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# 内容简介 q;}iW:r&Q Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 wFX9F3m 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ]rv4O@||w 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 %q}[ZD/HD 讯技科技股份有限公司 WfD fj
egvb#:zW? :KgH7s} 目录 $AT@r" Preface 1 ;=7K*npT 内容简介 2 &s(J:P$! 目录 i eP,bFc 1 引言 1 '4nJ*Xa 2 光学薄膜基础 2 d[>HxPwo 2.1 一般规则 2 Y
hQ)M5 2.2 正交入射规则 3 ?=ffv]v| 2.3 斜入射规则 6 ?G5,}% 2.4 精确计算 7 lxm/*^
2.5 相干性 8 z&WtPSyGj 2.6 参考文献 10 xbBqR_H_ 3 Essential Macleod的快速预览 10 mU]VFPr5 4 Essential Macleod的特点 32 i!zFW-*5 4.1 容量和局限性 33 pB4Uc<e 4.2 程序在哪里? 33 qm3H/cC9+ 4.3 数据文件 35 1X[^^p~^ 4.4 设计规则 35 fd4C8>*7G 4.5 材料数据库和资料库 37 g@37t @I 4.5.1材料损失 38 LQHL4jRXU 4.5.1材料数据库和导入材料 39 \XPGA uEo 4.5.2 材料库 41 ~ney~Pz_ 4.5.3导出材料数据 43 (c>g7d<>n 4.6 常用单位 43 qa-FLUkIk! 4.7 插值和外推法 46 4 sax 4.8 材料数据的平滑 50 s(nT7x+W 4.9 更多光学常数模型 54 o]~\u{o#. 4.10 文档的一般编辑规则 55 Km;}xke6 4.11 撤销和重做 56 g"Y_!)X 4.12 设计文档 57 K
J\kR 4.10.1 公式 58 ov,|`FdU^T 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 v !8=B21 4.10.3 沉积密度 59 J\r\_P@;c 4.10.4 平行和楔形介质 60 P&uSh?[ ^ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ly-(F2 4.10.4 性能 61 F)(^c 4.10.5 保存设计和性能 64 H;
NV?CD 4.10.6 默认设计 64 R7/S SuG6\ 4.11 图表 64 b!P,+!< 4.11.1 合并曲线图 67 a(|6)w- 4.11.2 自适应绘制 68 ]:Gy]qkO 4.11.3 动态绘图 68 Cjx4vP 4.11.4 3D绘图 69 Ln4]uqMG. 4.12 导入和导出 73 W!wof-1 4.12.1 剪贴板 73 Qz,2PO 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 st;iGg 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 hhze5_$_ 4.13 背景 77 "_q~S$i^ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 hO]F\0+ 4.15 生成Rugate 84 tL$,]I$1+ 4.16 参考文献 91 ->rqr# 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 2ZY$/ 5.1 Jobs 92 H-PVV&r 5.2 创建一个新Job(工作) 93 c|k_[8L 5.3 输入材料 94 nbF<K? 5.4 设计数据文件夹 95 |n/;x$Cb 5.5 默认设计 95 !?nO0Ao-$ 6 细化和合成 97 {^z73Gxt, 6.1 优化介绍 97 1ysfpX{= 6.2 细化 (Refinement) 98 [UA*We 1 6.3 合成 (Synthesis) 100 *S ag 6.4 目标和评价函数 101 ?>}p'{I 6.4.1 目标输入 102 f6%k;R.Wz 6.4.2 目标 103 1zPS#K/3 6.4.3 特殊的评价函数 104 +@Qr GY 6.5 层锁定和连接 104 C2}y#A I 6.6 细化技术 104 +})QT FV 6.6.1 单纯形 105 1'qXT{f/~ 6.6.1.1 单纯形参数 106 '4 *0Pw 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 E`o_R=% 6.6.2.1 Optimac参数 108 lo$G*LWu: 6.6.3 模拟退火算法 109 "V' r}> 6.6.3.1 模拟退火参数 109 KL'1)G"OH 6.6.4 共轭梯度 111 ]q1w@)]n} 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 i1cd9 6.6.5 拟牛顿法 112 nQ\` ]_C 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 YVMvT>/, 6.6.6 针合成 113 $|=|"/ 6.6.6.1 针合成参数 114 SE+hB 6.6.7 差分进化 114 !T,<p
6.6.8非局部细化 115 ,^([aK 6.6.8.1非局部细化参数 115
UjI./"]O 6.7 我应该使用哪种技术? 116 MJ JC6: 6.7.1 细化 116 Cw,a)XB 6.7.2 合成 117 4
neZw'm 6.8 参考文献 117 ^3dc#5]Xf 7 导纳图及其他工具 118 5-X$"Z|@ 7.1 简介 118 uOA/r@7I}S 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 g>VtPS5 y 7.2.1 四分之一波长规则 119 y||
n9 7.2.2 导纳图 120 7Mh'x:p 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Qn$'bK2V 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 k* C69 7.5 斜入射导纳图 141 uVqc:Q" 7.6 对称周期 141 }k VC]+ 7.7 参考文献 142 RnkV)ed( 8 典型的镀膜实例 143 ".>#Qp% 8.1 单层抗反射薄膜 145 mW"e 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 [)I^v3]U 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Q#% LIkeq 8.4 W-膜层 148 ec!e 8.5 V-膜层 149 ]Ozz"4Z 8.6 V-膜层高折射基底 150 E!Q@AZ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
nOPB*{r| 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 I0F[Z\U 8.9 四层抗反射薄膜 153 }ekNZNcuM 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 m~+.vk 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 x<l 5wh 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 D+!T5)>( 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 (f&V 7n 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 cIO/8D#zU 8.15十五层宽带抗反射膜 159 j0L%jz 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 791v>h 8.17 1/4波长堆栈 162 DNmC
8.18 陷波滤波器 163 rPB Ju0D" 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 I;XM4a 8.20 褶皱 165 Kh3i.gm7g 8.21 消偏振分光器1 169 &3iI\s[ 8.22 消偏振分光器2 171 a0ms9%Y;Q[ 8.23 消偏振立体分光器 172 ]4t1dVD 8.24 消偏振截止滤光片 173 1Lf - 8.25 立体偏振分束器1 174 <IZr..|O 8.26 立方偏振分束器2 177 gX!K%qJBg 8.27 相位延迟器 178 7oE:] 8.28 红外截止器 179 CRo@+p10 8.29 21层长波带通滤波器 180 ?.,F3@W " 8.30 49层长波带通滤波器 181 +IXr4M&3 8.31 55层短波带通滤波器 182 KYTXf+ oh 8.32 47 红外截止器 183 _oZ3n2v}@ 8.33 宽带通滤波器 184 LiEEQ 8.34 诱导透射滤波器 186 htYfIy{5w 8.35 诱导透射滤波器2 188 P=}l.R*1G 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 }D1?Z7p 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 x<t?Yc9 8.35 增益平坦滤波器 193 CM~x1f *v 8.38 啁啾反射镜 1 196 Ne9VRM
P 8.39 啁啾反射镜2 198 c:=HN-*vQ 8.40 啁啾反射镜3 199 XyB_8(/E 8.41 带保护层的铝膜层 200 k6 OO\= 8.42 增加铝反射率膜 201 )E",)}Nh 8.43 参考文献 202 ~I")-2"B 9 多层膜 204 5#z7Hj&w 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 k7JC~D
E# 9.2 内部透过率 204 ^E,
#}cW 9.3 内部透射率数据 205 fm#7}Y 9.4 实例 206 ^Cp;#|g, 9.5 实例2 210 h9d*N 9!;M 9.6 圆锥和带宽计算 212 yodhDSO5i 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 |s#,^SJ0 10 光学薄膜的颜色 216 {%2p(5FB 10.1 导言 216
2X`t&zg 10.2 色彩 216 ZHRMW'Ne 10.3 主波长和纯度 220 z>W?\[E<2 10.4 色相和纯度 221 PY CG#U 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 2n"-~'3\ 10.6 色差 226 fda2dY; 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 \]FPv7! 10.8 颜色渲染指数 234 T2?.o.&u 10.9 色差计算 235 Us[F@ 10.10 参考文献 236 ^K<!`B 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 {#t7lV'4 11.1 短脉冲 238 uKY1AC__ 11.2 群速度 239 3W[||V[r]< 11.3 群速度色散 241 "MPS&OK 11.4 啁啾(chirped) 245 nr>Yj?la 11.5 光学薄膜—相变 245 x[&)\[t 11.6 群延迟和延迟色散 246 aEEb1Y 11.7 色度色散 246 njNqUo> 11.8 色散补偿 249 ZRGe$HaU 11.9 空间光线偏移 256 =q[+e(,3 11.10 参考文献 258 tPk>hzW 12 公差与误差 260 >y!R}`&0^t 12.1 蒙特卡罗模型 260 M )v='O<H8 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Zirp_[KZ% 12.2.1 误差工具 267 D7IhNWrgj 12.2.2 灵敏度工具 271 ^]/V-!j 12.2.2.1 独立灵敏度 271 \+
Ese-la 12.2.2.2 灵敏度分布 275 oh:.iL}j 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ?>R(;B|ER 12.3 参考文献 276 Q*f0YjH! 13 Runsheet 与Simulator 277 e ?Jgk$" 13.1 原理介绍 277 VYK%0S9yH[ 13.2 截止滤光片设计 277 6 G,cc 14 光学常数提取 289 do l8O 14.1 介绍 289 H.Z<T{y;
14.2 电介质薄膜 289 '^Q$:P{G? 14.3 n 和k 的提取工具 295 e=!sMWx6 14.4 基底的参数提取 302 -23sm~` 14.5 金属的参数提取 306 ASSe;+yp 14.6 不正确的模型 306 *aYuuRx 14.7 参考文献 311 1#zD7b~ 15 反演工程 313 ##"
Hui 15.1 随机性和系统性 313 U@}r?!)"f 15.2 常见的系统性问题 314 Nah\4-75& 15.3 单层膜 314 qP9`p4c8i 15.4 多层膜 314 YvUV9qps~ 15.5 含义 319 $m-@ICG# 15.6 反演工程实例 319 MbQ%'z6D 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 =+VDb5= TV 15.6.2 反演工程提取折射率 327 }+:X= @Z@ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 8qUNh# 16.1 光学性质的热致偏移 329 ayg^js2, 16.2 应力工具 335 wF-H{C' 16.3 均匀性误差 339 kb\\F:w(W 16.3.1 圆锥工具 339 M.Q
HE2 16.3.2 波前问题 341 c!HGiqp 16.4 参考文献 343 V(Pw|u"
e 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 n#}@|"J 17.1 引言 345 ~U w<e~ 17.2 操作数 345 xp1/@Pw? 18 如何在Function中编写脚本 351 ;#zteqn
18.1 简介 351 AO`@&e]o 18.2 什么是脚本? 351 .=YV 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 2@bOy~$A 18.4 基础 352 3F"vK 18.4.1 Classes(类别) 352 7W}%ralkg 18.4.2 对象 352 I+Fy)=DO9 18.4.3 信息(Messages) 352 274j7Y' 18.4.4 属性 352 :g$"Xc8Zn 18.4.5 方法 353 ^nZ=B>Yn2 18.4.6 变量声明 353 *
4J!@w 18.5 创建对象 354 8L:AmpQdpA 18.5.1 创建对象函数 355 FrMXf,} 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 |};d:LwX 18.5.3 丢弃对象 356
gwIR3u 18.5.4 总结 356 _886>^b@ 18.6 脚本中的表格 357 #NyO' 18.6.1 方法1 357 "3jTU 18.6.2 方法2 357 Ru
d9l.n 18.7 2D Plots in Scripts 358 "{@[06|1 18.8 3D Plots in Scripts 359 &p#PYs|H 18.9 注释 360 Ag T)J 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 <`-sS]=d} 18.11 一个更高级的脚本 362 hfJ&o7Dt 18.12 <esc>键 364 7}qxWz 18.13 包含文件 365 >7@,,~3 18.14 脚本被优化调用 366 VS4Glx73 18.15 脚本中的对话框 368 =~D[M)UO| 18.15.1 介绍 368 N1Xg-u?ul# 18.15.2 消息框-MsgBox 368 IJ+} 18.15.3 输入框函数 370 t0cS.hi 18.15.4 自定义对话框 371 2Rys:$ 18.15.5 对话框编辑器 371 Zl%)#=kO 18.15.6 控制对话框 377 hwk] ;6[ 18.15.7 更高级的对话框 380 _fgsHx>l7 18.16 Types语句 384 FLJ&ZU=s 18.17 打开文件 385 ^+%bh/2_W 18.18 Bags 387 851BOkRal4 18.13 进一步研究 388 /)v+|%U 19 vStack 389 ?v,c) 19.1 vStack基本原理 389 [ {"x{; 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ^W}|1.uZ 19.3 五棱镜 393 <9H3d7% 19.4 光束距离 396 Hwd^C2v 19.5 误差 399 cl#XiyK> 19.6 二向分色棱镜 399 `[E-V 19.7 偏振泄漏 404 xxzUey 19.8 波前误差—相位 405 QNE/SSL 19.9 其它计算参数 405 <x$nw'H9 20 报表生成器 406 8MW-JZ 20.1 入门 406 {88|J'*L 20.2 指令(Instructions) 406 3qGz(6w6E 20.3 页面布局指令 406 )Dms9: 20.4 常见的参数图和三维图 407 *:\[;69[ 20.5 表格中的常见参数 408 \aof 20.6 迭代指令 408 iiuT:r 20.7 报表模版 408 ~%tVb c 20.8 开始设计一个报表模版 409 [<
9%IGH 21 一个新的project 413 w&#[g9G% 21.1 创建一个新Job 414 u*qI$?& 21.2 默认设计 415 jB9~'>JY 21.3 薄膜设计 416 ^^k9Acd~p 21.4 误差的灵敏度计算 420 {c
I~Nf?i 21.5 显色指数计算 422 'rXf 21.6 电场分布 424 |61ns6i! 后记 426 t?^!OJ:L 有兴趣扫码联系
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