[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 1ig#|v*+  
%BV2 q  
>wPMJ> 2  
t
93iU?Z  
建模任务 'OERW|BO  
P. V #  
=5zx]N1r  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) PNn-@=%  
     
Q|3SYJf  
某一位置的Talbot图样 ~C;1}P%9x  
VlLc[eVV  
pt
cG:  
   Gb?O-z%8*  
某一位置的Talbot图样 _mi(:s(  
xQKD1#y  
ab5uZ0@  
4t Z. T9d  
不同位置的Talbot图样 ku`bwS  
W;^bc*a_  
pbM"tr_A{  
Ku W$  
不同位置的Talbot图样 lMcSe8LBQa  
.JJ^w!|>#  
HDTdOG)  
TAXl73j_CY  
沿Z轴的强度 #_zd`s3k  
JW`Kh*,~<  
I,0]> kx  
x:Nd>Fb  
走进VirtualLab Fusion |>Xw"]b;  
@|2}*_3\  
SdI/  
     cv'Fc  
VirtualLab Fusion的工作流程 &dC #nw  
X?F$jX|c  
 构建光栅结构 j5cc"s  
h/CF^0m"!  
I8<s4q   
    
W1@Q)i  
 通过参数运行计算不同位置的强度 #=MQE  
e$wbYByW  
     !`VO#_TJ  
@c8s<9I]  
     jgr2qSUC  
VirtualLab Fusion技术 P'nby
F  
:EUV#5V.