[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 QjTSbHtH  
@KQ>DBWQM  
nPyn~3  
Qs1p  
建模任务 u/=hueR<^  
^r~[3NT  
>@vu;j\*E5  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 1K Vit{  
     kL8rqv^  
某一位置的Talbot图样 _3Eo{^  
K(;qdIr  
9$)&b\D  
   [qc1 V%g  
某一位置的Talbot图样 E'x
"EN  
g89@>?Mn  
3](hMk,}  
D{(}&8a9  
不同位置的Talbot图样 #/oH #/?  
T}fo  
wgFX')l:  
ebBi zc=  
不同位置的Talbot图样 _dKMBcl)E  
DTO_IP  
T]th3*  
XvI~"}  
沿Z轴的强度 >7W)iwF  
<^YvgQ,m  
1jKpLTSs  
NBk0P*SI  
走进VirtualLab Fusion 5*44QV  
a>47k{RSzE  
$_S-R 3L\  
     ;@Zuet  
VirtualLab Fusion的工作流程 50
5c(+  
:E9pdx+  
 构建光栅结构 Lm[,^k  
URb8[~dR:  
\c2x udU  
     o;@~uU  
 通过参数运行计算不同位置的强度 'g%:/lwA  
[FBS|v#T  
     uWJJ\  
8?Rp2n*o  
     'V]C.`9c  
VirtualLab Fusion技术 ~vXbh(MX  
oJA_"xp