共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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djk?;^8 LrGLIt` 2. 建模任务 ye-EJDZN A%[BCY_ 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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L2,.af6+ )43\q Iu\ 3. 聚焦区域的探测场 v/m} {&K
,'nd~{pX"(
l:i&l?>_ QH d^?H* 4. 来自测试对象的直接反射 ]VCVV!G_=n
"?X,);5S
Q:5^K
UD!-.I] ){I0 <l.l6okp 5. 待测目标成的像 T)Zef u{'|/g&
$0mR_pA\fW
$1E'0M` @,:6wKMc 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 s;ivoGe}
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\}n\cUy- ++=f7yu 7. 走进VirtualLab Fusion _u{z$; "M!]t,?S
mp:xR ^5c K7-z.WTUR 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 3-PqUJT$ 0z
=?}xr !0Mx Bem 使用界面构造光栅
结构 (B^rW,V[R JE*d- 复杂
系统中的光栅建模
=`KA@~XH4 Uk'bOp 正确设置通道以进行多通道
仿真 DuMzK%
ZamOYkRX •使用
参数运行检查影响/更改
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PNs*+/-S YctWSfh 9. VirtualLab Fusion 技术 XkhGU?={
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