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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-01
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 Yr>0Qg],  
    ;y-:)7J  
    a_-@rceU  
    nw_s :  
    系统内光栅建模 &TL"Hd  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 Ow(aRWUZD_  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 T 2_iH=u  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 p:W{c/tV  
    vK`HgRQ(C  
    qoZ)"M  
    I;n <) >  
    附着光栅堆栈 K-@\";whF  
    /8!n7a7  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 +v$W$s&b-h  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 Gpi_p  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 [!MS1v c;  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 yz,0 S'U  
    ?1zGs2Qs  
    pe<T" [X  
         eoXbZ  
    堆栈的方向 V.6pfL  
    *?$M=tH  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: 5SZa, +]  
    "Q:h[)a  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 ~ch%mI~  
    Ke=+D'=  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 9gglyoZ%  
    Gs,e8ri!  
    f/s"2r  
         k"C'8<T)'  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 \Rb:t}  
    9_?e, Q  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 !|j|rYi-  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 qj `C6_?  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 DycXJ3eQ  
    ~I9o *cq  
    M<*WC{  
    U=7nz|  
    高级选项和信息 @rA V;D%  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 aC%Q.+-t  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 aEh9 za  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 KU*aJl_n,  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 2Q\\l @b\  
    BFg&@7.X  
    HTz`$9  
    0 x' d^  
    结构分解 sHMO9{[7H  
    &%GAPs%  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 Y/"t!   
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 SWY  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 nm& pn*1  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 {qbe ye!  
    rGXUV`5Na  
    Sk1t~  
    "a}fwg9Y  
    光栅级次通道选择 vC `SD]  
    ("r:L<xe&  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 ^Il*`&+?P  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 ,G5[?H;ZN  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 yP>025o't  
    8D,*_p  
    &"I csxG  
    !lo /L  
    光栅的角度响应 R dwt4A+  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 ^Y+Lf]zz*  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 X{Hh^H  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 M8<Vd1-5  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 {j;` wN  
    |FM*1Q[1  
    a'/i/@h  
    DcdEt=\)h  
    例:谐振波导光栅的角响应 ;b~\ [  
    3)6-S  
    \q4r/SbgW  
    'L-DMNxBr  
    谐振波导光栅的角响应 !U>WAD9  
    dFDf/tH  
    #0Y_!'j  
     
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