共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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.Ji9j[[#D n'V{ 2. 建模任务 n({%|O<| /Tm+&Jd 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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dv\bkDF4A ial{A6X 3. 聚焦区域的探测场 4bA^Gq
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~:7y!=8# {24>&<p 4. 来自测试对象的直接反射 %6uZb sa
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-`XS2 ]dNNw`1\V $rcv@-l 5. 待测目标成的像 02t({>` ["Ts7;q9[
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56<U xIa~ 7yyX8p> 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 =hvPq@C%
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mbkt7. ,P ~M^[ 7. 走进VirtualLab Fusion [%bGs1U mA$y$73=T
T{Xd > jdJTOT 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 ;LP3 d%0Gsga} UU>+ b: 使用界面构造光栅
结构 v; i4ZSV^A .
KLEx]f. 复杂
系统中的光栅建模
|3e+ K. ]?1_.Wjtt 正确设置通道以进行多通道
仿真 bKsjbYuo 3f^Pr •使用
参数运行检查影响/更改
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0}e?hbF%U (o B4* 9. VirtualLab Fusion 技术 _"@:+f,
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