与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
?_/T$b] >*}m.'u
y{nX 6 >k
u7{1) 设计任务 <%oT}K\;
BFn}~\wzK
%'dsb7n );^{;fLy% 仅位相透射设计(IFTA) ,E4qxZC(X
>Wj8[9zf
[_p&,$z8[ ' @j8tK 仅位相透射设计(IFTA) H3S u'3
_\FA}d@N
oc&yz>%q 6EG`0h6 超表面晶胞分析 55`cNZ
R=HcSRTkA
jt",\%j N,`<:' 构建超光栅 7me1:}4
Pe7%
9
fOO[`"'Pq ;#?+i`9'q 初始超表面设计的评估 ,An*w_
cU r'mb
VW9BQs2w o=doL{# 参数优化 $e![^I]`
e+O0l
HoKN<w oJEjg>%n 优化超光栅设计的评估 m2Q#ATLW
C$EvcF%1
C)Hb= tPho4,x$ 走进VirtualLab {2%@I~US
3`m
n#RM
\o,`@2H+' dD"o~iEC VirtualLab Fusion的工作流程 <lVW;l7 分析超表面晶胞
2qUC@d<K K)t+lJ 构造超光栅
LP:C9Ol\ 分析光栅衍射效率
K3^N_^H *1;}c
z 光栅
结构参数优化
KA$l.6&d ]i@VIvYq
\)vxZ! }x1p~N+; VirtualLab Fusion技术 slMWk;fmD} ``mW\=fe
G@igxnm}