Ycq )$7p *5*#Z~dut8 内容简介 nCp_RJu Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
$pAVTz 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
e8wPEDN*4 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
E
i>GhvRM 讯技科技股份有限公司
X%&7-PO
#gT"G18/! B:0oT 目录 Oq,@{V@)9k Preface 1
=Ry8E2NuM 内容简介 2
OI"g-+~ 目录 i
G!=(^G@J; 1 引言 1
a~a:mM>p 2 光学薄膜基础 2
QRrAyRf[ 2.1 一般规则 2
={
-kQq 2.2 正交入射规则 3
x{zZ%_F 2.3 斜入射规则 6
$F9w0kz:,* 2.4 精确计算 7
BBGub?(dR 2.5 相干性 8
iWC}\&i 2.6 参考文献 10
)?{!7/H F@ 3 Essential Macleod的快速预览 10
rPyjr(I"_ 4 Essential Macleod的特点 32
0vX6n6G} 4.1 容量和局限性 33
ai1;v@1 4.2 程序在哪里? 33
frW\!r{LT 4.3 数据文件 35
t']/2m.&p 4.4 设计规则 35
<nG}]Smd7 4.5 材料数据库和
资料库 37
o<Mccj 4.5.1材料损失 38
$'_Q@ZBq 4.5.1材料数据库和导入材料 39
n'{jc6&| 4.5.2 材料库 41
b?Uk%Z]+v 4.5.3导出材料数据 43
3D!7,@&>3 4.6 常用单位 43
3)LS#= 4.7 插值和外推法 46
vE8'B^h1 4.8 材料数据的平滑 50
, %8)I(" 4.9 更多光学常数模型 54
rP2h9Cb 4.10 文档的一般编辑规则 55
pY3/AO= 4.11 撤销和重做 56
qC"`i}7 4.12 设计文档 57
K@%T5M4j 4.10.1 公式 58
m9sck:g#L1 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
&qSf
~7/ 4.10.3 沉积密度 59
mwsBj) 4.10.4 平行和楔形介质 60
RMpiwO^ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
F%&lM[N% 4.10.4 性能 61
@NL<v-t 4.10.5 保存设计和性能 64
IDw`k[k 4.10.6 默认设计 64
4g2`[<S 4.11 图表 64
`AvK8Wh<+ 4.11.1 合并曲线图 67
1y6<gptx 4.11.2 自适应绘制 68
~MC5rOA 4.11.3 动态绘图 68
Bhx.q,X 4.11.4 3D绘图 69
'%ZKvZ- 4.12 导入和导出 73
zjcSn7iu 4.12.1 剪贴板 73
fQU_:[
Uz 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
)B&`<1Oie 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
SFtcO 4.13 背景 77
9W\"A$;+& 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
t\
z@k9 4.15 生成Rugate 84
a?GXVQ 4.16 参考文献 91
66
R= 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
btnD+O66< 5.1 Jobs 92
l/B+k 5.2 创建一个新Job(工作) 93
J(!=Dno 5.3 输入材料 94
Sw; kUJ 5.4 设计数据文件夹 95
8(y%]#n 5.5 默认设计 95
.=<s@Sg,t 6 细化和合成 97
j7a}<\ 6.1 优化介绍 97
dqQJC qc! 6.2 细化 (Refinement) 98
2ib,33 Z 6.3 合成 (Synthesis) 100
mOHOv61
6.4 目标和评价函数 101
3X;>cv#B 6.4.1 目标输入 102
P*K"0[\n 6.4.2 目标 103
<A|z 6.4.3 特殊的评价函数 104
[*(1~PrlO, 6.5 层锁定和连接 104
g@s`PBF7` 6.6 细化技术 104
C@]D*k 6.6.1 单纯形 105
ntPj9#lf 6.6.1.1 单纯形
参数 106
[bX^_ Y 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
<&+jl($" 6.6.2.1 Optimac参数 108
4|5;nxkGm8 6.6.3 模拟退火算法 109
NT5##XOB 6.6.3.1
模拟退火参数 109
m{Uh{G$ 6.6.4 共轭梯度 111
0m.`$nlV- 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
4
$Kzh 6.6.5 拟牛顿法 112
UY({[?Se 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
F@Wi[K 6.6.6 针合成 113
=L1%gQJJ& 6.6.6.1 针合成参数 114
%(6+{'j~# 6.6.7 差分进化 114
;vPFRiFK 6.6.8非局部细化 115
=?+w5oI0 6.6.8.1非局部细化参数 115
qLxcr/fK 6.7 我应该使用哪种技术? 116
g$"x,:2x{ 6.7.1 细化 116
<vV"abk 6.7.2 合成 117
$0P16ZlPC 6.8 参考文献 117
#
c1LOz 7 导纳图及其他工具 118
Q<MxbHk9 7.1 简介 118
s 72yu} 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
}1V+8'D 7.2.1 四分之一
波长规则 119
sGNHA(; 7.2.2 导纳图 120
NJd4( P 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
A['(@Bz#7~ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
9eP*N(m< 7.5 斜入射导纳图 141
nSQ]qH&4d 7.6 对称周期 141
62.Cq!~ 7.7 参考文献 142
~l] w=[
z 8 典型的镀膜实例 143
JgP%4)]LV 8.1 单层抗反射薄膜 145
4Wa$>vz 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
'-I\G6w9 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
W=+AU!% 8.4 W-膜层 148
{2 T:4i5 8.5 V-膜层 149
O0BDUpH 8.6 V-膜层高折射基底 150
>0 o[@gJl 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
Pj g# 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
EW4a@ 8.9 四层抗反射薄膜 153
jpR]V86G 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
Gx4uf 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
be_h
uZ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
};"_Ku4#- 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
^!k_"C)B 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
'Pn:10; 8.15十五层宽带抗反射膜 159
0;=]MEk? 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
HpUJ_pZ 8.17 1/4波长堆栈 162
(;9fkqm%m 8.18 陷波滤波器 163
;"EDFH#W 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
x#5[i;-c 8.20 褶皱 165
TPkP5w 8.21 消偏振分光器1 169
ngd4PN>{4 8.22 消偏振分光器2 171
^c.pvC"4j 8.23 消偏振立体分光器 172
^e =xEZD 8.24 消偏振截止滤光片 173
|d6/gSiF 8.25 立体偏振分束器1 174
1g,gilc 8.26 立方偏振分束器2 177
!{(crfXB 8.27 相位延迟器 178
RhF<{U. 8.28 红外截止器 179
v1}ijls 8.29 21层长波带通滤波器 180
l6xqc,h!K 8.30 49层长波带通滤波器 181
'zMmJl}\vd 8.31 55层短波带通滤波器 182
|na9I6 8.32 47 红外截止器 183
48J{Y3F 8.33 宽带通滤波器 184
.ty2! . 8.34 诱导透射滤波器 186
(8o;Cm 8.35 诱导透射滤波器2 188
XknNb{. r 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
/J!hKK^k 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
&A/b9GW^- 8.35 增益平坦滤波器 193
Xf{p>-+DL 8.38 啁啾反射镜 1 196
A93(} V7I 8.39 啁啾反射镜2 198
>
9z-/e 8.40 啁啾反射镜3 199
|rhB@k 8.41 带保护层的铝膜层 200
@V Tw>=94 8.42 增加铝反射率膜 201
k@n L(2 8.43 参考文献 202
9T`YHA'g 9 多层膜 204
ev/)#i#s{ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
"av/a 9.2 内部透过率 204
,5t_}d|3C= 9.3 内部透射率数据 205
*?Wr^T 9.4 实例 206
-H_#et3&i 9.5 实例2 210
z
[u!C/ 9.6 圆锥和带宽计算 212
X
)
=-a 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
9nlj{(
10 光学薄膜的颜色 216
i \lr
KA 10.1 导言 216
Sw[*1C8 10.2 色彩 216
$mf6!p4 10.3 主波长和纯度 220
S4(?=,^- 10.4 色相和纯度 221
qla=LS\-A+ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
^y|`\oyqwN 10.6 色差 226
6B>*v`T: 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
Ln\Gv/) 10.8 颜色渲染指数 234
s6 K~I 10.9 色差计算 235
8zJye6f;l 10.10 参考文献 236
%t:13eM 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
kqC7^x 11.1 短脉冲 238
!|ic{1!_ 11.2 群速度 239
7eZwpg?K 11.3 群速度色散 241
0.(7R,- 11.4 啁啾(chirped) 245
r>"l:GZ 11.5 光学薄膜—相变 245
DC$> 5FDv 11.6 群延迟和延迟色散 246
biQ~q$E 11.7 色度色散 246
#xhl@=W; 11.8 色散补偿 249
y{tM| 11.9 空间
光线偏移 256
iy_3#x5> 11.10 参考文献 258
uBM%E OE 12 公差与误差 260
._'.F'd 12.1 蒙特卡罗模型 260
1x+w|h 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
AVc|(~V 12.2.1 误差工具 267
W7T2j+] 12.2.2 灵敏度工具 271
`<R^ZL, 12.2.2.1 独立灵敏度 271
i(q a'* 12.2.2.2 灵敏度分布 275
7~D5Gy 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
MP
Q?Q]' 12.3 参考文献 276
A_J!VXq 13 Runsheet 与Simulator 277
8}Maj 13.1 原理介绍 277
`n e9&+ 13.2 截止滤光片设计 277
Y#U0g|UDn 14 光学常数提取 289
GN|xd+O_ 14.1 介绍 289
}.<]A 14.2 电介质薄膜 289
h>|IA@;|f 14.3 n 和k 的提取工具 295
;,B $lgF 14.4 基底的参数提取 302
vFgnbWxG 14.5 金属的参数提取 306
x$bCbg 14.6 不正确的模型 306
U
owbk: 14.7 参考文献 311
XJ7mvLM; 15 反演工程 313
Rd1I$| Y 15.1 随机性和
系统性 313
$*+UX
15.2 常见的系统性问题 314
Bjb8#n04 15.3 单层膜 314
M8FC-zFs 15.4 多层膜 314
@Y&(1Wl 15.5 含义 319
9NC'iFQ# 15.6 反演工程实例 319
Qu|<1CrZj] 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
c 9zMI 15.6.2 反演工程提取折射率 327
P;p20+ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
iN+&7#x;/ 16.1 光学性质的热致偏移 329
~_4$|WKl 16.2 应力工具 335
~NwX,-ri 16.3 均匀性误差 339
>t $^U 16.3.1 圆锥工具 339
P# Z+:T 16.3.2 波前问题 341
59a7%w 16.4 参考文献 343
T`Qg+Q$ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
4Mjcx.21 17.1 引言 345
E
uk[ @1 17.2 操作数 345
Q$^Kf]pD 18 如何在Function中编写脚本 351
J|WkPv2 18.1 简介 351
3Ett9fBd 18.2 什么是脚本? 351
"3uPK$ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
X&|y| 18.4 基础 352
V#d8fRm 18.4.1 Classes(类别) 352
{ Em fw9L 18.4.2 对象 352
o~p%ODH 18.4.3 信息(Messages) 352
@-jI<g 18.4.4 属性 352
zVtNT@1K>u 18.4.5 方法 353
,*{9g6 18.4.6 变量声明 353
@ u2P&|:{ 18.5 创建对象 354
)Hlc\Mgy 18.5.1 创建对象函数 355
fBt`D
!Z8 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
L
t.Vo 18.5.3 丢弃对象 356
7D)i]68E 18.5.4 总结 356
!"
7ip9a 18.6 脚本中的表格 357
|),3`*N 18.6.1 方法1 357
J~1=?</ 18.6.2 方法2 357
3Qoa?* 18.7 2D Plots in Scripts 358
N:7;c}~ 18.8 3D Plots in Scripts 359
^/v!hq_#%& 18.9 注释 360
CXhE+oS5z' 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
H83/X,"!w 18.11 一个更高级的脚本 362
+ |d[q? 18.12 <esc>键 364
W{*w<a_` 18.13 包含文件 365
`]l*H3+hg 18.14 脚本被
优化调用 366
g{$F;qbkO 18.15 脚本中的对话框 368
*D$Hd">X 18.15.1 介绍 368
Z3Y(g 18.15.2 消息框-MsgBox 368
;kiL`K 18.15.3 输入框函数 370
Cdbh7 18.15.4 自定义对话框 371
"ll
TVB 18.15.5 对话框编辑器 371
aYPD4yX"/ 18.15.6 控制对话框 377
[(4s\c 18.15.7 更高级的对话框 380
Ok6c E 18.16 Types语句 384
"yc_*R(pU 18.17 打开文件 385
>$iQDVh! 18.18 Bags 387
>z1q\cz 18.13 进一步研究 388
YU24wTe;k 19 vStack 389
S2EeC&-AR 19.1 vStack基本原理 389
x5)YZ~5 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
9Fv VM9 19.3 五棱镜 393
mk&`dr 19.4 光束距离 396
O!#bM< * 19.5 误差 399
dAj;g9N/h 19.6 二向分色棱镜 399
1 n<7YO7} 19.7 偏振泄漏 404
2n8spLZYGY 19.8 波前误差—相位 405
;p4|M 19.9 其它计算参数 405
;/]vmgl2 20 报表生成器 406
bB`p-1 20.1 入门 406
TbPTgE * 20.2 指令(Instructions) 406
9Jhc5G 20.3 页面布局指令 406
'WLh
D< 20.4 常见的参数图和三维图 407
Rr/sxR|0_ 20.5 表格中的常见参数 408
zw,=mpf3_ 20.6 迭代指令 408
Y$ To)qo 20.7 报表模版 408
UL
20.8 开始设计一个报表模版 409
,Rh6(I 21 一个新的project 413
\9GJa"xA` 21.1 创建一个新Job 414
op]HF4 21.2 默认设计 415
@mB*fl?- 21.3 薄膜设计 416
1:r8p6 21.4 误差的灵敏度计算 420
y.'5*08S0 21.5 显色指数计算 422
x^ruPiH 21.6 电场分布 424
.W)%*~ O!; 后记 426
ic_q<Y} 有兴趣扫码联系