共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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>`&2]Wc) :zo5`[P 2. 建模任务 Nz3+yxv1 I+twI&GS 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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@=AQr4& LKI\(%ba# 3. 聚焦区域的探测场 n6,YA2yZO
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]!!?gnPd5 (y?F8]TfM 4. 来自测试对象的直接反射 6&'kN2
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H;_Ce'oU( 5. 待测目标成的像 $Yu'B_E6p V&ETt.91Ft
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+J{ErsG?6P oDD"h,Z 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 ?5ZvvAi
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;*zLf 9i >G"fMOOkW 7. 走进VirtualLab Fusion ~.G$0IJY PHT<]:"`<
ud)WH|Z aj|PyX3P: 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 *szs"mQ/ k kD#Bb hTO2+F* 使用界面构造光栅
结构 rxMo7px@}I #E=8kbD7 复杂
系统中的光栅建模
RuVk>(?WK% 1Zp/EYWa{ 正确设置通道以进行多通道
仿真 GK,{$SC+= ZRc^}5}WA •使用
参数运行检查影响/更改
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z}-R^"40 Z/: yYSq 9. VirtualLab Fusion 技术 \fC;b"j
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