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P^ptsZ% `J72+ RA 内容简介 G1]"s@8( Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 3`8dii 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 $o]r]#B+ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Lltc4Mzw 讯技科技股份有限公司 &^V~cJ
V,V*30K5 q`XW5VV{K 目录 C>.e+V+': Preface 1 L2KG0i`+ 内容简介 2 z< z*Wz 目录 i /:bKqAz;M 1 引言 1 z5x _fAT( 2 光学薄膜基础 2 /\na;GI$ 2.1 一般规则 2 $:Rn; 2.2 正交入射规则 3 z"tjDP 2.3 斜入射规则 6 pX@Si3G` 2.4 精确计算 7 bF*NWm$Lf 2.5 相干性 8 [+;qWfs B 2.6 参考文献 10 MWiMUTZg3 3 Essential Macleod的快速预览 10 lWW+5 4 Essential Macleod的特点 32 t)` p@]j 4.1 容量和局限性 33 M :V2a<!c 4.2 程序在哪里? 33 rah,dVE] 4.3 数据文件 35 !lAD
q|$ 4.4 设计规则 35 gw"~RV0 4.5 材料数据库和资料库 37 7KU~(?|:h 4.5.1材料损失 38 )l_@t(_ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 O`WIkBV! 4.5.2 材料库 41 X 7=fX~s 4.5.3导出材料数据 43 {@gAv! 4.6 常用单位 43 n|Pr/ddL 4.7 插值和外推法 46 &-M]xo^ 4.8 材料数据的平滑 50 9M_(He
- 4.9 更多光学常数模型 54 98fu>>*G{ 4.10 文档的一般编辑规则 55 'Gjq/L/x 4.11 撤销和重做 56 'n0 .#E_ 4.12 设计文档 57 mL woi!]m 4.10.1 公式 58 [8"oj hdV 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
bLqy!QE 4.10.3 沉积密度 59 (zG.aaz*C 4.10.4 平行和楔形介质 60 {XgnZ`* 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 sc W'AJJq 4.10.4 性能 61 MM?`voj~`p 4.10.5 保存设计和性能 64 \ p4*$ 4.10.6 默认设计 64 Po(]rQbE 4.11 图表 64 LvJGvj 4.11.1 合并曲线图 67 l?/Y 4.11.2 自适应绘制 68 lv]quloT 4.11.3 动态绘图 68 &-%X:~|:X 4.11.4 3D绘图 69 4,G w#@ 4.12 导入和导出 73 2| B[tt1Z 4.12.1 剪贴板 73 Q6IQV0{p 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ;gMgj$mI 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ?7jg(`Yh 4.13 背景 77 (vc|7DX M 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 e'2Y1h 4.15 生成Rugate 84 [3N[i(Wlk 4.16 参考文献 91 g%xGOA 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 xY\0zQ 5.1 Jobs 92 A5fwAB 5.2 创建一个新Job(工作) 93 "CQw/qZw 5.3 输入材料 94 f?56=& pHY 5.4 设计数据文件夹 95 ]JE TeZ^/ 5.5 默认设计 95 <YFY{VC( 6 细化和合成 97 S[,8TErz 6.1 优化介绍 97 G^wtE90 6.2 细化 (Refinement) 98 v>A=2i*j 6.3 合成 (Synthesis) 100 hXn3,3f3oZ 6.4 目标和评价函数 101 Sm-wH^~KA 6.4.1 目标输入 102 -?6MU~"GK 6.4.2 目标 103 J:j<"uPm 6.4.3 特殊的评价函数 104 j>Ag\@2ME 6.5 层锁定和连接 104 %O%=rUD 6.6 细化技术 104 06*rWu9P3 6.6.1 单纯形 105 K93p"nHN 6.6.1.1 单纯形参数 106 !}KqB8; 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 %."@Q$lA 6.6.2.1 Optimac参数 108 GiFXX 6.6.3 模拟退火算法 109 |J0Q,F]T 6.6.3.1 模拟退火参数 109 LfLFu9#:w 6.6.4 共轭梯度 111 |3hY6aty 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 [xb]Wf 6.6.5 拟牛顿法 112 X|DO~{-au 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 %Sk@GNI_ 6.6.6 针合成 113 CHJ>{b`O 6.6.6.1 针合成参数 114 (08I 6.6.7 差分进化 114 LN2D 6.6.8非局部细化 115 ^pnG0(9 6.6.8.1非局部细化参数 115 \5)h tL1F 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ? 1*m,;Z 6.7.1 细化 116 1"#*)MF 6.7.2 合成 117 [5$w=u"j 6.8 参考文献 117 <?Wti_ /M 7 导纳图及其他工具 118 p4K.NdUH 7.1 简介 118 5S{7En~zUE 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 s;flzp8 7.2.1 四分之一波长规则 119 ,Gk}"w 7.2.2 导纳图 120 ,)!u)wz 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 j2l55@ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 JRMM? y 7.5 斜入射导纳图 141 A"5z6A4WB 7.6 对称周期 141 1xE]6he4{T 7.7 参考文献 142 '1^B+m 8 典型的镀膜实例 143 -62'}%?A<C 8.1 单层抗反射薄膜 145 )~6zYJ2 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 YW\0k5[ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 t*<#<a 8.4 W-膜层 148 <#GB[kQa 8.5 V-膜层 149 COzyG.R. 8.6 V-膜层高折射基底 150 sbj(|1,ac 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 aVL=K 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 YXurYwV 8.9 四层抗反射薄膜 153 W1B)]IHc 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 k67a'pmyJ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 c#IYFTz 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 :u8(^]N 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 0Uk@\[1ox 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 !\8 ;d8 8.15十五层宽带抗反射膜 159 .\0isO 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 >odbOi+X 8.17 1/4波长堆栈 162 &N~ZI*^ 8.18 陷波滤波器 163 fb~=Y$| 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ,j:|w+l 8.20 褶皱 165 BBG3OAyg_ 8.21 消偏振分光器1 169 r0d35 8.22 消偏振分光器2 171 |tR
OL9b 8.23 消偏振立体分光器 172 p
Dx-2:} 8.24 消偏振截止滤光片 173 Ch$*Gm19Z 8.25 立体偏振分束器1 174 +YLejjQ 8.26 立方偏振分束器2 177 uXDq~`S 8.27 相位延迟器 178 ]lw|pvtd 8.28 红外截止器 179 !zj0/Q G\ 8.29 21层长波带通滤波器 180 \)K^=jM 8.30 49层长波带通滤波器 181
z@|GC_L 8.31 55层短波带通滤波器 182 mC?i}+4>4R 8.32 47 红外截止器 183 N>(g?A;
Z+ 8.33 宽带通滤波器 184 5zFR7/p{ 8.34 诱导透射滤波器 186 ZCKka0* 8.35 诱导透射滤波器2 188 wn_b[tdxq 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 #P]#9Ty: 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 XU/QA
[K 8.35 增益平坦滤波器 193 2aJS{[ 8.38 啁啾反射镜 1 196 8]4U`\k4 8.39 啁啾反射镜2 198 ^Q*atU 8.40 啁啾反射镜3 199 L-B<nl 8.41 带保护层的铝膜层 200 F:y[@Yn 8.42 增加铝反射率膜 201 PP:(EN1 8.43 参考文献 202 |-V&O=!^+ 9 多层膜 204 D+_oVob\ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 c wg
!j!l 9.2 内部透过率 204 V[-jD8='3 9.3 内部透射率数据 205 (b'B%rFO 9.4 实例 206 VJ ^dY; 9.5 实例2 210 *(PL
_/: 9.6 圆锥和带宽计算 212
Bs?7:kN( 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 nhIa175' 10 光学薄膜的颜色 216 Og=*R6i 10.1 导言 216 k}
]T;|h] 10.2 色彩 216 /Uo
y/}! 10.3 主波长和纯度 220 zC_<(4$-" 10.4 色相和纯度 221 +)2s-A f- 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 #2r}?hP/m 10.6 色差 226 L\y;LSTU 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Qne/g}PD` 10.8 颜色渲染指数 234 5M9 I, 10.9 色差计算 235 JaB<EL-9r2 10.10 参考文献 236 ?wnzTbJN 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 U|g:`v7 11.1 短脉冲 238 )(y)A[ 11.2 群速度 239 +cD!1IT: 11.3 群速度色散 241 ~z" =G5| 11.4 啁啾(chirped) 245 Q#nOJ(KV 11.5 光学薄膜—相变 245 dt2$`X18 11.6 群延迟和延迟色散 246 Vp>|hj po 11.7 色度色散 246 x\Z'2?u} 11.8 色散补偿 249 \GHiLs,! 11.9 空间光线偏移 256 TLoz)&@ 11.10 参考文献 258 *N{emwIq 12 公差与误差 260 f>aRkTHf 12.1 蒙特卡罗模型 260 a{{g<<H 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 P-ri=E}> 12.2.1 误差工具 267 TEDAb> 12.2.2 灵敏度工具 271 &ZL3{M 12.2.2.1 独立灵敏度 271 w`q%#qRk 12.2.2.2 灵敏度分布 275 LBF 1;zjK 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 kWdi595 12.3 参考文献 276 fu90]upz~ 13 Runsheet 与Simulator 277 Mi]L]-L 13.1 原理介绍 277 61xs%kxb.. 13.2 截止滤光片设计 277 XoA+MuDzpo 14 光学常数提取 289 ]O]GeAGC2 14.1 介绍 289 |=&cQRY!p 14.2 电介质薄膜 289 <!pY$ 14.3 n 和k 的提取工具 295 @xB*KyUW 14.4 基底的参数提取 302 /="~gq@ 14.5 金属的参数提取 306 E*jP8 7g 14.6 不正确的模型 306 Ot]Ru,y->+ 14.7 参考文献 311 To?W?s 15 反演工程 313 8P=o4lO+ 15.1 随机性和系统性 313 (
H6c{'& 15.2 常见的系统性问题 314 }N*_KzPIa 15.3 单层膜 314 H<^/Ati,| 15.4 多层膜 314 1 5A*7| 15.5 含义 319 }!6\|;Qsz, 15.6 反演工程实例 319 D$T%\
P 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 n_'s=] ~ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 NMA}Q$o
s 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 +zy=50, 16.1 光学性质的热致偏移 329 PG,_^QGCX 16.2 应力工具 335 (&!NC[n, 16.3 均匀性误差 339 `3:.??7N 16.3.1 圆锥工具 339 >Jp:O
7 16.3.2 波前问题 341 );FJx~b 16.4 参考文献 343 ",!1m7[wF 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 J9=m]R8T 17.1 引言 345 /Ml.}7& 17.2 操作数 345 gCxAG 18 如何在Function中编写脚本 351 /tUy3myJ 18.1 简介 351 ,mj@sC> 18.2 什么是脚本? 351 JJ%ePgWT 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 CxfRVL`7 18.4 基础 352 Aj0Tfdxy 18.4.1 Classes(类别) 352 Z ,EvQ8i 18.4.2 对象 352 CP6LHkM9 18.4.3 信息(Messages) 352 DZ_lW 18.4.4 属性 352 V
=-WYu 18.4.5 方法 353 %?m$`9yU 18.4.6 变量声明 353 2Y7)WPn 18.5 创建对象 354 0X^Ke(/89 18.5.1 创建对象函数 355 4T=u`3pD7l 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Op_RzZP` 18.5.3 丢弃对象 356 G>q(iF' 18.5.4 总结 356 `(3/$% 18.6 脚本中的表格 357 . Z%{'CC 18.6.1 方法1 357 "U\4:k`: 18.6.2 方法2 357 TY Qwy* 18.7 2D Plots in Scripts 358 [w -l? 18.8 3D Plots in Scripts 359 ak;*W 18.9 注释 360 DoeiW= 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 C[%OkPR,H 18.11 一个更高级的脚本 362 fXc m|U,ho 18.12 <esc>键 364 d$
^ ,bL2p 18.13 包含文件 365 R%'^ gFk8 18.14 脚本被优化调用 366 MX@_=Sp- 18.15 脚本中的对话框 368 VP6ZiQ| 18.15.1 介绍 368 ,%)6jYHR w 18.15.2 消息框-MsgBox 368 f{FDuIln 18.15.3 输入框函数 370 ObiT-D?)g 18.15.4 自定义对话框 371 -UD\;D?$ 18.15.5 对话框编辑器 371 rf$X>M=G 18.15.6 控制对话框 377 3.qTLga|} 18.15.7 更高级的对话框 380 [3!~PR] 18.16 Types语句 384 7R\oj8[ 18.17 打开文件 385 .<Zy|1
4 18.18 Bags 387 =X.9,$Y 18.13 进一步研究 388 Cm\6tD 19 vStack 389 >>5NX"{ 19.1 vStack基本原理 389 kbMYMx.[ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ;]pJj6J&v 19.3 五棱镜 393 >2Kh0rIH 19.4 光束距离 396 DuOG { 19.5 误差 399 %Jrt4sg[j- 19.6 二向分色棱镜 399 @0SC"CqM 19.7 偏振泄漏 404 TqddOp 19.8 波前误差—相位 405 ^/U|2'$'>E 19.9 其它计算参数 405 1Y]TA3: 20 报表生成器 406 _C`K*u
6Z< 20.1 入门 406 l'TWkQ- 20.2 指令(Instructions) 406 Yk5}`d!: 20.3 页面布局指令 406 mzf+Cu:`v 20.4 常见的参数图和三维图 407 EeF'&zE- 20.5 表格中的常见参数 408 0eS)&GdR 20.6 迭代指令 408 .3MIcj=p 20.7 报表模版 408 $9ky{T?YG 20.8 开始设计一个报表模版 409 uECsh2Uin 21 一个新的project 413 >J>b>SU=- 21.1 创建一个新Job 414 =-}[^u1 21.2 默认设计 415 nVI!@qW 21.3 薄膜设计 416 |\g5+fv9 21.4 误差的灵敏度计算 420 \
5,MyB2/` 21.5 显色指数计算 422 }sOwp}FV8X 21.6 电场分布 424 sn?]n~z 后记 426 WuZ/C_ 有兴趣扫码联系
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