[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 I> BGp4AQ  
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建模任务 SZ
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Yh2[ nF_  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ,u_ Z0S M  
     Dbl+izF3  
某一位置的Talbot图样 XDo
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m6Mko2  
M)1Y7?r]  
   F_F02:t  
某一位置的Talbot图样 v8f1o$R  
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Ra/Pk G
-7  

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不同位置的Talbot图样 TQ5*z,CkS  
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'8w>=9Xl  
不同位置的Talbot图样 Gy)2  
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沿Z轴的强度 ?"$Rw32  
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走进VirtualLab Fusion @L$!hT
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VirtualLab Fusion的工作流程 7>lM^ :A  
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 构建光栅结构 %X|u({(zb  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 8PR\a!"  
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VirtualLab Fusion技术
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