[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 Y3=5J\d!a  
\@&oK2f  
iO 9.SF0:  
hjf!FY*F  
建模任务 c%+/TO  
xvw@'|  
N-Fs-uB  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) d9e_slx  
     Heh.CD)Q  
某一位置的Talbot图样 =z^2KH  
#{K}o}  

VzD LGLH  
   Oy EOb>  
某一位置的Talbot图样 \kWL:uU  
|y1O M  
\A7{kI  
W>TG!R 5  
不同位置的Talbot图样 7.)kG}q]  
%hDx UZ#0  
uDD{O~wF,  
}?G([s56  
不同位置的Talbot图样 sjGy=d{:oL  
>x?x3#SX  
C2t]  
la4 #2>#WZ  
沿Z轴的强度 cD.a
f
y  
corNw+|/w  
I;1W6uD=  
e~oh%l^C72  
走进VirtualLab Fusion &s6;2G&L$  
abMB-  
W4Z8U0co  
     4.Kl/b;  
VirtualLab Fusion的工作流程 'h}(>%  
i4T=4q  
 构建光栅结构 j<NZ4Rf  
C)UL{n  
[=<vapZt  
     Gh%R4)}  
 通过参数运行计算不同位置的强度 [}$jO,H5r  
[nc-~T+Mo  
     ,3XlX(P  
AQ%B&Q(V1  
     { 9:vq|  
VirtualLab Fusion技术 =[JstiT?E  
^4/