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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-20
    在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 $;ssW"7~Qn  
    l$:.bwXXO  
    #hNp1y2  
    D+y_&+&,t  
    建模任务 !GNLq.rQ  
    X53TFRxnT  
    EJbFo682  
        结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Je5UVf3>2&  
         LvtZZX6!  
    某一位置的Talbot图样 s[ CnJZ\q  
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    某一位置的Talbot图样 cITF=Ez  
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    W/U_:^[-  
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    不同位置的Talbot图样 5:=ECtKi  
    K~?M?sa  
    XO=UKk+EK  
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    不同位置的Talbot图样 @k~_ w#  
    GmA5E  
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    沿Z轴的强度 s`bC?wr5h  
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    走进VirtualLab Fusion &SzLEbU!  
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         Mohy;#8Wk  
    VirtualLab Fusion的工作流程 m-~eCFc  
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     构建光栅结构 w(P\+ m<%  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 S[TJ{ L(  
    +18)e;   
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         G]Jchg <  
    VirtualLab Fusion技术 x bG'![OX  
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