光栅是
光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的
系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来
模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。
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RQ}0f5~t _?Q0yVH;, 系统内光栅建模 ? I7}4i7 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。
VnqgN 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。
imGg3' 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。
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.dqV fa -L=aZPW`M 附着光栅堆栈 #w_cos[I ?Ybgzb 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。
GZ xG!r- 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;
仿真中不考虑孔径效应。
BC|=-^( 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。
$J]VY;C! 所应用的光栅
结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。
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|^: A,%> @ Gxnrh6 堆栈的方向 PtP{_9%Dz F\LAw#IJ 堆栈的方向可以用两种方式指定:
(t$jb|Oa Pv@P(y?\ 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。
Vqr#%.N gl k-: # 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。
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S.G"*'N L-J 7z+{ 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 > J4Tk1//b OQl7#`G!H% 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。
ollJ#i9 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。
Tvdg:[V< 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。
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_[J @w .l( q6R`` 高级选项和信息 ,0j7qn@tm 在求解器菜单中有几个高级选项可用。
[WZGu6$SU 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。
g"c |%3 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。
gzV&S5A{_ 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。
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'MF|(` {Y0Uln5u 结构分解 Q}/2\Q=)j uP;qs8 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。
^?-SMcUHB 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。
hrT!S 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。
~f:y^`+Q[ 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。
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o p{DPUO0 fLGZ@-qA0 光栅级次通道选择 c%?31t E[IjeJB5 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面
照明的情况下,也可以有不同的级次。
2=?:(e9 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。
/RWQ+Zf-Y] 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。
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whoM$ & =I(F(AE 光栅的角度响应 9YMD[H\}V 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。
rzl0*CR 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。
#Qir%\*V 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。
Rix|LKk{ 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。
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s2IjZF { seNJ6p=` 例:谐振波导光栅的角响应
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j'\!p):H Ne!0 `^`~ 谐振波导光栅的角响应 t@ _MWF
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