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}5 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
UqN{JG:#. QhsMd-v 建模任务 @]f3|>I
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\a"i7Caa 9b1?W?" 观测倾斜平面 cVp[ Z#B
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RA7i :$=|7v 观测柱面 V1<ow'^i
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j'+ELKQ MY!q% 观测球面 e^QVn\<c
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mj@31YW 9 ~~qAoD 走进VirtualLab Fusion eJ)1K
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X8Xn\E \eQla8s VirtualLab Fusion的工作流程 |8H_-n 设置输入场
8lwFAiC8 2{-!E ^g 使用表面构造真实元件
-0$:|p?@^ @lS==O-`f 定义元件的位置和方向
-/>9c-F f])M04< 为非序列场追迹设置合适的通道
i^*M^P3m pz7H To;p bhD ~4Rz {)xWD% +Q)ULnie e VirtualLab Fusion技术 $Jp~\_X mG2VZ>