光栅是
光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的
系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来
模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。
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W$7db%qFx OPR+K ? 系统内光栅建模 jk2h"):B> 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。
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KJEA# 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。
5|!x0H; 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。
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Ml` f+$ 7pDov@K<{ 附着光栅堆栈 LuQ4TT Hxft~* 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。
3Xgf=yG:M 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;
仿真中不考虑孔径效应。
[L 0`B9TD~ 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。
Jw'%[(q
Q 所应用的光栅
结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。
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+U9Gj# B#'TF?HUEn 堆栈的方向 &K5wCNX1 uBI?nv, 堆栈的方向可以用两种方式指定:
w*`5b!+/ >VnkgY 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。
euO!+9p keNPlK%> 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。
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/NCEZ@2BN, 0lR/6CB 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 K2,oP )0.Y Mp*")N, 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。
:nYl]Rm 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。
2'_xg~ 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。
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WJBi#(SY ALS\}_8 高级选项和信息 9\RSJGx6 在求解器菜单中有几个高级选项可用。
Dk4Jg++ 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。
_7>$'V{ 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。
0Qvbc}KP8 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。
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?1JVzZ4H ;}{xpJ/ 结构分解 mMm_=cfv BuMBnbT 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。
%E Jv!u*- 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。
sh(G{Yz@ 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。
O,6Upk 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。
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7UvfXzDNC A\Rkt;: 光栅级次通道选择 mw)KyU#l,: [<P(S~J 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面
照明的情况下,也可以有不同的级次。
r=6-kC!T9 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。
~F?s\kp6 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。
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57IAH$n8o BYt#aqf 光栅的角度响应 so}(*E&(a 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。
ocBfs^ aW 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。
_cdrz)T 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。
`oP :F[B 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。
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lR[[]Yn 例:谐振波导光栅的角响应
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|D<J9+ ^lhV\YxJ 谐振波导光栅的角响应 Y`jvza%
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