[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 7Z+Fjy-B  
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建模任务 $C=XSuPNK  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 1LFad>`  
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某一位置的Talbot图样 q%bFR[p<*  
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某一位置的Talbot图样 '%_K"r
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不同位置的Talbot图样 _&G_SNa  
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不同位置的Talbot图样 LIJ#nb  
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沿Z轴的强度 Dg~m}La  
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走进VirtualLab Fusion 3XUVUd~  
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VirtualLab Fusion的工作流程 Y1AZ%{^0a  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 >sAaLR4  
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VirtualLab Fusion技术 iVVR$uzhH  
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