[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 Fr)6<9%xVm  
!MEA@^$#  
V*H7m'za  
_FP'SVa}D  
建模任务 5m9;'SF  
~vB
dq Yj  
KZ$^Q<d^  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) FC#t}4as  
     
UqNUP+K  
某一位置的Talbot图样 u$ff %`E  
=PIarUJ  
3.w &e0Es  
   !n|4w$t"V  
某一位置的Talbot图样 Tno 0Q +  
36\_Y?zx%  
sDP8!  
XU6SYC"t%~  
不同位置的Talbot图样 8]&\FA8  
C(&3L[  
9F2MCqvcm  
]:svR@E  
不同位置的Talbot图样 g]jCR*]  
1)
J' pDa  
s7s@!~  
u+qj_Ej  
沿Z轴的强度 X.[8L^ldh  
T4h&ly5 f  
2 sK\.yS  
aPm2\Sq$  
走进VirtualLab Fusion PZk"!I<oN  
o?S


!o}  
?b xak  
     ca,U>'(y  
VirtualLab Fusion的工作流程 w:/QB-`%  
s_cur-  
 构建光栅结构 J=Hyoz+9  
li9>zjz  
5#Et.P'  
    
{!xDJnF;  
 通过参数运行计算不同位置的强度 x,UP7=6  
kerBy
\^  
     f[-$##S.~  
Ue(\-b\)  
     \CrWKBL  
VirtualLab Fusion技术 :I8HRkp  
8K2=WYN