共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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[vCZD8"Y8 kRz qgVr% 2. 建模任务 xoE,3Sn +n 8,=} 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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+= -32.g\] 3. 聚焦区域的探测场 =1F F2#zS
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><;.vP N%?8Bm~dP 4. 来自测试对象的直接反射 YH!` uU(Lh
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QGj& 5. 待测目标成的像 X_I.f6v{ zB{be_Tw
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x "PMi[4 AyZBH&}RZ 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 ;0++):30V
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*W<g%j-a ?Wp{tB9N0 7. 走进VirtualLab Fusion 4,R1}.?BzJ YPav5<{a
We#O'm )8Sm}aC 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 j6)@kW9x ?x
&"EhA> FY]z*= 使用界面构造光栅
结构 9Fxz9_ i ;;- I<TL 复杂
系统中的光栅建模
ag$UNV .:s**UiDR 正确设置通道以进行多通道
仿真 }vdhk0 ;-65~i0Iu •使用
参数运行检查影响/更改
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qQ0 9. VirtualLab Fusion 技术 9Q%Fel.
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