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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-20
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 #jc+2F,+{  
    y,.X5#rnX*  
    n B5:X  
    FS(bEAk}  
    建模任务 'pa>;{  
    3>+9Rru  
    vZ rE9C }  
        结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) aLWNqe&1  
         %ja8DRQ.  
    某一位置的Talbot图样 74h[YyVi  
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     gc y'"d"  
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    某一位置的Talbot图样 6r x%>\UkS  
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    不同位置的Talbot图样 <8JV`dTywC  
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    不同位置的Talbot图样 +# 38  
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    沿Z轴的强度 sW53g$`v  
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    走进VirtualLab Fusion 7M|!N_ $  
    z<T(afM{*  
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         ^tw\F7  
    VirtualLab Fusion的工作流程 ir72fSe  
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     构建光栅结构 HFtl4P  
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    MM+xm{4l  
         go6XUe  
     通过参数运行计算不同位置的强度 ,C=Lu9  
    GH6HdZ  
         f>*D@TrU  
    (P+TOu-y\  
         \1[=t+/  
    VirtualLab Fusion技术 (9"w{pnlLc  
    nB~hmE)  
     
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