共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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RC7|@a d"3S[_U 2. 建模任务 'J^ M`/ E)==!T@E 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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b 3. 聚焦区域的探测场 %Q]u_0P*
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D'V0b" >55c{|"@L 4. 来自测试对象的直接反射 .C^1.)
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=Y`P}vI]w% '\%c"? `5 py6, 5. 待测目标成的像 Zgp]s+%E mv@cGdxu
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@|Z:7n6S *8}Y0V\s 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 nb(4"|8}
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K/RQ-xd4 Zu(eYH=Q 7. 走进VirtualLab Fusion 3/IQ]8g" M=[ /v/M=
:V2"<] 9 tZ)#@\ 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 N;,?k.vU SQ#6~zxl TJ(P TB; 使用界面构造光栅
结构 Hj
]$ Ke-Q>sm2Q 复杂
系统中的光栅建模
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正确设置通道以进行多通道
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b ABx'E 9. VirtualLab Fusion 技术 H"(:6
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