共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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W/{HZ< :. cD2}EqZ 9 2. 建模任务 yZA}WTGe 4(
^Ht 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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xk.\IrB_ 1c+[S]7rY 3. 聚焦区域的探测场 t~ Q{\!
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V) 4. 来自测试对象的直接反射 `2d ,=.X
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4:+^ 5. 待测目标成的像 d5+ (@HSR 86@"BNnTh
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Y-@K@Zu]? "DfvoQ P 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 i@Q)`>4
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x8]F qS|bpC0x 7. 走进VirtualLab Fusion SpjL\ p0 [L]
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^cDHyB=v4d \BbemCPAm 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 =?0o5|u] -`FTWH !ZD[ $lt+ 使用界面构造光栅
结构 #:w/vk GmPNzHDb 复杂
系统中的光栅建模
'X"@C;q dBX%/ 正确设置通道以进行多通道
仿真 [^P25K \zR{D}aS •使用
参数运行检查影响/更改
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G 9. VirtualLab Fusion 技术 x'+lNlv
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