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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-20
    在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 c!~T2t  
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    建模任务 U9F6d!:L7A  
    sy.:T]ZH  
    fM9xy \.  
        结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ]+lF=kkc %  
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    某一位置的Talbot图样 tj#b_ u z  
    ]Da4.s*mW  
    #W^_]Q=5R'  
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    某一位置的Talbot图样 "s;ci~$  
    PHl4 vh#E!  
    }+JLn%H)  
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    不同位置的Talbot图样  h.D^1  
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    @|'Z@>!/pV  
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    不同位置的Talbot图样 Hi7G/2t@`  
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    6,zDBax  
    ZZwBOGVU  
    沿Z轴的强度 mVHFT~x7}  
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    走进VirtualLab Fusion N&,"kRFFo  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 0*{@E%9  
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     构建光栅结构 ]ci RiMkT(  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 {YfYIt=.  
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    VirtualLab Fusion技术 sbpu qOL  
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