在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个
图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在
VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。
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#hNp1y2 D+y_&+&,t 建模任务 !GNLq.rQ X53TFRxnT
EJbFo682 结构和
材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
Je5UVf3>2& LvtZZX6! 某一位置的Talbot图样 s[ CnJZ\q
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)/:r$n7 1e0O-aT#Q 某一位置的Talbot图样 cITF=Ez
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W/U_:^[- bhIyq4N 不同位置的Talbot图样 5:=ECtKi
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XO=UKk+EK _QhB0/C 不同位置的Talbot图样 @k ~_ w#
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hKT ]M[Pv Mohy;#8Wk VirtualLab Fusion的工作流程 m-~eCFc ()E:gqQ
构建
光栅结构 w(P\+ m <% CQq'x+{F G isI/Ir[ {GaQV-t 通过参数运行计算不同位置的强度
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