&c`-/8c
T)C@6/ 内容简介 bdUPo+ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
0P^h6Vat 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
bQll;U^A 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
&v\F ah U 讯技科技股份有限公司
-wlj;U
l{3B}_, j)1y v. 目录 wN2+3LY{ Preface 1
+Qs]8*^?; 内容简介 2
1C[9}} 目录 i
2pS<;k` 1 引言 1
)n/%P4l 2 光学薄膜基础 2
#%"q0" 2.1 一般规则 2
aM^iDJ$> 2.2 正交入射规则 3
3JoY- 2.3 斜入射规则 6
bP,<^zA|X 2.4 精确计算 7
mp|pz%U 2.5 相干性 8
kH!Z|Ps?R 2.6 参考文献 10
Pg4&}bX:I 3 Essential Macleod的快速预览 10
+bjy#= 4 Essential Macleod的特点 32
fS]&?$q 4.1 容量和局限性 33
Ur j*V0^ 4.2 程序在哪里? 33
x^eu[olN 4.3 数据文件 35
oL4W>b ) 4.4 设计规则 35
]!UYl 4.5 材料数据库和
资料库 37
~/:vr 4.5.1材料损失 38
:-&|QVH 4.5.1材料数据库和导入材料 39
wZrFu(_ 4.5.2 材料库 41
XLpP*VH3 4.5.3导出材料数据 43
wI#8|,]"z 4.6 常用单位 43
D+8d^-: 4.7 插值和外推法 46
]{-.?W*$ 4.8 材料数据的平滑 50
4Nm >5*] 4.9 更多光学常数模型 54
?0b-fL^^+l 4.10 文档的一般编辑规则 55
z,HhSW?&^ 4.11 撤销和重做 56
L
aTcBcI 4.12 设计文档 57
c0Ug5Vr 4.10.1 公式 58
owVvbC2<b( 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
t2&kGf" 4.10.3 沉积密度 59
K/4@2vF 4.10.4 平行和楔形介质 60
vwR_2u 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
>WLPE6E 4.10.4 性能 61
?z
,!iK` 4.10.5 保存设计和性能 64
w+o5iPLX 4.10.6 默认设计 64
{N(qS'N 4.11 图表 64
\BOoY# !a 4.11.1 合并曲线图 67
n
`j._G
4.11.2 自适应绘制 68
;w{<1NH2+. 4.11.3 动态绘图 68
I?KN7(9u? 4.11.4 3D绘图 69
%lKw+D 4.12 导入和导出 73
~G@NWF?7 4.12.1 剪贴板 73
-15e 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
{1GJ,['qL 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
{sTf4S\S 4.13 背景 77
,CE/o7.FG 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
=4ygbk 4.15 生成Rugate 84
D(cD8fn,J 4.16 参考文献 91
?2<QoS 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
HKN|pO3v 5.1 Jobs 92
_S!^=9bJ 5.2 创建一个新Job(工作) 93
}"Y<<e<z: 5.3 输入材料 94
Bz+oMN#XJ 5.4 设计数据文件夹 95
+/OSg. 5.5 默认设计 95
w7)pBsI 6 细化和合成 97
I2}W /} 6.1 优化介绍 97
N,t9X7G& 6.2 细化 (Refinement) 98
KbJ6U75|f 6.3 合成 (Synthesis) 100
rcnH ^P 6.4 目标和评价函数 101
PZ[-a-p40 6.4.1 目标输入 102
ZvY"yl?e 6.4.2 目标 103
U#<d",I 6.4.3 特殊的评价函数 104
fif;n[< 6.5 层锁定和连接 104
+]l?JKV 6.6 细化技术 104
+Z#=z,.^ 6.6.1 单纯形 105
VO#rJ1J 6.6.1.1 单纯形
参数 106
?o<vmIge 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
/08FV|tX) 6.6.2.1 Optimac参数 108
HOW<IZ^ 6.6.3 模拟退火算法 109
\%-<O 6.6.3.1
模拟退火参数 109
x;ik
6.6.4 共轭梯度 111
{R$`YWk 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
=D zrM% 6.6.5 拟牛顿法 112
X[z;P!U 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
B'/U#>/ 6.6.6 针合成 113
P0N/bp2Uy 6.6.6.1 针合成参数 114
KFM[caKeJO 6.6.7 差分进化 114
r#- 6.6.8非局部细化 115
'afW'w@ 6.6.8.1非局部细化参数 115
tqZ91QpW 6.7 我应该使用哪种技术? 116
zD_5TGM= 6.7.1 细化 116
\Z*:l( 6.7.2 合成 117
6:_~-xG 6.8 参考文献 117
+|?a7qM 7 导纳图及其他工具 118
Vjs2Yenx 7.1 简介 118
k|fM9E 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
u5CSx'h] 7.2.1 四分之一
波长规则 119
F6{g{
B 7.2.2 导纳图 120
;NP-tA) 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
NF$6yv9C 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
f,YORJ 7.5 斜入射导纳图 141
LP3#f{U 7.6 对称周期 141
H )X[%+ 7.7 参考文献 142
4vg,g(qi< 8 典型的镀膜实例 143
,Wtw0)4 8.1 单层抗反射薄膜 145
6Ga'_P: 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
[gzaOP`f 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
Gm+D1l i 8.4 W-膜层 148
^C gg1e1 8.5 V-膜层 149
.+7n@Sc 8.6 V-膜层高折射基底 150
}3
/io0"D 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
HoBx0N9\2 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
?!ap@)9 8.9 四层抗反射薄膜 153
;5X6`GlS#5 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
mtUiO
p 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
XRaGV~ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
pI@71~|R 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
Yjg$o:M 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
besc7!S 8.15十五层宽带抗反射膜 159
n'rq 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
yf{\^^ i( 8.17 1/4波长堆栈 162
U=v>gNba 8.18 陷波滤波器 163
lU 9o"2 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
hC-uz _/3 8.20 褶皱 165
9^^\Z5 8.21 消偏振分光器1 169
1dD%a91 8.22 消偏振分光器2 171
+5fB?0D; 8.23 消偏振立体分光器 172
1D%P;eUDp 8.24 消偏振截止滤光片 173
/G5KNSi 8.25 立体偏振分束器1 174
Z%#e* O0 8.26 立方偏振分束器2 177
FC 8<D 8.27 相位延迟器 178
fwppqIM 8.28 红外截止器 179
U/c+j{=~ 8.29 21层长波带通滤波器 180
|@d(2f8 8.30 49层长波带通滤波器 181
X&Oo[Z 8.31 55层短波带通滤波器 182
03?ADjO 8.32 47 红外截止器 183
:M6|V_Yp 8.33 宽带通滤波器 184
h`Jc%6o 8.34 诱导透射滤波器 186
(R=ZI 8.35 诱导透射滤波器2 188
7Kym|Zg 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
GS*O{u 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
<\*)YKjn/@ 8.35 增益平坦滤波器 193
%g*nd#wG 8.38 啁啾反射镜 1 196
9#H0|zL 8.39 啁啾反射镜2 198
4=MVn 8.40 啁啾反射镜3 199
yXkQ
,y 8.41 带保护层的铝膜层 200
(,"%fc7<i 8.42 增加铝反射率膜 201
. (&6gB 8.43 参考文献 202
Qfe u3AT 9 多层膜 204
9u~C?w 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
[\F:NLjiUy 9.2 内部透过率 204
[voc_o7AI 9.3 内部透射率数据 205
-0uGzd+m* 9.4 实例 206
9X[378f+( 9.5 实例2 210
'+_-r'2 9.6 圆锥和带宽计算 212
uWGp>;m eO 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
yI=nu53BV 10 光学薄膜的颜色 216
H F*~bL 10.1 导言 216
%B&O+~ 10.2 色彩 216
U>IsmF>m 10.3 主波长和纯度 220
nUY)LnI 10.4 色相和纯度 221
E;yr46 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
Zy Df@(z` 10.6 色差 226
6n:X
p_yO 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
-X *.scw 10.8 颜色渲染指数 234
{\?f|mmq 10.9 色差计算 235
&=zJ MGa 10.10 参考文献 236
%AV3eqghCg 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
5i$P$ R 11.1 短脉冲 238
uUl ;}W 11.2 群速度 239
ldG8hK 11.3 群速度色散 241
*{JD=ua 11.4 啁啾(chirped) 245
b`wT*& 11.5 光学薄膜—相变 245
FpttH?^ 11.6 群延迟和延迟色散 246
%jUZc:06 11.7 色度色散 246
GDj_+G;tO\ 11.8 色散补偿 249
}+ W5Snx 11.9 空间
光线偏移 256
"6e3Mj\ 11.10 参考文献 258
^=I[uX-3ue 12 公差与误差 260
zv1,DnkqF 12.1 蒙特卡罗模型 260
`,
|l 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
uA?a
DjA 12.2.1 误差工具 267
\#h=pz+jb 12.2.2 灵敏度工具 271
D9(4%^HxV1 12.2.2.1 独立灵敏度 271
8}z PDs 12.2.2.2 灵敏度分布 275
4P2p|Gc3 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
84(jg P 12.3 参考文献 276
q9(O=7O]- 13 Runsheet 与Simulator 277
Pi&\GMzd 13.1 原理介绍 277
Kd#64NSi$A 13.2 截止滤光片设计 277
v@X[0J_8 14 光学常数提取 289
Z,3CMWHg 14.1 介绍 289
RplcM%YJn 14.2 电介质薄膜 289
EY1L5Ba. 14.3 n 和k 的提取工具 295
6{Bvl[mhI 14.4 基底的参数提取 302
]~WIGl"g 14.5 金属的参数提取 306
,!~U5~ 14.6 不正确的模型 306
e?aSM 14.7 参考文献 311
KE)^S
[Da 15 反演工程 313
[xs`Pi 15.1 随机性和
系统性 313
B*Q.EKD8s 15.2 常见的系统性问题 314
'?|.#D#-c 15.3 单层膜 314
+w?1<Z 15.4 多层膜 314
L'BzefU;04 15.5 含义 319
|qk%UN< 15.6 反演工程实例 319
|?fc]dl1] 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
k/xNqN( 15.6.2 反演工程提取折射率 327
6Hpj&Qm 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
<RkJ7Z^ 16.1 光学性质的热致偏移 329
`O=LQ m` 16.2 应力工具 335
9/\=6vC| 16.3 均匀性误差 339
avv/mEf-f 16.3.1 圆锥工具 339
^q~.5c| 16.3.2 波前问题 341
RG_)<U/B 16.4 参考文献 343
H~qY7t 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
RK]."m0c~# 17.1 引言 345
$r)nvf`\ 17.2 操作数 345
dZbG#4oO 18 如何在Function中编写脚本 351
5.)/gK2$ 18.1 简介 351
Lop=._W 18.2 什么是脚本? 351
h9{'w 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
In4T`c?kQ 18.4 基础 352
Z$@ XMq! 18.4.1 Classes(类别) 352
01^W Py9l 18.4.2 对象 352
I."4u~[ 18.4.3 信息(Messages) 352
M#>f:_`< 18.4.4 属性 352
UUql"$q 18.4.5 方法 353
+%RXV~ 18.4.6 变量声明 353
hta$k%2 18.5 创建对象 354
{Q~A;t 18.5.1 创建对象函数 355
g>R md[!/ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
w3IU'(|G 18.5.3 丢弃对象 356
$VJ=A< 18.5.4 总结 356
)@Yr HS4 18.6 脚本中的表格 357
D#9W [6 18.6.1 方法1 357
0 g(hY: 18.6.2 方法2 357
4a~9?}V: 18.7 2D Plots in Scripts 358
QPa&kl 18.8 3D Plots in Scripts 359
7"
cgj# 18.9 注释 360
<<![3&p# 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
<tTn$<b 18.11 一个更高级的脚本 362
mE]W#?
18.12 <esc>键 364
=M9Od7\J 18.13 包含文件 365
:U;ZBs3 18.14 脚本被
优化调用 366
.~
W^P>t 18.15 脚本中的对话框 368
yyHr. C 18.15.1 介绍 368
= %7:[#n 18.15.2 消息框-MsgBox 368
Zt[1RMO 18.15.3 输入框函数 370
'x10\Q65[ 18.15.4 自定义对话框 371
7"y"%+*/ 18.15.5 对话框编辑器 371
,G,T&W 18.15.6 控制对话框 377
f;%4O' 18.15.7 更高级的对话框 380
N1!|nS3w 18.16 Types语句 384
Hw/1~O$T 18.17 打开文件 385
Hca)5$yL 18.18 Bags 387
/T*]RO4%>] 18.13 进一步研究 388
j:,*Liz 19 vStack 389
m5LP~Gb
19.1 vStack基本原理 389
_hLM\L 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
ni]gS0/ 19.3 五棱镜 393
.Isg1qrC 19.4 光束距离 396
ZA ii"F 19.5 误差 399
L+QEFQ:r5 19.6 二向分色棱镜 399
Da8qR+*x
19.7 偏振泄漏 404
)5X7|*LP 19.8 波前误差—相位 405
?
B^*YCo7( 19.9 其它计算参数 405
aX1|&erI 20 报表生成器 406
4S.%y7d\ 20.1 入门 406
4//Ww6W: 20.2 指令(Instructions) 406
0:nQGX!N 20.3 页面布局指令 406
M ~!*PCd5 20.4 常见的参数图和三维图 407
~GS`@IU} 20.5 表格中的常见参数 408
n4CzReG 20.6 迭代指令 408
U]ouBG8/ 20.7 报表模版 408
e}}xZ%$4| 20.8 开始设计一个报表模版 409
w>rglm& 21 一个新的project 413
8c3X9;a 21.1 创建一个新Job 414
zYj8\iER 21.2 默认设计 415
P*(lc: 21.3 薄膜设计 416
M>_S%V4a 21.4 误差的灵敏度计算 420
c:~o e 21.5 显色指数计算 422
ScfW; 21.6 电场分布 424
iygdX2 后记 426
F1|4([-<] 有兴趣扫码联系