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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-20
    在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 D..dGh.MY  
    $:{r#mM  
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    建模任务 {km~,]N  
    6qCRM*V  
    ^A4bsoW  
        结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ){XaO;k<]  
         [M:ag_rm+f  
    某一位置的Talbot图样 4G:?U6  
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    ; O6Ez-"  
       yvPcD5s5  
    某一位置的Talbot图样 d&!;uzOx  
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    不同位置的Talbot图样 Q]Kc< [E  
    -r.Qy(}p  
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    不同位置的Talbot图样 aFCma2  
    v-(Ry<fT9  
    +#|| w9p  
    MLu@|Xgh  
    沿Z轴的强度 aP#nK  
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    走进VirtualLab Fusion kOu C@~,  
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         x] e &G!|  
    VirtualLab Fusion的工作流程 TSgfIE|  
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     构建光栅结构 E%B:6  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 i!|OFU6  
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         +7`7cOqXg  
    VirtualLab Fusion技术 i4Ps#R_wx  
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