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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-20
    在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 ,Qga|n8C  
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    建模任务 *:k~g].Iz  
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    tYF$#Nor#k  
        结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) bW} b<(y  
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    某一位置的Talbot图样 tP -5  
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    不同位置的Talbot图样 RT1{+:l  
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    沿Z轴的强度 xn0s`I[  
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    走进VirtualLab Fusion yIn/Y0No  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 z7D*z8,i  
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     构建光栅结构 `two|gX0K  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 [i2A{(x  
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    VirtualLab Fusion技术 .aVHd<M  
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