共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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A~;+P jSw>z`'#H 2. 建模任务 #<vzQ\~Y 8Rnq
&8A 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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%-an\.a. 6%&DJBU! 3. 聚焦区域的探测场 < Q6
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7b(r'b@N TlC??# 4. 来自测试对象的直接反射 OKnpG*)u=g
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58]t iP" Mlo:\ST| ooj^Z%9P 5. 待测目标成的像 ootkf= 7TA&u'
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Y r8gKhv W Fu65VLKh 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 8O0]hz
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=91f26c!~ .8XkB<[wb 7. 走进VirtualLab Fusion @1V?94T1 nM`pnR_
oP:/% *enT2Q 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 F ZN}T{< B~%SB/eu nr%P11U\c 使用界面构造光栅
结构 > (W\Eh{J y7LM}dH#m 复杂
系统中的光栅建模
>viLvDng `)M&^Z=D 正确设置通道以进行多通道
仿真 DS7Pioa86 LGWQBEXw •使用
参数运行检查影响/更改
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1t7T\~+F sbV_h;< 9. VirtualLab Fusion 技术 DK<}q1xi
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