[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 5b7RYV  
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(TM,V!G+U~  
建模任务 @H8EWTZ  
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GM<9p_ B  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) jPkn[W# 6  
     <#4h}_xA%  
某一位置的Talbot图样 >H,*H;6  
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某一位置的Talbot图样 u*9V&>o  
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不同位置的Talbot图样 N'=gep0
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不同位置的Talbot图样 _)-o1`*-  
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沿Z轴的强度 &)<)^.@3G^  
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走进VirtualLab Fusion m#p'iU*va,  
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VirtualLab Fusion的工作流程 >(RkZ}z  
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 构建光栅结构 i!Ga5v8n:  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 9cm#56  
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VirtualLab Fusion技术 rVsJ`+L  
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