共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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'#[U7(lIQ ^dH#n~Wx0 2. 建模任务 @m! ~![ wG2lCv`d 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
a^i`DrX P"W$ZX
2?rg&og6 \tLJ( <8 3. 聚焦区域的探测场 By6C+)up
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&p 4. 来自测试对象的直接反射 ?qYw9XQYL
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wcP0PfY +pc_KR hf0G-r_ow 5. 待测目标成的像 fDp_W1yH ^"K
zMt "ST.
<M=U @ 3G8BYP 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 C*ZgjFvB
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|gx{un` L 7_Mg{ 7. 走进VirtualLab Fusion IV_uf 3SVI|A5(d
%m!o#y(hD` )<9g+^ 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 >>Hsx2M zC!]bWsD e"hm|' 使用界面构造光栅
结构 :Y(Yk5 lF5;Kc 复杂
系统中的光栅建模
:ZL;wtT (\.[pj%-O 正确设置通道以进行多通道
仿真 -'3vQXj& n99:2r_ •使用
参数运行检查影响/更改
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&5Ea6j 9c9-1iS 9. VirtualLab Fusion 技术 < Upn~tH
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