0{F.DDiNT '7s!NF2 内容简介 n\Ixv Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
Hp!F?J7sx 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
P\e%8&_U/ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
g"Bv!9*H 讯技科技股份有限公司
C<>.*wlp=
_@2G]JD y9)",G! 目录 9#!tzDOtD Preface 1
uLF55:`< 内容简介 2
gBu4`M 目录 i
jq{Ix 1 引言 1
>B7OTGw 2 光学薄膜基础 2
9MxGyGz$ 2.1 一般规则 2
YyIt-fPZ 2.2 正交入射规则 3
G2D<LRWt4 2.3 斜入射规则 6
=C|^C 2.4 精确计算 7
JB<4m4- 2.5 相干性 8
G\%hT5^ 2.6 参考文献 10
N=9lA0y+ 3 Essential Macleod的快速预览 10
PAkW[;GSDh 4 Essential Macleod的特点 32
C.<4D1}P 4.1 容量和局限性 33
's<}@-] 4.2 程序在哪里? 33
<lR8MqjM_ 4.3 数据文件 35
;rgsPVbVf 4.4 设计规则 35
YPl{5= 4.5 材料数据库和
资料库 37
gp=0;#4
4 4.5.1材料损失 38
~55>uw< 4.5.1材料数据库和导入材料 39
&&O=v]6,V 4.5.2 材料库 41
O5
SX"A 4.5.3导出材料数据 43
soF ^G21N 4.6 常用单位 43
k1J}9HNYR 4.7 插值和外推法 46
2uIAnbW]M 4.8 材料数据的平滑 50
{NR~>=~K- 4.9 更多光学常数模型 54
odDt.gQXU 4.10 文档的一般编辑规则 55
?L^ Gu ]y 4.11 撤销和重做 56
9[Mu 4.12 设计文档 57
h 8s*FI 4.10.1 公式 58
qM+T Wp 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
xh0!H|
R 4.10.3 沉积密度 59
.+yJ'*i$d 4.10.4 平行和楔形介质 60
S[M$> 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
*?{)i~ 4.10.4 性能 61
M3%<kk-_ 4.10.5 保存设计和性能 64
']Z8C)tK 4.10.6 默认设计 64
t&_lpffv 4.11 图表 64
fJuJ#MX{: 4.11.1 合并曲线图 67
_wBPn6gg` 4.11.2 自适应绘制 68
h.nz kp5 4.11.3 动态绘图 68
R)/w
4.11.4 3D绘图 69
*RPI$0 4.12 导入和导出 73
+\4=G@P.J 4.12.1 剪贴板 73
U|=y&a2Rb 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
;XT$rtuX 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
BeQJ/` 4.13 背景 77
/1*\*<cs 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
D%zIm,bf 4.15 生成Rugate 84
ScEM#9T | 4.16 参考文献 91
R-ci?7d t3 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
2sngi@\ 5.1 Jobs 92
Ch3##- 5.2 创建一个新Job(工作) 93
F>OYZOC] 5.3 输入材料 94
Liofv4![ 5.4 设计数据文件夹 95
4"{q|~&=:$ 5.5 默认设计 95
]#`bYh^y 6 细化和合成 97
#ed]zI9O 6.1 优化介绍 97
Hogr#Sn2 6.2 细化 (Refinement) 98
~1p
f ? 6.3 合成 (Synthesis) 100
)jg3`I@ 6.4 目标和评价函数 101
HO"(eDW6z 6.4.1 目标输入 102
Nbr{)h 6.4.2 目标 103
?G@%haqn6 6.4.3 特殊的评价函数 104
n}2}4^ 6.5 层锁定和连接 104
ZP1EO Z 6.6 细化技术 104
. @.CQB=E 6.6.1 单纯形 105
52oR^| 6.6.1.1 单纯形
参数 106
/Mv'fich( 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
sB $!X@ 6.6.2.1 Optimac参数 108
CXa$QSu > 6.6.3 模拟退火算法 109
/)~McP3 6.6.3.1
模拟退火参数 109
ZEW`?6 6.6.4 共轭梯度 111
V5=Injs* 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
fYwumx`J 6.6.5 拟牛顿法 112
^VA)vLj@ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
Ab2VF;z : 6.6.6 针合成 113
5QlJX 6.6.6.1 针合成参数 114
FkH4|}1 6.6.7 差分进化 114
GFvOrRlP\ 6.6.8非局部细化 115
7Ev~yY;N 6.6.8.1非局部细化参数 115
Q,>AT$| 6.7 我应该使用哪种技术? 116
Q,scjt[ 6.7.1 细化 116
kY|<1Ht 6.7.2 合成 117
#N*~Q 6.8 参考文献 117
'SC`->F4D 7 导纳图及其他工具 118
N7|ctO 7.1 简介 118
t ,0~5>5 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
qu?D`29 7.2.1 四分之一
波长规则 119
!+i 7.2.2 导纳图 120
f+rBIE 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
"F=O 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
'i}Q R~pe 7.5 斜入射导纳图 141
>scEdeM 7.6 对称周期 141
!O*\|7A( 7.7 参考文献 142
Yt&^i( 8 典型的镀膜实例 143
'Ic$p> 8.1 单层抗反射薄膜 145
C@xh$(y 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
+ft?aB@ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
;#AV~Y-
s 8.4 W-膜层 148
dD=dPi# 8.5 V-膜层 149
|',Gy\Sj 8.6 V-膜层高折射基底 150
J5429Soo 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
%0L9)-R 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
gP`8hNwR 8.9 四层抗反射薄膜 153
?>2k>~xlQ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
W}Z'zU?[ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
$cjidBi`): 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
]2?t$"G8 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
hS<+=3
<M 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
B&cC;Hw 8.15十五层宽带抗反射膜 159
b*7OIN5h 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
90;[5c
8.17 1/4波长堆栈 162
t|1?mH9 8.18 陷波滤波器 163
SwLul4V 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
moh7:g 8.20 褶皱 165
K"eW.$ 8.21 消偏振分光器1 169
oTZNW 8.22 消偏振分光器2 171
@Kp2l<P 8.23 消偏振立体分光器 172
IG
6yt 8.24 消偏振截止滤光片 173
h60*=+vdJ 8.25 立体偏振分束器1 174
LEG
y1L 8.26 立方偏振分束器2 177
VGkwrS;+I 8.27 相位延迟器 178
PC/Oo~Gx 8.28 红外截止器 179
>osY?9 8.29 21层长波带通滤波器 180
sT| 8a 8.30 49层长波带通滤波器 181
>A#]60w. 8.31 55层短波带通滤波器 182
Yz4Q!tL 8.32 47 红外截止器 183
@a+1Ri`) 8.33 宽带通滤波器 184
"d9"Md0k 8.34 诱导透射滤波器 186
ml\A)8O]j/ 8.35 诱导透射滤波器2 188
J&wrBVv1uk 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
A?=g!( wB 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
Ov h[qm?Z 8.35 增益平坦滤波器 193
3 cu`U` 8.38 啁啾反射镜 1 196
W-2,QVp% 8.39 啁啾反射镜2 198
a?_N8|k[ 8.40 啁啾反射镜3 199
]7eQ5[5s 8.41 带保护层的铝膜层 200
}[k~JXt 8.42 增加铝反射率膜 201
d[J+):aW 8.43 参考文献 202
,!Gw40t 9 多层膜 204
hvkLcpE 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
K}LmU{/t/ 9.2 内部透过率 204
JdF;*`_7*
9.3 内部透射率数据 205
<`}Oi5nW 9.4 实例 206
j@
lHgis 9.5 实例2 210
D:4Iex9$F" 9.6 圆锥和带宽计算 212
R_`i=>Z- 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
To.CY^M 10 光学薄膜的颜色 216
B|zJrz0q3 10.1 导言 216
)%I2#Q"Nt- 10.2 色彩 216
-W<x|ph
U 10.3 主波长和纯度 220
q,(U 8 10.4 色相和纯度 221
]yy10Pk[! 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
KEEHb2q 10.6 色差 226
Dyyf%'\M 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
],V_"\ATD 10.8 颜色渲染指数 234
&'Pwz 10.9 色差计算 235
*]:gEO 10.10 参考文献 236
3 -Nwg9U 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
.5Sw 11.1 短脉冲 238
R7pdwKD 11.2 群速度 239
MOi.bHCQJP 11.3 群速度色散 241
xM"k qRZ 11.4 啁啾(chirped) 245
-^yb[b, 11.5 光学薄膜—相变 245
MEf`&<t 11.6 群延迟和延迟色散 246
)RG@D\t , 11.7 色度色散 246
lV<2+Is 11.8 色散补偿 249
[uqe|< : 11.9 空间
光线偏移 256
Sc#B-4m 11.10 参考文献 258
PT4Wox9U 12 公差与误差 260
2:3-mWE 12.1 蒙特卡罗模型 260
o."k7fLB 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
Z<jio 12.2.1 误差工具 267
dY[ XNP 12.2.2 灵敏度工具 271
2O;Lw@W 12.2.2.1 独立灵敏度 271
(xxNQ]
l-( 12.2.2.2 灵敏度分布 275
RvrZtg5 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
O|wu;1pQ 12.3 参考文献 276
$=3&qg"! 13 Runsheet 与Simulator 277
;r'y/Y'? 13.1 原理介绍 277
dp;;20z 13.2 截止滤光片设计 277
J8IdQ:4^l 14 光学常数提取 289
trlZ ^K 14.1 介绍 289
-hL 0}Wy$N 14.2 电介质薄膜 289
`Tw DR6& 14.3 n 和k 的提取工具 295
?'SHt9b3| 14.4 基底的参数提取 302
RI.6.f1dy 14.5 金属的参数提取 306
+c'b=n9j 14.6 不正确的模型 306
(OS -v~{r@ 14.7 参考文献 311
" ,k(* 15 反演工程 313
k%2woHSu& 15.1 随机性和
系统性 313
Zfwhg4G~ 15.2 常见的系统性问题 314
7 uy?%5 15.3 单层膜 314
Q5Yy
\M 15.4 多层膜 314
[=/Yo1:v 15.5 含义 319
FVY$A=G 15.6 反演工程实例 319
H[oCI|k 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
wwmHr!b:6 15.6.2 反演工程提取折射率 327
3%HF" $Gg 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
bzj9U>eY 16.1 光学性质的热致偏移 329
B:5N Ia 16.2 应力工具 335
4sJM!9eb[ 16.3 均匀性误差 339
%*:X
FB 16.3.1 圆锥工具 339
I'sq0^ 16.3.2 波前问题 341
'?$N.lj$d 16.4 参考文献 343
!W\Zq+^^J3 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
lSW6\jX 17.1 引言 345
R{6~7<m. 17.2 操作数 345
7
k:w3M 18 如何在Function中编写脚本 351
o4Ny9s 18.1 简介 351
&ZyZmB 18.2 什么是脚本? 351
AlPk o($E* 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
Dqxtc|vo 18.4 基础 352
I7=g8/JD 18.4.1 Classes(类别) 352
q!fdiv` 18.4.2 对象 352
_.}1 Y,Q 18.4.3 信息(Messages) 352
I| Vyv 18.4.4 属性 352
mE>v (JY 18.4.5 方法 353
$RASpM 18.4.6 变量声明 353
rHSA5.[1P 18.5 创建对象 354
_U
Q|I|V# 18.5.1 创建对象函数 355
WRdBL5 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
yiT)m]E
d 18.5.3 丢弃对象 356
4k7
LM] 18.5.4 总结 356
E8gbm&x* 18.6 脚本中的表格 357
fC4#b?Q 18.6.1 方法1 357
JyiP3whW 18.6.2 方法2 357
LA +BH_t& 18.7 2D Plots in Scripts 358
pYxdE|2j 18.8 3D Plots in Scripts 359
:NCY6?
[Dz 18.9 注释 360
=P}BAJ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
hwD;1n 18.11 一个更高级的脚本 362
xY_<D+OV 18.12 <esc>键 364
UgqfO( 18.13 包含文件 365
r0Cc0TMdj 18.14 脚本被
优化调用 366
%jBI*WzR 18.15 脚本中的对话框 368
N'5AU ( 18.15.1 介绍 368
a ](Jc) 18.15.2 消息框-MsgBox 368
I38j[Xk 18.15.3 输入框函数 370
{.HFB:<!} 18.15.4 自定义对话框 371
%)t9b@c!} 18.15.5 对话框编辑器 371
jsp)e= 18.15.6 控制对话框 377
O,D/&0 18.15.7 更高级的对话框 380
*X%dg$VcV 18.16 Types语句 384
xPcH]Gs^b 18.17 打开文件 385
{e/6iSpT 18.18 Bags 387
iHYvH
18.13 进一步研究 388
Id(wY$C&> 19 vStack 389
vG2&qjY1 19.1 vStack基本原理 389
4tGP-
L 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
0b3z(x!O 19.3 五棱镜 393
<jjn'*44f 19.4 光束距离 396
th4yuDPuA 19.5 误差 399
>}I BPC 19.6 二向分色棱镜 399
d*cAm$ 19.7 偏振泄漏 404
q@+#CUa&n 19.8 波前误差—相位 405
5H{dLZ], 19.9 其它计算参数 405
^Gt9. 20 报表生成器 406
+G.F' 20.1 入门 406
kv8
/UW 20.2 指令(Instructions) 406
=rL^^MZp 20.3 页面布局指令 406
h%=>iQ%enc 20.4 常见的参数图和三维图 407
HLruZyN4 20.5 表格中的常见参数 408
6@X j 20.6 迭代指令 408
Cju%CE3a 20.7 报表模版 408
%=PGvu 20.8 开始设计一个报表模版 409
=7l'3z8 21 一个新的project 413
WU:r:m+
> 21.1 创建一个新Job 414
i0jR~vF
{B 21.2 默认设计 415
FV];od&c 21.3 薄膜设计 416
J;R1OJs S 21.4 误差的灵敏度计算 420
Fx]}<IudA^ 21.5 显色指数计算 422
m|8ljXX 21.6 电场分布 424
$Y3mO~ 后记 426
jn:9Cr,o;g 有兴趣扫码联系