共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
VY1&YR}Y |$:y8H'J
-ZVCb@% ' pN[H\Ia 2. 建模任务 {r>iUgg T%Nm 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
;07>ZH% % S vfY {
;}>g/lw hj4mbL 3. 聚焦区域的探测场 _TbQjE&6
gVscdg5
w\}@+w3b~ d8C44q+ds 4. 来自测试对象的直接反射 `qs[a}%'>"
qG)M8xk
ABaK60.O[O
?h|&kRq g15~+;33N e0z(l/UB 5. 待测目标成的像 [:BD9V [C^&iLX/F*
oniVC',
ascY E q).["fSV 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 /?Y]wY
<zWMTVaC
q@=3`yQ 3YO%$ 7. 走进VirtualLab Fusion dTrz7ayH 259R5X<V
`i5 \(cdl -]. a0 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 Q)[DSM 0&$,?CL?
G%F}H/|R 使用界面构造光栅
结构 IQ\5!e k -!Jww 复杂
系统中的光栅建模
+R2+?v6 3j7Na#<tL3 正确设置通道以进行多通道
仿真 Z{}+7P vdaG?+_o •使用
参数运行检查影响/更改
OB4nE}NO %'w?fqk d=C&b]
8|) $;. BVzMgn; 9. VirtualLab Fusion 技术 7CwQmVe+
O|AY2QH\
JUCp#[q