[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 =S/$h}Vi  
CY;ML6c@  
g.OBh_j-v  
b);Pw"_2  
建模任务 +g,:!5pg  
OE)n4X  
sPY*2B  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) vWY}+#  
     j~,7JJ (y  
某一位置的Talbot图样 9k8ftxB^  
p6m](Jg  
fTiqY72h  
   q<`YJ,  
某一位置的Talbot图样 .|Y2'TWQ  
>!O3 jb k  
~01 o  
]:`q/iS&  
不同位置的Talbot图样 1~:7W  
h<H.8.o  
`$oGgz6ZT  
hZ|*=/3k  
不同位置的Talbot图样 }M?\BH&  
*O-1zIlp  
pOP`n3m0  
Q4e*Z9YJ  
沿Z轴的强度 <>$`vuU  
W5,e;4/hL  
DpjiE/*  
%7=B?c|  
走进VirtualLab Fusion YW55iyM  

z`UL)W  
H_)\:gTG  
     vmdu9"H  
VirtualLab Fusion的工作流程 K +n  
@Ee{ GH^-  
 构建光栅结构 xCwd*lsM  
P#-9{T  
pQ%~u3  
     ?"f\"N  
 通过参数运行计算不同位置的强度 BwtjTwd  
y1R53u`;L  
     +U/+iI>0  
x95[*[  
     {~NiGHY  
VirtualLab Fusion技术 Eukj2a  
ol]"r5#Q_H