[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 G:?l;+P1  
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建模任务 `1)n2<B  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) rQD7ZN_ R  
     wMru9zyI  
某一位置的Talbot图样 :TN^}RML  
Zk75GC  
9mfP9  
   F5;
x>;r  
某一位置的Talbot图样 $sR-J'EE!  
Fwv(J_'q  
!Typ_Cs  
?*)wQZt;  
不同位置的Talbot图样 i2+vUl|;Z  
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[}!obbM  
c<j+"  
不同位置的Talbot图样 2zN%Z!a#J  
ti^msC8e  

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沿Z轴的强度 l\{{iAC]I  
b".e6zev  
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走进VirtualLab Fusion j9Y'HU5"  

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V}UYr Va#9  
     H]/!J]  
VirtualLab Fusion的工作流程 C7lBK<gQ  
5U+a{oA  
 构建光栅结构 M8wEy_XB1  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 IJt8* cw  
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VirtualLab Fusion技术 %+,7=Wt-  
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