共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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Q})x4 }%c2u/PQ 2. 建模任务 MRR 5j;4GK %YkJA: 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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R9A8)dDz IDQ@h`"B 3. 聚焦区域的探测场 k@L},Td
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I<`K;El' %PRG;kR 4. 来自测试对象的直接反射 P"Lk(gY
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{;4Y5kj Jr$,w7tQn@ cXU8}>qY7 5. 待测目标成的像 QkS~~|0EI> b`){f\#t
#tg,%*.s
dw#K!,g `%IzW2v6 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 H.*:+
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m5m}RWZ# $\M<gW6 7. 走进VirtualLab Fusion \X.CYkgK 'n4Ro|kA
sL" h 3#N'nhUzA 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 ]L+YnZ?6 I,TJV)B #hG0{_d7 使用界面构造光栅
结构 Uc%n{
a-a +`tl<rg; 复杂
系统中的光栅建模
> %h7)}U -FQ! 正确设置通道以进行多通道
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参数运行检查影响/更改
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er@"4R0 (-S<9u-r 9. VirtualLab Fusion 技术 ` 9;0Y
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