在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个
图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在
VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。
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Nep4J; 6b2UPI7m~ 建模任务 T @ c~ql f"ZlJV a
Xz$4cI#n: 结构和
材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
>STtX6h J|`0GDSn 某一位置的Talbot图样 +yGQt3U
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oQ$yr^M LG #^g6P 不同位置的Talbot图样 8-q^.<9
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^L[:DB{Z Nk|cU;?+ 不同位置的Talbot图样 jvzioFCt
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"yWw3(V2> @:lM|2: 走进VirtualLab Fusion ).T&fa"
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q7R]!zk } M#e\neii VirtualLab Fusion的工作流程 ZN[<=w&(cB I \:WD" 构建
光栅结构 Q;h.}N8W bO '\QtW9 V Z(/g"9 Knq9"k 通过参数运行计算不同位置的强度
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&#r+a' Ndmt$(b VirtualLab Fusion技术 |)-kUu
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