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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-01
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 J& +s  
    'rRo2oTN  
    z['>`Kt  
    &7T0nB/)  
    系统内光栅建模 '  G-]>  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 NyJU?^f&v  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 RP7e)?5$s  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 gCgMmD=AZ  
    =XJ SE+ 7  
    Q<d\K(<3?:  
    ]~87v  
    附着光栅堆栈 !~m)_Q5?~  
    ss%ahs  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 F^IYx~:  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 0(Z ER sP  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 1a| q&L`o  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 @W=#gRqQPy  
    FsY}mql  
    S,lJ&Rsu  
         hv}rA,Yd  
    堆栈的方向 6~0S%Hz   
    y VUA7IY  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: )}=`Gx5+  
    . 3=WE@M  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 8Cs)_bj#!  
    lOPCM1Se  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 N/TU cG|m\  
    $=4T# W=m  
    utQE$0F  
         wZh&w<l'  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 <O?iJ=$  
    bAeC=?U  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 Va\dMv-b  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 MJV)| 2C  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 IaH8#3+a  
    k)b}"' I  
    *.r i8  
    CVo@zr$  
    高级选项和信息 _jR%o1Y}  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 8*H-</ =  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 \^iJv ~d  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 ~+A?!f;-J  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 x %L2eXL  
    xpx=t71Hq  
    ANc)igo  
    7UejK r  
    结构分解 0_}OKn)J  
    $}jp=?,t  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 2#kR1rJP  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 sk\U[#ohH  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 Ha1E /b]K  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 f/~"_O%  
    *j?tcxq  
    ,u#uk7V  
    <M B]W`5  
    光栅级次通道选择 l{>fma]7  
    1Zx|SBF  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 XpdDIKMmE  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 r )ZUeHt}w  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 [!]a' T#x  
    wV+ W(  
    MGfDxHg]  
    -GD_xk  
    光栅的角度响应 %2f``48#  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 ^I~2t|}  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 YFv/t=`  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 0Jm6 r4s?  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 Qg"hN  
    .mn`/4  
    ]@Y8! ,  
    K~H)XJFF  
    例:谐振波导光栅的角响应 PBbJfm  
    <|c n Qj*  
    l_hM,]T0  
    T1m"1Q  
    谐振波导光栅的角响应 K]Q#B|_T  
    "XT7;!  
    L{jJDd  
     
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