[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 I.SMn,N  
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建模任务 G#E8xA"{/  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) tpgD{BY^wJ  
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某一位置的Talbot图样 U:PtRSdn!b  
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某一位置的Talbot图样 -xyY6bxL  
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不同位置的Talbot图样 "b)EH/s  
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不同位置的Talbot图样 6J-=6t|  
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沿Z轴的强度 Tj6Czq=*%T  
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走进VirtualLab Fusion <e@4;Z(h04  
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VirtualLab Fusion的工作流程 R|*Eg,1g -  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 !bn=b>+  
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VirtualLab Fusion技术 q5) K  
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