共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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0BH_'ZW #;%JT 2. 建模任务 &e;=cAXG m9" n4a|: 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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s<oNE)xe J.ck~;3 3. 聚焦区域的探测场 dHK`eS$sb
4eikLRD,
hjIT_{mk &_~+( 4. 来自测试对象的直接反射 yto,>Utzg
(*oL+ef-C
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=Qgt${| hO';{Nl/$ SE),":aY 5. 待测目标成的像 |1b_3?e Gm(b/qDDe
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1RK=,Wx UN zlN 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 <