[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ,Tz ,)rY  
2ga}d5lu  
TdE_\gEo/R  
c|.:J]  
建模任务 ]bR'J\Fwl  
&.z/dFmG  
)F$Stg3e  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) sY6'y'a95  
     'pe0Q-  
某一位置的Talbot图样 R/wSGP`W  
V")Q4h{  
q@sH@-z4]  
   nB]Q^~jX  
某一位置的Talbot图样 ~>C>LH>8  
@i68%6H`?  

dX
DD/8E  
"J.jmR;  
不同位置的Talbot图样 < 5PeI  
:$tW9*\KY  
^0&] .m  
Yo(B8}?0!  
不同位置的Talbot图样 "pPNlV]UA^  
[>:gwl _\  
>YfOR%mS4  
|pgkl`  
沿Z轴的强度 %OtW\T=u  
{ &'TA  
:mrGB3x{  
$G_<YVXcG  
走进VirtualLab Fusion &wuV}S7  
)QE_+H}p  
G8s`<:9*  
     @Y,F&8a$  
VirtualLab Fusion的工作流程 d<Os TA  
C|I 1 m  
 构建光栅结构 '=H^m D+gl  
9y5\4&v  
U %ESuq#  
     3XnXQ/({  
 通过参数运行计算不同位置的强度 #'8PFw\zw  
8Vn6* Xn  
     }j?S?=;m=  
*X\c $=*  
     vO_quQ[.  
VirtualLab Fusion技术 \zi3.;9|;  
;SW-dfo2i