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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-01
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 M.IV{gj  
    J@Orrz2q#  
    R/b=!<  
    |RjjP 7  
    系统内光栅建模 t 1&p> v  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 db4&?55Q  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 +'KM~c?]  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 1gt[_P2u  
    I 9u=RI s  
    T4f:0r;^f*  
    [2FXs52  
    附着光栅堆栈 k[zf`x^  
    Hv`Zc*  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 ;J5oO$H+68  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 X'u`\<&W  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 :qT>m  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 P,%|(qB  
    PAc~p8S  
    "Km`B1f`  
         +Rh'VZJs  
    堆栈的方向  (&gCVf  
    V2y[IeSQ  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: DMf9wB  
    Bo0y"W[+  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 ' 5Ieqpm9  
    tou^p-)GQ|  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 utTek5/  
    ?3|ZS8y  
     o j^U  
         P#0 _  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 V*TG%V -  
    6 S&#8l  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 D{4 Y:O&J  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 zH_q6@4  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 ECSC,oJ  
    ^ ID%pd  
    @V-ZV  
    fSP~~YSeU  
    高级选项和信息 =DCQ!02  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 #zQkQvAT9  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 'Oc8[8   
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 [L\w] 6  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 t #AQD]h  
    3LTO+>, |"  
    hT_snb;ow  
    i3GvTg-X  
    结构分解 td m{ V st  
    c]LH.  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 ZHBwoC#5}  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 f*I5 m=  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 Po_9M4kU  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 e,x@?L*  
    V4"AFArI  
    FFkG,XH  
    ^w HMKC  
    光栅级次通道选择 CJC|%i3  
    d}G?iX;c}  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 `SG70/  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 7q?Yd AUz  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 *K)v&}uw  
    l&rDa=m.J  
    nFP2wvFM  
    i~.[iZf|  
    光栅的角度响应 X XF9oy8  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 Za} |Ee  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 GBQb({  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 <,GHy/u\  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 7HJv4\K  
    7^; OjO@8  
    zm:=d>D..  
    1Q%.-vs  
    例:谐振波导光栅的角响应 J'EK5=H  
    q^cFD  
    W wE)XE  
    GKSy|z  
    谐振波导光栅的角响应 %8tN$8P  
    ? 1{S_  
    lEDHx[q  
     
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