[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 Y|n"dMrL  
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建模任务 u_enqC3  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) p2eGm-Erq  
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某一位置的Talbot图样 aOp\91  
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   S'" Df5  
某一位置的Talbot图样 C]6O!Pb0  
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不同位置的Talbot图样 80I#TA6C  
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不同位置的Talbot图样 Ac@VGT:9  

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沿Z轴的强度 #"!<W0  
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走进VirtualLab Fusion @{Q4^'K"  
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VirtualLab Fusion的工作流程 sRs>"
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 构建光栅结构 e ,(mR+a8  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 vXs"Dst  
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VirtualLab Fusion技术 pBH
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