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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-20
    在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 6 2t 9SY  
    =z\/xzAwX  
    Dlz1"|SF  
    %$=2tfR  
    建模任务 ~'N+O K  
    I2z6iT4nB  
    W&7(  
        结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 7,Y+FZ  
         <4TF ]5  
    某一位置的Talbot图样 bSa]={}L(  
    G)&!f)6  
    u24XuSe$  
       =b>e4I@  
    某一位置的Talbot图样 ow;a7  
    o90[,  
    U "v=XK)!  
    n>xuef   
    不同位置的Talbot图样 1^2]~R9,9  
    'rrnTd c  
    FBa- gm<9  
    .x1.`Y   
    不同位置的Talbot图样 YMj iJTl  
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    ,_ @) IN  
    z&z5EtFUTh  
    沿Z轴的强度 h;A~:}c,  
    ]PB95%  
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    走进VirtualLab Fusion dRUmC H  
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    v!AfIcEV  
         [d=BN ,?  
    VirtualLab Fusion的工作流程 #4V->I  
    ~J >Jd  
     构建光栅结构 O6ltGtF  
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         AvB21~t&]  
     通过参数运行计算不同位置的强度 Nhtc^DX  
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    .g_^! t  
         [K1z/ea)V  
    VirtualLab Fusion技术 %&wi@ *#  
    nLR   
     
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