共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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YVMwb@| oyS43/." 2. 建模任务 Bu\:+3 ) [h>RO55e 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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9K\A4F} 9b8ZOk'9_ 3. 聚焦区域的探测场 ppjS|l*`
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U&uop$/Cq J1Ay^*qRU 4. 来自测试对象的直接反射 [4u.*oL&
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5. 待测目标成的像 b42"Y,sbB hP1H/=~
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"Cz8nG DeTx7 i0 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 ,U\F<$O
DM3W99PWA
T(UPWsj |2#)lGA 7. 走进VirtualLab Fusion gq|T: bT^6AtsJ
'rZYl Qm dX4"o?KD> 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 fO+$`r>9 Fc{X$hh< n2NxO0 使用界面构造光栅
结构 8ug\GlZc
}pOem} 复杂
系统中的光栅建模
\t6k(5J _sEkKh8x 正确设置通道以进行多通道
仿真 sYQ=nL :T62_cFG •使用
参数运行检查影响/更改
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q97Z .o R!mFMw" 9. VirtualLab Fusion 技术 +K6j p
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