[技术]用于光学检测的斐索干涉仪 [复制链接]

 b?=r%D->w  
miBCq
l@x  
T:Q+ Z }v+  
斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器，常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术，我们建立了斐索干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，如柱面和球面，可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 0F!Uai1  
sfG9R"  
建模任务 2:.$:wS  
_j$V[=kdM/  
i{:?Iw 'ay  
!K_<7iExI\  
观测倾斜平面 LVP6vs  
*>iJ=H  
:n<l0
  
( K-7z  
观测柱面 :'
t"kS  
L) _ VdB  
E]{0lG`l  
Yo5ged]i  
观测球面 !N:w?zsp  
~Gg19x.#uW  
brE%/%!e  
K~&3etQF  
走进VirtualLab Fusion WFug-#;e  
RionKi
N  
bMqS:+  
     /$8& r  
VirtualLab Fusion的工作流程 Pmuk !V}f  
 设置输入场 -uAGG?ZER  
;rh=63g  
 使用表面构造真实元件 ('_S1?y  
_Axw$oYS  
 定义元件的位置和方向 VF-[O  
UA0R)BH'  
 为非序列场追迹设置合适的通道 N:^
4OnVR  
z1e+Ob&  
odeO(zuU  
='/#G0W  
     {=^<yK2q  
VirtualLab Fusion技术 w@N)Pu  
up3mum