与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
6L rI,d +/
{lz8^,
jvxCCYXR 0{
_6le] 设计任务 |ZC'a!
P%ThW9^vnj
Y9I|s{~ KrR`A(=WL 仅位相透射设计(IFTA) Cn0s?3Fm
u{7->[=
:|8!w ;66{S'*[ 仅位相透射设计(IFTA) n0G@BE1Y=
B"
_Xst
zJ$U5r/u 1_TniR3z1 超表面晶胞分析 Vw3=jIQN:!
F|cli
<
&*bpEdkZ YeVo=hYH@ 构建超光栅 2'@D0L
M2;6Cz>,P
8
&v)Vi- 2a;[2': 初始超表面设计的评估 P,b&F
`4?|yp.|L
mN>(n+ly NB5lxaL 参数优化 OO'zIC<z
GXk
|p8
qu^~K.I" a_]l?t 优化超光栅设计的评估 8Q"1I7U
UkXa mGoy3
ktRGl>J !]5V{3 走进VirtualLab 3[m2F O,Z
LM 1Vsh<
4CtWEq Jl6lZd(Np VirtualLab Fusion的工作流程 p$ETAvD 分析超表面晶胞
\j-:5M#m `
@lNt} 构造超光栅
<:&{ c-f/ 分析光栅衍射效率
lauq(aD_C 4)>S3Yr 光栅
结构参数优化
,b5vnW\ N7KG_o%
qq_ZkU@xg =q|//*t2 VirtualLab Fusion技术 )=bW\=[8 ~w9`l8/0
a8G<x<