偿 249 "fr B5[ 11.9 空间光线偏移 256 i&{8a3B 11.10 参考文献 258 r`B8Cik 12 公差与误差 260 O<."C=1~E 12.1 蒙特卡罗模型 260 aq,&W
q@ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 /Q})%j1S0 12.2.1 误差工具 267 p>|;fS\`@} 12.2.2 灵敏度工具 271 m0XK?;\V 12.2.2.1 独立灵敏度 271 mi%d([)%< 12.2.2.2 灵敏度分布 275 )bw^!w) 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 yhgHwES" 12.3 参考文献 276 9IC"p<D 13 Runsheet 与Simulator 277 Y
-o*d@ 13.1 原理介绍 277 Aj SIM. 13.2 截止滤光片设计 277 .2[>SI 14 光学常数提取 289 $PHKI B( 14.1 介绍 289 o&fAnpia= 14.2 电介质薄膜 289 UH.M)br 14.3 n 和k 的提取工具 295 1MX:^L!f8 14.4 基底的参数提取 302 zSj.Y{J 14.5 金属的参数提取 306 qRTxg% 14.6 不正确的模型 306 H_vOZ0 14.7 参考文献 311 p,$1%/m 15 反演工程 313 rsOon2| 15.1 随机性和系统性 313 u23^* - 15.2 常见的系统性问题 314 j?[fpN$ 15.3 单层膜 314 X.%Xi'H 15.4 多层膜 314 y<8)mw 15.5 含义 319 vC&y:XMt,` 15.6 反演工程实例 319 hTf]t 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 r >u0Y 15.6.2 反演工程提取折射率 327 DZR kK3 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 P[%
W[E< 16.1 光学性质的热致偏移 329 #@3RYx 16.2 应力工具 335 W>bhSKV% 16.3 均匀性误差 339 9k& lq$ 16.3.1 圆锥工具 339 Xr6lYO _R 16.3.2 波前问题 341 ^md7ezXL 16.4 参考文献 343 Xe:B* 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 S-Ryt>G 17.1 引言 345 ?dC[VYC\^ 17.2 操作数 345 8!4=j 18 如何在Function中编写脚本 351 fw|r{#d 18.1 简介 351 AL&}WbUC 18.2 什么是脚本? 351 ,#`gwtFG 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 'nBJ[$2^ 18.4 基础 352 :hjeltt 18.4.1 Classes(类别) 352 #:DDx5%x<b 18.4.2 对象 352 bhnm<RZ 18.4.3 信息(Messages) 352 y%v<Cp@R 18.4.4 属性 352 xXp\U'Ad~~ 18.4.5 方法 353 {KdC51"Nv 18.4.6 变量声明 353 Bl3G_Ep 18.5 创建对象 354 T5Sa9\`> 18.5.1 创建对象函数 355 -Z4J?b 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 &gIu<*u< 18.5.3 丢弃对象 356 gE`G3kgn{ 18.5.4 总结 356 MS_&;2 18.6 脚本中的表格 357 #HJ F== 18.6.1 方法1 357 ~pX&>v\T 18.6.2 方法2 357 zTAt% w5 18.7 2D Plots in Scripts 358 !b7]n-1zs 18.8 3D Plots in Scripts 359 R^f~aLl 18.9 注释 360 ^qIp+[/' 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 [o*u!2 r 18.11 一个更高级的脚本 362 h"
P4 18.12 <esc>键 364 & |