在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个
图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在
VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。
}0pp"[JU e1a\--
}|
MX=:@* g,]o+nT 建模任务 8<"g&+T rl7up
Vm<_e 结构和
材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
}O7sP^ /V 09Na,N 某一位置的Talbot图样 >BO$tbU5b
H2%Qu<Kg2
hhaiHi!$ i<F7/p "- 某一位置的Talbot图样 s1Acl\l-uF
Fn.JtIu
vY_[@y :=y5713 不同位置的Talbot图样 WfaMu|
L
N<i5X.X
@\w}p E pDlrK&;\z 不同位置的Talbot图样 h"+7cc@
y:98}gW`n
uCr& ` P9yMf~ 沿Z轴的强度 0#OyT'~V%
.2c/V
chL1r9V)v _cQ
'3@ 走进VirtualLab Fusion dvjj"F'Bf
GGEM&0*
uQ-GJI^t FShjUl>mV VirtualLab Fusion的工作流程 IWu=z!mO QO}~"lMj 构建
光栅结构 ^+D/59I 4+q,[m-$( A
.&c>{B7 nSyLt6zn\ 通过参数运行计算不同位置的强度
n5kGHL2 |gI>Sp%Fu xg/(
-$<oY88 pL1ABvBB VirtualLab Fusion技术 9k ~8n9
5NZuaN