共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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nNEIwlj; V-7A80!5 2. 建模任务 J)o =0i>* ~+~^c| 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
zrazbHI j><8V Qx
ndXUR4 Z ? F*Z0y 3. 聚焦区域的探测场 >Oz~j>jL
=o+js;3
?a]1$>r Ih;I&D+e; 4. 来自测试对象的直接反射 # cAX9LV
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t0"2Si C)RJjaOr '",+2=JJ 5. 待测目标成的像 (QFu``ae+ ImG7E
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w(EUe4 w{ UWPzRk#s" 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 ?j:g. a+U
q=J8SvSRl
M,R**z {Rv0@)P$ 7. 走进VirtualLab Fusion .!^}sp,E 's>./Pf
5/f"dX <0M2qt8 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 "c2{n, "Ei' FM sq;nUA= 使用界面构造光栅
结构 @krh <T6| _KSlIgQ
}0 复杂
系统中的光栅建模
ndE" v"_H "~nUwW|=1 正确设置通道以进行多通道
仿真 "P9SW?', G,,7.%eib= •使用
参数运行检查影响/更改
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mm 'X(Sn3 9. VirtualLab Fusion 技术 4^uwZ:
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