共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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b%[nB 2. 建模任务 fZ6 fV=HEF
7edPH3 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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(3N"oE.b] QlRoe|{ 3. 聚焦区域的探测场 %0NkIQ`C
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'ybth Ev+HW x~Y 4. 来自测试对象的直接反射 'wz\tT ^
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H a/QtJwIV g=FDm* 5. 待测目标成的像 2JiAd*WK <'}b*wUB
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ePq13!FC/ -t@y\vZF, 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 cPq Dsl3
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&o*s !u 11)/] ?/j 7. 走进VirtualLab Fusion $hjP}- oUX h"%|\o+3
"U%n0r2 Fl_dzh,E 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 n+{HNr RgB6:f, f0uUbJ5 使用界面构造光栅
结构 W\@?e32 ?Oy'awf_ 复杂
系统中的光栅建模
bBUbw *DF) w4e%-Ln 正确设置通道以进行多通道
仿真 t&GA6ML#s PIZ
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参数运行检查影响/更改
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J [ YtA _tWJXv~; 9. VirtualLab Fusion 技术 .FIt.XPzv
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