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9@mvG^ bVa?yWb. 内容简介 H?ug-7k/ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 QUZ+#*:s 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 AOwmPHEL 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ly_8p63- 讯技科技股份有限公司 i{:iRUC#
E.0J94>iM -eD]gm 目录 @,2,(=l*C Preface 1 -0]%#(E%`h 内容简介 2 8GjETq%} 目录 i %.'oY% 1 引言 1 m],.w M8 2 光学薄膜基础 2 O(e!Vx{t! 2.1 一般规则 2 f#7=N{wm 2.2 正交入射规则 3 >#gDk K 2.3 斜入射规则 6 gNDMJ^` 2.4 精确计算 7 E`C!q
X> 2.5 相干性 8 ;i/? fw[h 2.6 参考文献 10 W:9l"' 3 Essential Macleod的快速预览 10 0jPUDkH* 4 Essential Macleod的特点 32 voTP,R[}85 4.1 容量和局限性 33 *DZ7,$LQ~D 4.2 程序在哪里? 33 hd(TKFL^y 4.3 数据文件 35 ?4aW^l6/ 4.4 设计规则 35 4gVIuF*pS 4.5 材料数据库和资料库 37 vM$hCV~N 4.5.1材料损失 38 59"tHb6 E 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ;KEie@Ry 4.5.2 材料库 41 [gZR}E 4.5.3导出材料数据 43 7`^Y*:( 4.6 常用单位 43 y7rT[f/J 4.7 插值和外推法 46 P&@,Z#\ 4.8 材料数据的平滑 50 .Y8P6_ 4.9 更多光学常数模型 54 _Y}cK|3 4.10 文档的一般编辑规则 55 @de0)AJG6 4.11 撤销和重做 56 @0C[o9 4.12 设计文档 57 ?_p!teb 4.10.1 公式 58 dD~H ft 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 /& c2y=/'C 4.10.3 沉积密度 59 G%zJ4W% 4.10.4 平行和楔形介质 60 N[fwd=$\# 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 +9pock 4.10.4 性能 61 0M&~;`W} 4.10.5 保存设计和性能 64 $d4&H/u^ 4.10.6 默认设计 64 V[WLS ?-) 4.11 图表 64 )`ixT) 4.11.1 合并曲线图 67 X%N!gy 4.11.2 自适应绘制 68 0w< ilJ 4.11.3 动态绘图 68 =VT\$
5A 4.11.4 3D绘图 69 >Bdh`Ot-! 4.12 导入和导出 73 >ke.ZZV? 4.12.1 剪贴板 73 ' u;Zw%O(J 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ct
OCj$$u 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 | WTWj 4.13 背景 77 ~3Zz.!F 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 [F;\NJp6?^ 4.15 生成Rugate 84 jENC1T( 4.16 参考文献 91 uqa
pj(" 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 UugR 5.1 Jobs 92 u?g&(h 5.2 创建一个新Job(工作) 93 %;= ?r*] 5.3 输入材料 94 r ?<kWR?w 5.4 设计数据文件夹 95 /lPnf7 5.5 默认设计 95 j8PeO&n> 6 细化和合成 97 ~Z*7:bPN!^ 6.1 优化介绍 97 r:E4Wi{\ 6.2 细化 (Refinement) 98 a^E>LJL 6.3 合成 (Synthesis) 100 oOAkwc%)b 6.4 目标和评价函数 101 ;3xi.^=B 6.4.1 目标输入 102 z 0zB&} 6.4.2 目标 103 ) j&khHD 6.4.3 特殊的评价函数 104 ~x+'-2A46 6.5 层锁定和连接 104 H+]h+K9\7 6.6 细化技术 104 >j$aY 6.6.1 单纯形 105 .3V L 6.6.1.1 单纯形参数 106 *PB /I4>{ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 7N@[Rtv
6.6.2.1 Optimac参数 108 {D :WXvI 6.6.3 模拟退火算法 109 uudd'L 6.6.3.1 模拟退火参数 109 L+T7Ge
q 6.6.4 共轭梯度 111 \/gf_R_GN 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 m']$)Iqw 6.6.5 拟牛顿法 112 _3wK: T{: 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 q
#7Nk)<.
6.6.6 针合成 113 5[r}'08b 6.6.6.1 针合成参数 114 4K dYiuz0` 6.6.7 差分进化 114 1ah,Zth2 6.6.8非局部细化 115 NjA[(8\: 6.6.8.1非局部细化参数 115 D^P0X:T] 6.7 我应该使用哪种技术? 116 YWD gRb 6.7.1 细化 116 e{Vn{.i,5 6.7.2 合成 117 N;BuBm5K 6.8 参考文献 117 m_Z(osoE#W 7 导纳图及其他工具 118 % WXl* 7.1 简介 118 H"k\(SPVS 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Q=vo5)t 7.2.1 四分之一波长规则 119 2@pEiq3 7.2.2 导纳图 120 M5d EZ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 M"{*))O\-c 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 `k8j FB C
7.5 斜入射导纳图 141 ,_w}\'?L 7.6 对称周期 141 h8Oj
E$
H 7.7 参考文献 142 ZqpK}I 8 典型的镀膜实例 143 Hg8
4\fA 8.1 单层抗反射薄膜 145 '+j;g 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 4KSq]S. 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 .f;@OqU 8.4 W-膜层 148 k\*?<g 8.5 V-膜层 149 #Cy3x-! 8.6 V-膜层高折射基底 150 |22vNt_ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 !O}e)t 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 -e_TJA 8.9 四层抗反射薄膜 153 \v<S:cTf 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ht>/7.p] 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 m-;8O / 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ,O-_Pv 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 _/cX!/" 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Q*1'k%7 8.15十五层宽带抗反射膜 159 M.Tp)ig\# 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 0+SZ-] 8.17 1/4波长堆栈 162 x5pu+-h 8.18 陷波滤波器 163 O{7#Xj
:_ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ~UQ<8`@a 8.20 褶皱 165 tX1`/}`` 8.21 消偏振分光器1 169 AFvv+
ss 8.22 消偏振分光器2 171 (4yXr|to} 8.23 消偏振立体分光器 172 KydAFxUb 8.24 消偏振截止滤光片 173 '73}{" ' 8.25 立体偏振分束器1 174 'Z9UqEGV 8.26 立方偏振分束器2 177 r2i]9>w 8.27 相位延迟器 178 \+Y=}P> 8.28 红外截止器 179 #*"V'dj;e 8.29 21层长波带通滤波器 180 zw$\d1-+h 8.30 49层长波带通滤波器 181 KU0Ad);e 8.31 55层短波带通滤波器 182 DcM/p8da 8.32 47 红外截止器 183 b2[U3)|oO 8.33 宽带通滤波器 184 vSoG] :1 8.34 诱导透射滤波器 186 #DJZ42 8.35 诱导透射滤波器2 188 O:T
49:R}r 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 F:jtzy" 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 c'Ibgfx%m 8.35 增益平坦滤波器 193 t98S[Z(-%+ 8.38 啁啾反射镜 1 196 p W5D!z 8.39 啁啾反射镜2 198 T;{:a-8 8.40 啁啾反射镜3 199 52Dgul 8.41 带保护层的铝膜层 200 [P ;fv 8.42 增加铝反射率膜 201 f2SJ4"X 8.43 参考文献 202 kX}sDvP3 9 多层膜 204 Jc]66
9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 4tUt"N 9.2 内部透过率 204 S*J\YcqSC 9.3 内部透射率数据 205 8Exky^OT| 9.4 实例 206 Ik5V? 9.5 实例2 210 `ZM$\Q=: 9.6 圆锥和带宽计算 212 S<'_{u z 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 <Uf`'X\e6 10 光学薄膜的颜色 216 QV\af 10.1 导言 216
JgKhrDx 10.2 色彩 216 HUCJA-OZGL 10.3 主波长和纯度 220 u#^l9/tl 10.4 色相和纯度 221 >JY\h1+ H 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Y= =5\;- 10.6 色差 226 .j|uf[?h 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ~[og\QZX 10.8 颜色渲染指数 234 YPY,gR 10.9 色差计算 235 '
;nG4+K 10.10 参考文献 236 uW#s;1H.) 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Ef?|0Gm 11.1 短脉冲 238 |/%5~=%7 11.2 群速度 239 \ )>#`X 11.3 群速度色散 241 YN<vOv 11.4 啁啾(chirped) 245 W$;qhB 11.5 光学薄膜—相变 245 gVh&c4 11.6 群延迟和延迟色散 246 &V+KM"Ow 11.7 色度色散 246 $G }9iV7 11.8 色散补偿 249 Y{#*;p*I 11.9 空间光线偏移 256 ?K2}<H- 11.10 参考文献 258 % a.T@E 12 公差与误差 260 j)YX=r;xM 12.1 蒙特卡罗模型 260 #9.%>1{6Y 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Dr=$ }Y 12.2.1 误差工具 267 wpi$-i` 12.2.2 灵敏度工具 271 _FcTY5."S 12.2.2.1 独立灵敏度 271 x^pt^KR; 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Fo;:GX,b 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 "%a<+D 12.3 参考文献 276 y&O?`"Uv/M 13 Runsheet 与Simulator 277 v#<{Y'K 13.1 原理介绍 277 d8+@K&z| 13.2 截止滤光片设计 277 J=: \b 14 光学常数提取 289 bqA`oRb\ 14.1 介绍 289 2]5Li/ 14.2 电介质薄膜 289 +S-60EN*A 14.3 n 和k 的提取工具 295 =&9c5"V& 14.4 基底的参数提取 302 enQW;N1_M 14.5 金属的参数提取 306 =_m3~=Z 14.6 不正确的模型 306 ST?Rl@4 14.7 参考文献 311 WvfM.D!
15 反演工程 313 Qo^(r$BD 15.1 随机性和系统性 313 ^?sP[;8S! 15.2 常见的系统性问题 314 Gr/}&+S 15.3 单层膜 314 `zw % 15.4 多层膜 314 p8@&(+z 15.5 含义 319
EStui>ho 15.6 反演工程实例 319 6<QC|>p 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 B9$f y).Gp 15.6.2 反演工程提取折射率 327 xfI0P0+ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 rWDD$4y 16.1 光学性质的热致偏移 329 |mRlP5 16.2 应力工具 335 AJ&j|/ 16.3 均匀性误差 339 U] GD6q 16.3.1 圆锥工具 339 Jp}\@T. 16.3.2 波前问题 341 JR15y3F 16.4 参考文献 343 L]!![v.VY 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ISK 8t 17.1 引言 345 l:JVt`A4? 17.2 操作数 345 w $-q& 18 如何在Function中编写脚本 351 yFb"2 18.1 简介 351 C,$o+q*)W9 18.2 什么是脚本? 351 \-[bU6\A\ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 YaC[S^p 18.4 基础 352
_(8# 18.4.1 Classes(类别) 352 "M[&4'OM 18.4.2 对象 352 t^zE^:06 18.4.3 信息(Messages) 352 W SxoGly 18.4.4 属性 352 \#VWZ\M8a 18.4.5 方法 353 FJCORa@?_ 18.4.6 变量声明 353 &QW&K 18.5 创建对象 354 Y~{<Hs 18.5.1 创建对象函数 355 ZN;ondp4 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 NQZ /E )f 18.5.3 丢弃对象 356 u%yYLpaKf 18.5.4 总结 356 S5ai@Ksf 18.6 脚本中的表格 357 0,0Z!-Y 18.6.1 方法1 357 T|D^kL%m! 18.6.2 方法2 357 +75"Q:I 18.7 2D Plots in Scripts 358 Kb{&a 18.8 3D Plots in Scripts 359 js Z"T 18.9 注释 360 aQ\SV0PI 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 O< /b]<[ 18.11 一个更高级的脚本 362 !9KDdU 18.12 <esc>键 364 VV}"zc^ 18.13 包含文件 365 Vjt7X"_/ 18.14 脚本被优化调用 366 cl]W]^q-Cx 18.15 脚本中的对话框 368 >yP>]r+ 18.15.1 介绍 368 biS[GyQ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 id :
^| 18.15.3 输入框函数 370 cQThpgha 18.15.4 自定义对话框 371 u?MhK#Mr 18.15.5 对话框编辑器 371 RfD#/G3| 18.15.6 控制对话框 377 o&@ y^<UQ 18.15.7 更高级的对话框 380 VWK/(>TP 18.16 Types语句 384 rKslgZhQ 18.17 打开文件 385 qM26:kB{ 18.18 Bags 387 m,q)lbRl 18.13 进一步研究 388 V(0Y 19 vStack 389 CPcUB4a%# 19.1 vStack基本原理 389 qk3~]</ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Q#ksf
h!D 19.3 五棱镜 393 -UzWLVB^ 19.4 光束距离 396 Nb_Glf 19.5 误差 399 -#/DK 19.6 二向分色棱镜 399 Je9Z:s[ 19.7 偏振泄漏 404 W|rAn2H 19.8 波前误差—相位 405 bDh4p]lm 19.9 其它计算参数 405 <kwF<J 20 报表生成器 406 2h*aWBLk 20.1 入门 406 Z+);}>-5 20.2 指令(Instructions) 406 G"u4]!$/ 20.3 页面布局指令 406 +N+117m 20.4 常见的参数图和三维图 407 Zj ` ;IYFG 20.5 表格中的常见参数 408 g5Io=e@s 20.6 迭代指令 408 S["r
@< 20.7 报表模版 408 ~-lUS0duh 20.8 开始设计一个报表模版 409 uBg#zx 21 一个新的project 413 PlA#xnq# 21.1 创建一个新Job 414 (]I=';\ 21.2 默认设计 415 40].:9VG 21.3 薄膜设计 416 ^*$!9~ 21.4 误差的灵敏度计算 420 bVN?7D( 21.5 显色指数计算 422 Hi~)C \ 21.6 电场分布 424 u6l)s0Q 后记 426 =1|p$@L`% 有兴趣扫码联系
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