[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 wbF`wi?  
,gNZHKNq  
sAU%:W{  
A z@@0  
建模任务 3.#L  
4+>yL+sC%v  
xP~GpVhLF  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) c-JXWNz  
     i|z=WnF$&  
某一位置的Talbot图样 i[9gcL"  
OKm,iIp]  
'lE{Nj*7  
   ,w6?Ap  
某一位置的Talbot图样 j[i*;0) |  
Hy:x.'i  
_Jg#T~  
lz>00B<Z  
不同位置的Talbot图样 7.VP7;jys  
8K9HFT@yV  
W=A0+t%XC  
Q8Ek}O\MC  
不同位置的Talbot图样 r3?8nQ$  
XdDQ$'*X  
Zs/-/C|  
N[O .p]8  
沿Z轴的强度 aWimg6q  
X\!q8KEpR&  
Pq<43:*?  
*A!M0TK?i,  
走进VirtualLab Fusion Gi-pi=#&cs  
M:OZW
YQ  
@F(e
r  
     gQik>gFr  
VirtualLab Fusion的工作流程 yB
7si(,1>  
!{V`N|0  
 构建光栅结构 u,iiS4'Ze  
*0,*F~n  
gNxv.6Pp=  
     }N-UlL(  
 通过参数运行计算不同位置的强度 0_je@p+$  
9$v\D3<Z  
     >.P*lT  
VB |k  
     2u_=i$xW  
VirtualLab Fusion技术 .T8^>z1/\F  
)x[=}0C