[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 L ^{C4}x=  
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建模任务 &%`0&y  
!i?aRI/6  
S *K0OUq  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 9l:vVp7Uk  
     H4g1@[{|0O  
某一位置的Talbot图样 qwHP8GU  
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jMQ7^(9-  
   [fr!J?/@  
某一位置的Talbot图样 $C9['GGR  
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不同位置的Talbot图样 "0Yb 2>F  
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不同位置的Talbot图样 6gJc?+  
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沿Z轴的强度 lyQNE3   
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走进VirtualLab Fusion r
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VirtualLab Fusion的工作流程 h&m4"HBL_  
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 构建光栅结构 H(F9&6}  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 P_%kYcX'  
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VirtualLab Fusion技术 ]{PJ  
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