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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-01
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 LknV47vd  
    fK+[r1^  
    R*VEeLx  
    ';I(#J6  
    系统内光栅建模 Vs(D(d,  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 /l;_ xs  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 jm,:jkr  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 ww)ow\  
    UD_8#DO{m1  
    Iy Vmz'  
    ;R^=($X  
    附着光栅堆栈 /~P4<1  
    N\85fPSMG|  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 56H~MnX  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 wc?YzXP+  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 f9^MLb6)  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 na3lbwq  
    RM#.-gW   
    `2n%Lo?_  
         :+%Yul  
    堆栈的方向 GP_%. fO\M  
    @[~j|YH}  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: >z k6{kC  
    % E 8s>D  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 eNr2-R  
    ]wEFm;N  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 7mnZ,gpb  
    LcGG~P|ML  
    oPrK{flm  
         2cko GafG{  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 /m h #o  
    O]G3l0  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 K'b #}N\  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 [k60=$y  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 T.q7~ba*  
    M^0^l9w  
    b;"Z`/h  
    x, #?  
    高级选项和信息 3($tD*!o  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 sDjbvC0  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 (4C_Ft*~j  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 HA~BXxa/  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 (~]0)J  
    .{"wliC2  
    :Kk+wp}f #  
    GyGF<%nq  
    结构分解 h:4F?'W  
    q!<n\X3]u  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 '(SqHP|8&g  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 -x+K#T0Z  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 1!A 'mkk8  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 f# sDG  
    0134mw%jk  
    /8LTM|(  
    'J_6SD  
    光栅级次通道选择 %!OA/7XbG  
    "\rR0V!wA  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 >44,Dp]  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 InB'Ag"  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 b@9d@@/wx  
    y hNy  
    Jv59zI  
    !5K5;M_Ih"  
    光栅的角度响应 *q0vp^?  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 SD]rYIu+  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 x k&# fW^r  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 8GT4U5c ;  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 A(ZtA[G  
    M6z$*? <  
    h&<>nK   
    f|&, SI?  
    例:谐振波导光栅的角响应 FXFyF*w2  
    ejlau#8"  
    M+Eg{^ q`  
    H*h4D+Kxv  
    谐振波导光栅的角响应 mZ#h p}\.  
    O.$OLK;v  
    I0}G, q  
     
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