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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-20
    在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 6j95>}@  
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    ZsSW{ffZ77  
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    建模任务 HuR774f[  
    EvH/d4V;  
    @saK:z  
        结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) #}l$<7Z U  
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    某一位置的Talbot图样 f3S 8~!  
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    某一位置的Talbot图样 6\k~q.U@XI  
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    不同位置的Talbot图样 iiF`2  
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    不同位置的Talbot图样 Y`d@4*FN$  
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    沿Z轴的强度 mE_%  
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    走进VirtualLab Fusion |}UA=? Xl  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 }zxf~4 1  
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     构建光栅结构 w]nt_xj  
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