共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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R279=sO,J /_aFQ>.4n 2. 建模任务 ^5j9WV OpUC98p?@ 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
to]1QjW- r5tv9#4]
6\/C]![% >%'|@75K 3. 聚焦区域的探测场 EcBSi995dj
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^hRos ?_}[@x 4. 来自测试对象的直接反射 9m%[
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} 5. 待测目标成的像 ;~#rdL '-S^z"ZrI
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50Pz+: #3\F<AJ<VB 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 WFsa8qv
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YeptYW@xfw Mw*R~OX 7. 走进VirtualLab Fusion ?b:l.0m aOA;"jR1
W;eHDQ| Jf YO|, 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 T&fqn!i t'
o:aI ZlUd^6|:3 使用界面构造光栅
结构 p4*VE5[?_+ tTX2>8Gmr 复杂
系统中的光栅建模
R<a7TkL4? Ky|d RbK, 正确设置通道以进行多通道
仿真 TmvI+AY/ \%K< S •使用
参数运行检查影响/更改
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wtu WzHrF 27<~m=`}d 9. VirtualLab Fusion 技术 4S`2")V
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