共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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Fx 2. 建模任务 U!uJ )mm NQZ /E )f 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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P!IA;i K\fD'; 3. 聚焦区域的探测场 jN*wbqL
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-qaO$M^Q ]cS(2hP7 4. 来自测试对象的直接反射 *c/V('D/
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FGyrDRDwC S (xs;tZ Z8Y&#cB 5. 待测目标成的像 zx2`0%Q \mJR^t
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w6X:39d YsVKdh 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 XxdD)I
r*$f^T!|
% 33O)<? G!I5Er0pdy 7. 走进VirtualLab Fusion /j$pV $/g`{OI]K
O-W[^r2e ocK4Nxs 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 !^98o:"x Vjt7X"_/ xZ`vcS( 使用界面构造光栅
结构 ip}%Y6Wj &-Wt!X 3 复杂
系统中的光栅建模
O|=?!|`o (2L,m 正确设置通道以进行多通道
仿真 a*D<J}xe XP% _|Q2X •使用
参数运行检查影响/更改
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Vn{;8hZ:a {v=[~H>bt 9. VirtualLab Fusion 技术 LK*9`dzv=G
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