光栅是
光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的
系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来
模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。
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VM|8HR7U k?1cxY s 系统内光栅建模 OpYq qBf_ 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。
dDAdZxd 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。
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P 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。
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kf^Wzp UI |D?z< 附着光栅堆栈 h|_G2p^J+" ?^0#:QevC 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。
-H{c@hl 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;
仿真中不考虑孔径效应。
m&b!\"0 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。
Ws}u4t 所应用的光栅
结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。
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(]'4_~e v||8Q\d 堆栈的方向 QZ%_hvY[%> Ix-FJF- 堆栈的方向可以用两种方式指定:
DS-Kot(k(z XgU]Ktl 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。
m &c8@-T 6SW:'u|90 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。
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|8L dLG5yx\js 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 J1&G1\G|s= '0z@Jevd? 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。
P#"vlNa 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。
F6YMcdU 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。
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X2T)]`@ ppfBfMX 高级选项和信息 =@&]PYv 在求解器菜单中有几个高级选项可用。
3>/Yku)t 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。
(N0G[(> 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。
`QAotSO+ 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。
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jja9:$# _K8ob8)m 结构分解 9kQ~)4# qtD3<iWV 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。
YM/^-[k3 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。
5(tOQ%AQ 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。
K%$%9y 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。
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2U)H2% 'C!b($Y 光栅级次通道选择 pX*Oc6.0mu 7[ *,t 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面
照明的情况下,也可以有不同的级次。
;Rt?&&W 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。
@ 4j#X 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。
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TBvv(_ 7Oru{BQ"> 光栅的角度响应 mdtq-v 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。
e:6R +8s2 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。
J$v0 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。
$+R0RqV$V~ 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。
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sn]8h2z =uIu0_v 例:谐振波导光栅的角响应
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*3s4JK pEw &i 谐振波导光栅的角响应 ^kzw/.I{
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