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te+} j7SU m@2E ~m 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
9* )&hhBs, 6 Xvpk1 建模任务 _
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7]h %?W! y*i&p4Y* 观测倾斜平面 Pp8S\%z~h
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S>yi D`v n$/|r 观测柱面 &K9;GZS?
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[`+7w /Y7^!3uM 观测球面 /s\ mV
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YJJ1N/Z1 +MoUh'/u 走进VirtualLab Fusion U: 9&0`k(
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oe& f@OH~4FG VirtualLab Fusion的工作流程 FZe/3sY 设置输入场
2@|`Ugjptl uC'-: t# 使用表面构造真实元件
gQ+]N*. F5o8@ Ib]: 定义元件的位置和方向
;vH2r~ >G]JwO 为非序列场追迹设置合适的通道
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