在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个
图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在
VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。
BC#`S&R C5KUIOg 
!F ?j'[s8] D
@wIbU 建模任务 6e|uA7i4 ME>Sh~C\ 
E i2M ~/ 结构和
材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
6* 1f -IbV ( ?e
Et& 某一位置的Talbot图样 , <7HLV
#xR=U"
mDt!b6N/ =^zGn+@z 某一位置的Talbot图样 $qpW?<>,0
Z6So5r %wZ
CZ^
,bad `uDOIl 不同位置的Talbot图样 B$OV^iwxK
<v\$r2C*
QX a2qxTc /Aw@2 6 不同位置的Talbot图样 d BM{]@bZ
<Pf4[q&wM
]:n9MFv jMX+uYx M 沿Z轴的强度 @d8Nr:
0<<ATw$aQ
@ I&k|\ Ag{)?5/d_ 走进VirtualLab Fusion L[5U(`q[
WK0Iag Yw
+~1FKLu GAs.?JHd VirtualLab Fusion的工作流程 :Ez*<;pF' 6 \UIp#X 构建
光栅结构 g%)cyri M`9|8f,!a oBnes* =|fB":vk 通过参数运行计算不同位置的强度
4UPxV"H -) +B!"1 _$vbb#QXZG 
Vvv;m 5. X_3hh} = VirtualLab Fusion技术 |~v2~
WFmW[< g
