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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-20
    在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 =#OHxM  
    ` (7N^@  
    \?bwm&6+r  
    R2Twm!1  
    建模任务 g,00'z_D  
    >&$$(Bp  
    >v^2^$^u  
        结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) XD;15a  
         lAdOC5+JX  
    某一位置的Talbot图样 zkjPLeX  
    eNI kiJ$uS  
    >{O[t2&  
       "2)+)Db  
    某一位置的Talbot图样 JK@izI  
    Iq4Kgc  
    *4(/t$)pEl  
    D}zOuB,S  
    不同位置的Talbot图样 GOv9 2$e  
    ddUjs8VvJ  
    D__lqboz  
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    不同位置的Talbot图样 =q_&* '  
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    t] n(5!L(  
    LP5eFl`|T  
    沿Z轴的强度 =$"zqa.B6  
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    走进VirtualLab Fusion r*X}3t*  
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    naec"Kut  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 2+T8Y,g  
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     构建光栅结构 ,W)IVc   
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     通过参数运行计算不同位置的强度 9B!im\]O  
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    VirtualLab Fusion技术 7]M,yIwc  
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