在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个
图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在
VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。
6
2t9SY =z\/xzAwX
Dlz1"|SF
%$=2tfR 建模任务 ~'N+O K I2z6iT4nB
W&7( 结构和
材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
7,Y+FZ <4TF ]5 某一位置的Talbot图样 bSa]={}L(
G)&!f)6
u24XuSe$ =b>e4I@ 某一位置的Talbot图样 o w;a7
o90[,
U "v=XK)! n>xuef 不同位置的Talbot图样 1^2]~R9,9
'r rnTd c
FBa-gm<9 .x1.` Y 不同位置的Talbot图样 YMj iJTl
0@&/W-VXg
,_@) IN z&z5EtFUTh 沿Z轴的强度 h;A~:}c,
]PB95%
@{ L|&Mk! YTg8Zg-Z 走进VirtualLab Fusion dRUmC H
k0D):
v!AfIcEV [d=BN ,? VirtualLab Fusion的工作流程 #4V->I ~J
>Jd 构建
光栅结构 O6ltGtF eF?jNO3 eh,_g. AvB21~t&] 通过参数运行计算不同位置的强度
Nhtc^DX f7Gs1{ f/{ClP.
.g_^! t [K1z/ea)V VirtualLab Fusion技术 %&wi@ *#
nLR